一种防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置。所述防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置，包括：主体架、连接螺栓、固定螺丝、第一螺母以及第二螺母；其中，所述连接螺栓设置于所述主体架上，所述固定螺丝设置于所述主体架的两侧。本实用新型专利技术提供一种防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置，通过主体架、连接螺栓、固定螺丝配合设置，主要用于对载物台的高度进行精准定位，实现了对载物台位置的准确控制，利用第一螺母与第二螺母与连接螺栓之间的位置距离，作为载物台的移动范围，针对经验不足的操作人员来说，提供了直观的参照，在调节载物台时不会因为位置把握不准确，而导致晶圆与镜头接触磨损，在使用显微镜聚焦时更加方便、更加轻松。更加轻松。更加轻松。

【技术实现步骤摘要】
一种防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置


[0001]本技术涉及晶圆制造领域，尤其涉及一种防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
[0003]在晶圆的加工过程中，需要对其进行光学显影，主要是将光罩上的图形转换到薄膜上，光学显影一般包括光阻涂布、烘烤、光照对准、曝光和显影等步骤，而在此过程中需要使用光学显微镜对晶圆进行聚焦。
[0004]而在晶圆聚焦时，晶圆被机械手臂传送到显微镜载物台上后，通过转动聚焦旋钮可以上下调节载物台，在使用过程中，由于载物台缺乏精准的定位结构，使得人们只能通过经验对载物台进行调节，但是对于新手来说，由于经验不足，仍会出现一定的偏差，若载物台上升太高，在进行低倍镜头切换到高倍镜头时，由于高倍镜的镜头较长，使得高倍镜与晶圆表面接触而出现刮蹭，导致其良率下降或者晶圆破裂，若载台下降太低，则使得载物台无法正常复位。
[0005]因此，有必要提供一种防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置解决上述技术问题。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置，解决了显微镜镜头在进行低倍镜头切换到高倍镜头时，可能会使得高倍镜与晶圆表面接触而出现磨损的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本技术提供的防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置，包括：
[0008]主体架、连接螺栓、固定螺丝、第一螺母以及第二螺母；
[0009]其中，所述连接螺栓设置于所述主体架上，所述固定螺丝设置于所述主体架的两侧，所述第一螺母与所述第二螺母均螺纹连接于所述连接螺栓的外部；
[0010]矩形槽，所述矩形槽开设于所述主体架的一侧，所述主体架的一侧开设有固定槽。
[0011]优选的，所述连接螺栓与所述固定螺丝的数量均设置有两个，所述主体架采用金属材料。
[0012]优选的，所述连接螺栓的一端穿过所述矩形槽并延伸至所述主体架的一侧，所述固定螺丝的一端穿过所述固定槽并延伸至所述主体架的一侧。
[0013]优选的，所述矩形槽与所述固定槽的数量均设置有两个。
[0014]优选的，所述主体架的一侧分别设有连接孔和定位孔，所述主体架为一长方形板。
[0015]优选的，所述主体架上设置有卡接结构，所述卡接结构包括滑块、卡接件、滑杆以及弹性件，所述滑块固定于所述滑杆，所述卡接件套接于所述滑杆，所述弹性件套接于所述滑杆。
[0016]优选的，所述主体架的两侧均开设有活动槽，所述滑杆的两端分别固定于所述活
动槽的内部。
[0017]与相关技术相比较，本技术提供的防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置具有如下有益效果：
[0018]本技术提供一种防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置，通过主体架、连接螺栓、固定螺丝配合设置，主要用于对载物台的高度进行精准定位，实现了对载物台位置的准确控制，利用第一螺母与第二螺母与连接螺栓之间的位置距离，作为载物台的移动范围，针对经验不足的操作人员来说，提供了直观的参照，在调节载物台时不会因为位置把握不准确，而导致晶圆与镜头接触磨损，在使用显微镜聚焦时更加方便、更加轻松。
附图说明
[0019]图1为本技术提供的防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置第一实施例的结构示意图；
[0020]图2为本技术提供的防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置正面的结构示意图；
[0021]图3为本技术提供的防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置安装在显微镜上的结构示意图；
[0022]图4为本技术提供的防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置第二实施例的结构示意图；
[0023]图5为本技术提供的防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置第三实施例的结构示意图图；
[0024]图6为图5所示的A部放大示意图。
[0025]图中标号：
[0026]1a、显微镜本体，1b、载物台；
[0027]1、主体架，2、连接螺栓，3、固定螺丝，4、第一螺母，5、第二螺母；
[0028]6、矩形槽，7、固定槽；
[0029]8、连接孔，9、定位孔；
[0030]10、卡接结构，101、滑块，103、滑杆，104、弹性件；
[0031]11、活动槽。
具体实施方式
[0032]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。
[0033]第一实施例
[0034]请结合参阅图1、图2和图3，其中，图1为本技术提供的防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置第一实施例的结构示意图；图2为本技术提供的防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置正面的结构示意图；图3为本技术提供的防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置安装在显微镜上的结构示意图。防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置，包括：
[0035]主体架1、连接螺栓2、固定螺丝3、第一螺母4以及第二螺母5；
[0036]其中，所述连接螺栓2设置于所述主体架1上，所述固定螺丝3设置于所述主体架1的两侧，所述第一螺母4与所述第二螺母5均螺纹连接于所述连接螺栓2的外部；
[0037]矩形槽6，所述矩形槽6开设于所述主体架1的一侧，所述主体架1的一侧开设有固
定槽7。
[0038]主体架1采用刚度较好金属材质，可以为SUS材质，厚度为3
‑
5mm，整体设计成矩形框架，连接螺栓2安装在矩形槽6上，且两个连接螺栓2分别位于主体架1顶部的左右两侧，通过两个连接螺栓2分别与载物台2a的底部螺纹连接，使得载物台2a与主体架1连接在一起，两个固定螺丝3分别位于主体架1底部的左右两侧，与固定槽7适配设置，固定螺丝通过固定槽7然后与显微镜本体1a固定，使得主体架1能够稳定安装在显微镜本体1a上，第一螺母4位于主体架1内侧，与连接螺栓2适配设置，通过转动该第一螺母4使其可以在连接螺栓2外部上下移动，第二螺母5位于载物台2a底部，并与载物台2a底部接触，通过转动该第二螺母5使其可以在连接螺栓2上转动，通过设置第一螺母4与第二螺母5，且连接螺栓2与两个螺母之间的距离，分别作为载物台2a的最大上升距离与最大下降距离，构成对载物台2a有效的定位结构，需要说明的时，在本实施例中该装置适用于12寸晶圆；
[0039]矩形槽6与固定槽7均为的截面为矩形，且矩形槽6为y轴方向，固定槽7为x轴方向设置，使得连接螺栓2与固定螺丝3分别可以在y轴和x轴方向移动，更好的适应不同类型的显微镜本体1a。
[0040]通过设置该装置，主要用于对载物台2a的高度进行精准定位，在使用时，将其安装在显微镜本体1a与载物台2a之间，然后通过转动第一螺母4和第二螺母5，调节连接螺栓2的位置，当载物台2a在上升到达设定的最大高度时，此时在连接螺栓2与第一螺母4的限制作用下，使得载物台2a不能向上移本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置，其特征在于，包括：主体架、连接螺栓、固定螺丝、第一螺母以及第二螺母；其中，所述连接螺栓设置于所述主体架上，所述固定螺丝设置于所述主体架的两侧，所述第一螺母与所述第二螺母均螺纹连接于所述连接螺栓的外部；矩形槽，所述矩形槽开设于所述主体架的一侧，所述主体架的一侧开设有固定槽。2.根据权利要求1所述的防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置，其特征在于，所述连接螺栓与所述固定螺丝的数量均设置有两个，所述主体架采用金属材料。3.根据权利要求1所述的防止显微镜镜头刮伤晶圆的装置，其特征在于，所述连接螺栓的一端穿过所述矩形槽并延伸至所述主体架的一侧，所述固定螺丝的一端穿过所述固定槽并延伸至所述主体...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜俊坤，吕浩，
申请(专利权)人：合肥新汇成微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：