本实用新型专利技术公开了一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置，涉及蓝宝石半导体加工技术领域，为解决现有的蓝宝石半导体清洗后晾干速度较慢的问题。所述桶体外部的两侧分别设置有进气管和排气管，且进气管和排气管与桶体固定连接，所述进气管的内部安装有第三驱动电机和加热装置，所述第三驱动电机通过第一固定架与进气管连接，所述第三驱动电机的输出端安装有第一扇叶，所述排气管的内部安装有第四驱动电机和干燥转轮，所述第四驱动电机与排气管通过第二固定架连接，所述干燥转轮与第二固定架转动连接，所述第四驱动电机的输出端安装有第一驱动齿轮，所述干燥转轮的外部设置有第一传动齿环，所述第一驱动齿轮与第一传动齿环的外部安装有传动带。装有传动带。装有传动带。
【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置
[0001]本技术涉及蓝宝石半导体加工
，具体为一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置。
技术介绍
[0002]蓝宝石半导体，化学成分为氧化铝，化学式(α
‑
Al2O3)，是由三个氧原子和两个铝原子以共价键形式结合而成，其晶体结构为六方晶格结构。其最大的需求是作为光学和电子仪器制造原料。蓝宝石晶片可以作为用于喷镀硅晶板的基底，在此基础上制造辐射稳定的、快速反应的集成电路。在蓝宝石半导体加工完毕后进行清洗将其表面的杂物清除。
[0003]但是，现有的蓝宝石半导体清洗设备通常仅具备单一的清洗功能，在清洗完毕后无法将蓝宝石半导体表面的水渍去除，因此不满足现有的需求，对此我们提出了一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置，以解决上述
技术介绍
中提出的蓝宝石半导体清洗后晾干速度较慢的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置，包括桶体，所述桶体外部的两侧分别设置有进气管和排气管，且进气管和排气管与桶体固定连接，所述进气管的内部安装有第三驱动电机和加热装置，所述第三驱动电机通过第一固定架与进气管连接，所述第三驱动电机的输出端安装有第一扇叶，所述排气管的内部安装有第四驱动电机和干燥转轮，所述第四驱动电机与排气管通过第二固定架连接，所述干燥转轮与第二固定架转动连接，所述第四驱动电机的输出端安装有第一驱动齿轮，所述干燥转轮的外部设置有第一传动齿环，所述第一驱动齿轮与第一传动齿环的外部安装有传动带，且传动带与第一驱动齿轮和第一传动齿环啮合连接。
[0006]优选的，所述进气管和排气管内部下端的一侧安装有挡板，且挡板与桶体滑动连接，所述挡板的下端安装有第一螺杆和第二驱动电机，且挡板与第一螺杆通过螺纹配合连接，所述第一螺杆与第二驱动电机的输出端固定连接。
[0007]优选的，所述桶体的内部安装有固定框，且固定框与桶体通过固定块连接，所述固定块的外部安装有连接块，且固定块与桶体通过连接块滑动连接，所述连接块的内部安装有第二螺杆，且第二螺杆与连接块通过螺纹配合连接，所述第二螺杆的上端安装有第五驱动电机，且第五驱动电机的输出端与第二螺杆固定连接。
[0008]优选的，所述固定框的外部安装有第二传动齿环，所述固定块的内部安装有第七驱动电机，所述第七驱动电机的输出端安装有第二驱动齿轮，且第二驱动齿轮与第二传动齿环啮合连接。
[0009]优选的，所述固定框的下端安装有网桶，且网桶与固定框固定连接，所述网桶外部下端的一侧安装有固定壳，所述固定壳的内部安装有第六驱动电机，且第六驱动电机与固
定壳固定连接，所述第六驱动电机的输出端安装有偏心块。
[0010]优选的，所述桶体内部下端的一侧安装有第一驱动电机，且第一驱动电机与桶体固定连接，所述第一驱动电机的输出端安装有波轮，所述桶体外部的下端安装有支撑底柱，且支撑底柱与桶体固定连接。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、本技术通过在进气管的内部安装加热装置，启动加热装置，随后启动第三驱动电机，其输出端的第一扇叶转动使得空气流动，加热装置产生的热量随着气流吹至网桶对蓝宝石半导体进行表面烘干，启动第四驱动电机，其输出端的第一驱动齿轮转动，通过传动带传动使得干燥转轮转动，干燥转轮其蜂窝状的结构设计，不仅能够极大限度的附着吸湿剂，增加湿空气与吸湿剂相互接触的表面积，提高除湿效率，从而加快了蓝宝石半导体的烘干效率。
[0013]2、本技术通过在固定块的内部安装第七驱动电机，启动第七驱动电机，其输出端的第二驱动齿轮转动，固定框外部的第二传动齿环与第二驱动齿轮在啮合作用下传动使得网桶转动，从而使得蓝宝石半导体随之转动，以旋转的方式增加了与热空气接触的面积，从而提高烘干效率，同时，启动第六驱动电机，其输出端的偏心块转动产生转动，使得蓝宝石半导体在网桶中被反复颠起，进一步增加烘干面积。
[0014]3、本技术通过在进气管和排气管内部下端的一侧安装挡板，启动第二驱动电机，其输出端的第一螺杆转动，挡板与第一螺杆在螺纹配合下将旋转运动转换为直线运动，从而使得挡板下降，取消了对进气管和排气管的阻挡，通过挡板使得进气管和排气管的开启与关闭更加方便。
附图说明
[0015]图1为本技术的桶体和网桶的立体图；
[0016]图2为本技术的整体内部结构前视图；
[0017]图3为本技术的图2中A区域局部放大图；
[0018]图4为本技术的整体内部结构侧视图；
[0019]图5为本技术的图4中B区域局部放大图。
[0020]图中：1、桶体；2、支撑底柱；3、进气管；4、第一驱动电机；5、波轮；6、第二驱动电机；7、第一螺杆；8、挡板；9、加热装置；10、第一固定架；11、第三驱动电机；12、第一扇叶；13、排气管；14、第二固定架；15、干燥转轮；16、固定块；17、固定框；18、网桶；19、第一传动齿环；20、传动带；21、第四驱动电机；22、第一驱动齿轮；23、第五驱动电机；24、第二螺杆；25、连接块；26、固定壳；27、第六驱动电机；28、偏心块；29、第七驱动电机；30、第二驱动齿轮；31、第二传动齿环。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0022]请参阅图1
‑
5，本技术提供的一种实施例：一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干
装置，包括桶体1，桶体1外部的两侧分别设置有进气管3和排气管13，且进气管3和排气管13与桶体1固定连接，进气管3的内部安装有第三驱动电机11和加热装置9，第三驱动电机11通过第一固定架10与进气管3连接，第三驱动电机11的输出端安装有第一扇叶12，排气管13的内部安装有第四驱动电机21和干燥转轮15，第四驱动电机21与排气管13通过第二固定架14连接，干燥转轮15与第二固定架14转动连接，第四驱动电机21的输出端安装有第一驱动齿轮22，干燥转轮15的外部设置有第一传动齿环19，第一驱动齿轮22与第一传动齿环19的外部安装有传动带20，且传动带20与第一驱动齿轮22和第一传动齿环19啮合连接，通过传动带20传动使得干燥转轮15转动，干燥转轮15其蜂窝状的结构设计，不仅能够极大限度的附着吸湿剂，增加湿空气与吸湿剂相互接触的表面积，提高除湿、烘干效率。
[0023]进一步，进气管3和排气管13内部下端的一侧安装有挡板8，且挡板8与桶体1滑动连接，挡板8的下端安装有第一螺杆7和第二驱动电机6，且挡板8与第一螺杆7通过螺纹配合连接，第一螺杆7与第二驱动电机6的输出端固定连接。
[0024]进一步，桶体1的内部安装有本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置，包括桶体(1)，其特征在于：所述桶体(1)外部的两侧分别设置有进气管(3)和排气管(13)，且进气管(3)和排气管(13)与桶体(1)固定连接，所述进气管(3)的内部安装有第三驱动电机(11)和加热装置(9)，所述第三驱动电机(11)通过第一固定架(10)与进气管(3)连接，所述第三驱动电机(11)的输出端安装有第一扇叶(12)，所述排气管(13)的内部安装有第四驱动电机(21)和干燥转轮(15)，所述第四驱动电机(21)与排气管(13)通过第二固定架(14)连接，所述干燥转轮(15)与第二固定架(14)转动连接，所述第四驱动电机(21)的输出端安装有第一驱动齿轮(22)，所述干燥转轮(15)的外部设置有第一传动齿环(19)，所述第一驱动齿轮(22)与第一传动齿环(19)的外部安装有传动带(20)，且传动带(20)与第一驱动齿轮(22)和第一传动齿环(19)啮合连接。2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置，其特征在于：所述进气管(3)和排气管(13)内部下端的一侧安装有挡板(8)，且挡板(8)与桶体(1)滑动连接，所述挡板(8)的下端安装有第一螺杆(7)和第二驱动电机(6)，所述第一螺杆(7)与第二驱动电机(6)的输出端固定连接。3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：周良海，
申请(专利权)人：南京蔚蓝新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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