用于点测设备的探针模块制造技术

本申请涉及一种用于点测设备的探针模块，包括安装架和探针组件，所述安装架与所述探针组件之间设有弹性组件；所述探针组件相对于安装架具有正常位与抵接位，所述探针组件能够因受力自正常位移动至抵接位，所述弹性组件能够使不受力的探针组件自抵接位移动至正常位。本申请具有提高点测设备测试数据的稳定性和准确性的效果。确性的效果。确性的效果。

【技术实现步骤摘要】
用于点测设备的探针模块


[0001]本申请涉及半导体检测的领域，尤其是涉及一种用于点测设备的探针模块。

技术介绍

[0002]目前芯片点测机是半导体制造工艺当中的一个不可或缺的工序，近年来，随着光电、半导体产业的迅猛发展，高集成和高性能的半导体芯片需求也越来越大，在芯片大批量生产中，可以同时制作成百上千个芯片，然后通过点测机进行芯片晶圆切割后的光电性能测试。
[0003]使用点测设备对芯片进行通电检测前，需将芯片整齐铺设于预设的托台上，驱动托台靠近探针，芯片与探针接触后进行通电检测，从而实现对芯片的电性参数进行检测；芯片检测完成后，操作员需根据芯片上的针痕判断芯片与探针是否充分接触，一般来说，针痕的大小位于电极的1/4左右认为是合格。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为，在进行芯片的光电性能测试时，由托盘带动芯片向探针的方向移动，若芯片与探针接触的瞬间若接触力过大则会导致针痕过大或压伤芯片，若芯片与探针接触的瞬间接触力过小，则会导致没有针痕，或者接触不良；从而导致点测设备测试数据的稳定性和准确性较低的情况发生。

技术实现思路

[0005]为了提高点测设备测试数据的稳定性和准确性，本申请提供了一种用于点测设备的探针模块。
[0006]本申请提供的一种用于点测设备的探针模块采用如下的技术方案：
[0007]一种用于点测设备的探针模块，包括安装架和探针组件，所述安装架与所述探针组件之间设有弹性组件；所述探针组件相对于安装架具有正常位与抵接位，所述探针组件能够因受力自正常位移动至抵接位，所述弹性组件能够使不受力的探针组件自抵接位移动至正常位。
[0008]通过采用上述技术方案，探针组件处于正常位时，弹性组件不发生形变，当托台移动待检测芯片的信号输入端与探针组件抵接时，探针组件受力，迫使弹性组件形变，从而实现探针组件对待检测芯片的弹性抵接；从而减少在使用探针对芯片进行通电检测时造成的芯片压伤，以及保持芯片上适宜大小的针痕，从而提高点测设备测试数据的稳定性和准确性。
[0009]可选的，所述探针组件包括探针紧固件和设置于探针紧固件一端的探针本体；所述探针本体远离探针紧固件的一端为检测端，另一端为接电端；所述探针本体的接电端能够与点测设备的控制系统电连接；所述探针本体的检测端能够与芯片的点测位接触。
[0010]通过采用上述技术方案，由点测设备的控制系统向探针本体供电后，探针本体的检测端与芯片的点测位抵接后，芯片通电，从而便于实现对芯片的光电性能检测。
[0011]可选的，所述弹性组件包括弹性片；所述弹性片的一端连接于安装架，另一端连接
于探针组件；且所述探针组件处于正常位时，所述弹性片处于自然状态；所述探针组件处于抵接位时，所述弹性片处于弹性形变状态。
[0012]通过采用上述技术方案，设置弹性片便于适应探针本体受抵接后产生形变，后续探针本体不受芯片抵接后，弹性片由于材料特性便于恢复形变，从而便于下一个芯片进行检测。
[0013]可选的，所述弹性组件还包括第一弹簧，所述安装架设有抵接件；所述第一弹簧一端与所述抵接件相抵，另一端与所述探针组件相抵。
[0014]通过采用上述技术方案，第一方面，设置第一弹簧配合弹簧片对探针组件进行双点位固定，从而减少探针本体在检测完成上一个芯片之后复位时产生的振幅，从而便于提高下一个芯片的检测速度；第二方面设置抵接件可以对第一弹簧的预紧力进行调节。
[0015]可选的，所述安装架设有能够供第一弹簧伸入的通孔，所述抵接件为螺纹连接于所述通孔的调整螺杆，所述调整螺杆的中心轴线平行于第一弹簧的长度方向。
[0016]通过采用上述技术方案，设置止动螺栓扣入限位孔内且底端的侧壁可以和限位孔的内壁处于抵接状态，当探针紧固件受芯片的上顶力向靠近安装座的方向压缩第一弹簧以及迫使弹性组件形变时，止动螺栓的底端侧壁抵接于限位孔内壁，从而完成对探针紧固件摆动的空间限制，从而减少探针紧固件在探针本体的检测端处于使用状态时的晃动。
[0017]可选的，还包括检测组件，所述检测组件包括设置于安装架的检测件和设于所述探针组件上的通电杆，所述检测件与点测设备的控制系统通讯连接；
[0018]所述探针组件处于正常位时，所述检测件与所述通电杆相抵接；
[0019]所述探针组件处于抵接位时，所述检测件与所述通电杆具有间距。
[0020]通过采用上述技术方案，当探针组件处于正常位时，通电杆与检测件处于抵接状态，检测件向点测设备的控制系统发送抵接信号，点测设备的控制系统接收到抵接信号后停止向探针本体供电；当探针组件处于抵接位时，通电杆和检测件之间脱离抵接并具有一定间距，即可得知当前探针本体与待检测芯片处于抵接状态；检测件停止向点测设备的控制系统发送抵接信号，点测设备的控制系统停止接收到抵接信号后即可向探针本体供电，从而便于实现探针本体为芯片的电极供电后进行芯片的光电性能测试。
[0021]可选的，所述检测件包括设置于安装架上的竖杆和设置于竖杆底端的横杆，所述横杆的周壁可供通电杆的周壁抵触，所述竖杆远离横杆的一端与点测设备的控制系统通讯连接。
[0022]通过采用上述技术方案，常规状态下，由竖杆连接点测设备的控制系统；横杆和通电杆连通设置，检测件向点测设备的控制系统发送抵接信号，若横杆未与通电杆抵接，横杆和通电杆处于断开状态，检测件则停止向点测设备的控制系统发送抵接信号，即可实现点测设备的控制系统对探针本体的供电。
[0023]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0024]探针组件受力，迫使弹性组件形变，从而实现探针组件对待检测芯片的弹性抵接；从而减少在使用探针对芯片进行通电检测时造成的芯片压伤；
[0025]设置弹性片便于适应探针本体受抵接后产生形变，后续探针本体不受芯片抵接后，弹性片由于材料特性便于恢复形变，从而便于下一个芯片进行检测；
[0026]常规状态下，由竖杆连接点测设备的控制系统；横杆和通电杆连通设置，检测件向
点测设备的控制系统发送抵接信号，若横杆未与通电杆抵接，横杆和通电杆处于断开状态，检测件则停止向点测设备的控制系统发送抵接信号，即可实现点测设备的控制系统对探针本体的供电。
附图说明
[0027]图1是本申请中探针模块的整体结构示意图；
[0028]图2探针模块的爆炸图；
[0029]图3探针组件和检测组件的安装结构示意图。
[0030]附图标记说明：1、安装架；11、通孔；2、探针组件；21、探针紧固件；211、悬臂；212、安装座；22、限位孔；23、探针本体；24、止动螺栓；3、弹性组件；31、弹性片；32、第一弹簧；33、抵接件；5、检测组件；51、检测件；511、竖杆；512、横杆；52、通电杆；54、避让槽。
具体实施方式
[0031]为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图1
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3及实施例，对本申请进行进一步本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于点测设备的探针模块，其特征在于：包括安装架(1)和探针组件(2)，所述安装架(1)与所述探针组件(2)之间设有弹性组件(3)；所述探针组件(2)相对于安装架(1)具有正常位与抵接位，所述探针组件(2)能够因受力自正常位移动至抵接位，所述弹性组件(3)能够使不受力的探针组件(2)自抵接位移动至正常位。2.根据权利要求1所述的用于点测设备的探针模块，其特征在于：所述探针组件(2)包括探针紧固件(21)和设置于探针固定件一端的探针本体(23)；所述探针本体(23)远离探针紧固件(21)的一端为检测端，另一端为接电端；所述探针本体(23)的接电端能够与点测设备的控制系统电连接；所述探针本体(23)的检测端能够与芯片的点测位接触。3.根据权利要求1所述的用于点测设备的探针模块，其特征在于：所述弹性组件(3)包括弹性片(31)；所述弹性片(31)的一端连接于安装架(1)，另一端连接于探针组件(2)；且所述探针组件(2)处于正常位时，所述弹性片(31)处于自然状态；所述探针组件(2)处于抵接位时，所述弹性片(31)处于弹性形变状态。4.据权利要求3所述的用于点测设备的探针模块，其特征在于：所述弹性组件(3)还包括第一弹簧(32)，所述安装架(1)设有抵接件(33)；所述第一弹簧(32)一端与所述抵接件(33)相抵，另一端与所述探针组件(2)相抵。5.据权利要求4所述的用于点...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢崎峰，刘佩杰，赖汝吾，黄得金，郭瑞珂，燕琪，唐裕广，
申请(专利权)人：深圳市华腾半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：