【技术实现步骤摘要】
一种用于模压非球面透镜的近紫外及可见光减宽带减反射膜
[0001]本专利技术涉及一种反射膜,特别是涉及一种用于模压非球面透镜的近紫外及可见光减宽带减反射膜,属于透镜加工
技术介绍
[0002]相较于球迷透镜,非球面透镜能最大限度的消除球差,从而简化了光学工程师为了提高光学品质所涉及的元素,同时提高了系统的稳定性,相比采用球面透镜的系统,在减小系统尺寸,提高成本率,降低系统的综合成本等因素上有显著提高,相比其它的非球面透镜加工工艺,模压成型工艺具有批量化生产和热稳定性高的特点,适合于批量大、品质高、热稳定性高的场合。
[0003]由于模压工艺使用的低熔点玻璃,其材质相较与传统光学玻璃偏软,化学稳定性差;同时光学设计系统对非球面透镜低反射率以及高透过率的性能有更高的要求,所以对非球面透镜的光学镀膜提出了更高的要求,而当前传统的光学镀膜设计采用两种镀膜材料的膜系进行镀膜,其反射率指标能做到低于1%,而且需要更厚的膜层厚度(~500nm),当前光学薄膜镀膜的批量生产方式仍然是真空蒸发镀膜(PVD),但是传统的PVD方法镀膜的缺点是膜层疏松,环境稳定性差,对于模压使用的低熔点玻璃并不适合。
[0004]因此,亟需对可见光减宽带减反射膜进行改进,以解决上述存在的问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的是提供一种用于模压非球面透镜的近紫外及可见光减宽带减反射膜,通过真空蒸镀机进行薄膜的镀制,在通过电子枪蒸发装置完成薄膜制备,同时使用离子镀膜机进行辅助镀膜,通过各层材料的相互结合, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于模压非球面透镜的近紫外及可见光减宽带减反射膜,包括反射膜基底,其特征在于,所述反射膜基底上依次设置有五氧化二钽镀层、二氧化硅镀层以及氟化镁镀层,其中,所述五氧化二钽镀层中的五氧化二钽含量为36
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41份,所述二氧化硅镀层中二氧化硅的含量为15
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25份,所述氟化镁镀层中的氟化镁的含量为34
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44份。2.根据权利要求1所述的一种用于模压非球面透镜的近紫外及可见光减宽带减反射膜,其特征在于:所述五氧化二钽镀层的厚度范围为10.5
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11.5nm,所述二氧化硅镀层的厚度范围为15.3
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17.3nm,所述二氧化硅镀层的厚度范围为32.7
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42.7nm。3.一种用于模压非球面透镜的近紫外及可见光减宽带减反射膜的制造方法,其特征在于包括以下步骤:步骤一:真空蒸镀:将所述反射膜基底放置在真空蒸镀机中进行真空蒸镀;步骤二:电子枪蒸发镀膜:在将所述反射膜基底放置在所述电子枪蒸发装置中进行电子枪蒸发镀膜,以及采用分层镀膜的方法完成薄膜的制备;步骤三:离子源镀膜:在将冷却后的反射膜基底放置在离子镀膜机中进行离子源镀膜。4.根据权利要求3所述的用于模压非球面透镜的近紫外及可见光减宽带减反射膜的制造方法,其特征在于:所述步骤一中真空镀膜的具体方法包括以下步骤:4.1:打开所述真空蒸镀机,放入空气,将所述反射膜基底放入真空蒸镀机中,添加辅料,并清洁镀膜室;4.2:关闭真空蒸镀机,利用真空泵将真空蒸镀机内部抽成真空,其中当真空的压力达到10Pa时,关闭真空泵,并打开烘烤;4.3:当真空内部的气压达到预期压力时,对真空蒸镀机进行熔料并排出废气;4.4:对反射膜基底进行冷却。5.根据权利要求4所述的用于模压非球面透镜的近紫外及可见光减宽带减反射膜的真空蒸镀机,其特征在于:所述真空蒸镀机上设置有多个真空抽气孔,真空蒸镀机的内部设置有晶振片和参照晶振片,所述参照晶振片的正下方设置有蒸发源,所述参照晶振片与所述蒸发源之间设置有挡板,所述晶振片和所述参照晶振片之间设置有膜厚检测单元,所述膜厚检测单元用于根据所述晶振片谐振频率与所述参照晶振片谐振频率的差值获得...
【专利技术属性】
技术研发人员:王涛,衣丽霞,卢健,岳晖,
申请(专利权)人:光皓光学江苏有限公司,
类型:发明
国别省市:
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