送料机构及真空移载箱制造技术

本发明专利技术涉及一种送料机构及真空移载箱。送料机构包括：第一转移组件，能够沿第一方向往复移动；第二转移组件，设置于第一转移组件并能够相对第一转移组件沿第二方向往复移动；第三转移组件，设置于第二转移组件并能够相对第二转移组件沿第三方向往复移动，第三转移组件设置有运载组件；第一方向、第二方向和第三方向相互垂直。通过送料机构可以实现将上一工序中完成的镀膜件运送至下一工序处，避免了人工打开箱体转移镀膜件的这一过程，节省了抽真空的这一步骤，进而能够在一定程度上提高真空镀膜的生产效率。膜的生产效率。膜的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
送料机构及真空移载箱


[0001]本专利技术涉及真空镀膜
，特别是涉及送料机构及真空移载箱。

技术介绍

[0002]真空镀膜技术是在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。
[0003]目前,镀膜行业大部分采用的都是人工上料和下料，也就是说镀膜件每完成一次镀膜工序后都需要打开箱门，再将镀膜件转移至下一工序的工位处。在开启箱门后镀膜的真空环境被破坏。当镀膜件进行下个工序时，需要花费时间将箱内抽成真空。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对现有的真空镀膜过程中，一次镀膜工序完成后需要取出镀膜件导致破坏箱内真空环境的问题，提供一种送料机构以能够转移相邻两道工序中的镀膜件，进而还提出一种包括该机构的真空移载箱。
[0005]一种送料机构，所述送料机构包括：
[0006]第一转移组件，能够沿第一方向往复移动；
[0007]第二转移组件，设置于所述第一转移组件并能够相对所述第一转移组件沿第二方向往复移动；
[0008]第三转移组件，设置于所述第二转移组件并能够相对所述第二转移组件沿第三方向往复移动，所述第三转移组件设置有运载组件；
[0009]所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直。
[0010]上述送料机构可以预先设置在真空移载箱内，由于第一转移组件能够沿第一方向往复移动、第二转移组件能够沿第二方向往复移动以及第三转移组件沿第三方向往复移动，且第一方向、第二方向和第三方向相互垂直，也即能够实现三维方向移动，因此通过送料机构可以实现将上一工序中完成的镀膜件运送至下一工序处，避免了人工打开箱体转移镀膜件的这一过程，节省了抽真空的这一步骤，进而能够在一定程度上提高真空镀膜的生产效率。
[0011]在其中一个实施例中，所述第一转移组件包括第一框架，所述第一框架具有收容腔以及连通所述收容腔与所述第一转移组件以外的外界空间的开口，所述开口朝向所述第一方向，所述第二转移组件设置在所述收容腔。
[0012]在其中一个实施例中，所述收容腔的底壁设置有滑槽，所述滑槽沿所述第二方向延伸，所述第二转移组件设置有与所述滑槽对应的定位套；
[0013]所述第一转移组件与所述第二转移组件之间设置导向件，所述导向件穿过所述滑槽与所述定位套，所述第二转移组件沿所述第二方向往复移动时带动所述导向件沿所述滑槽移动。
[0014]在其中一个实施例中，所述第二转移组件包括相连接的第二框架以及连接架，所
述第二框架设置于所述收容腔内，所述第三转移组件与所述连接架之间设置有滑移组件，所述滑移组件沿所述第三方向分布，所述第三转移组件能够相对所述连接架沿所述第三方向移动。
[0015]在其中一个实施例中，所述第三转移组件包括相对设置的第一安装板和第二安装板以及支撑所述第一安装板和所述第二安装板的支撑板，所述运载组件分别设置在所述第一安装板和所述第二安装板上，所述第一安装板和所述第二安装板相同的一侧分别设置的所述运载组件为第一组运载组件，所述第一安装板和所述第二安装板另一相同的一侧分别设置的所述运载组件为第二组运载组件。
[0016]在其中一个实施例中，所述送料机构还包括驱动单元，所述驱动单元包括驱动所述第一转移组件移动的第一驱动模块、驱动所述第二转移组件移动的第二驱动模块以及驱动所述第三转移组件移动的第三驱动模块。
[0017]在其中一个实施例中，所述第一驱动模块包括传送方向沿所述第一方向的齿条机构。
[0018]在其中一个实施例中，所述第二驱动模块包括传送方向沿所述第二方向的丝杆机构。
[0019]一种真空移载箱，包括所述的送料机构，所述真空移载箱包括移载腔，所述移载腔包括取料口和送料口，所述取料口用于与上游设备的出料口连通，所述送料口用于与下游设备的进料口连通；所述移载腔设置有可供所述送料机构放置货笼的工位。
[0020]在其中一个实施例中，所述移载腔设置有能够沿所述第三方向往复移动的过渡组件，所述过渡组件设置有用于固定货笼的凹槽，所述送料机构的运载组件能够将货笼放置于所述过渡组件的所述凹槽内，所述过渡组件能够将货笼放置于所述送料机构的所述运载组件。
附图说明
[0021]图1为本专利技术一实施例中的送料机构的结构示意图；
[0022]图2为本专利技术一实施例中第一转移组件的结构示意图；
[0023]图3为本专利技术一实施例中第二转移组件的结构示意图；
[0024]图4为本专利技术一实施例中第三转移组件的结构示意图；
[0025]图5为本专利技术一实施例中真空移载箱的机构示意图；
[0026]图6为图5中真空移载箱的另一方向示意图；
[0027]图7为图5中真空移载箱的内部结构示意图。
[0028]附图标号说明：
[0029]100、第一转移组件；110、第一框架；111、收容腔；1111、滑槽；
[0030]112、开口；120、齿条机构；
[0031]200、第二转移组件；210、定位套；220、导向件；230、第二框架；
[0032]240、连接架；241、滑移组件；250、丝杆机构；
[0033]300、第三转移组件；310、运载组件；311、连接部；312、承载部；
[0034]320、第一安装板；330、第二安装板；340、支撑板；
[0035]350、第一组运载组件；360、第二组运载组件；370、传送带；380、货笼；
[0036]400、真空移载箱；410、移载腔；411、取料口；412、送料口；
[0037]420、过渡组件；421、凹槽；430、固定框架；440、机架。
具体实施方式
[0038]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0039]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0040]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是至少两个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种送料机构，其特征在于，所述送料机构包括：第一转移组件，能够沿第一方向往复移动；第二转移组件，设置于所述第一转移组件并能够相对所述第一转移组件沿第二方向往复移动；第三转移组件，设置于所述第二转移组件并能够相对所述第二转移组件沿第三方向往复移动，所述第三转移组件设置有运载组件；所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直。2.根据权利要求1所述的送料机构，其特征在于，所述第一转移组件包括第一框架，所述第一框架具有收容腔以及连通所述收容腔与所述第一转移组件以外的外界空间的开口，所述开口朝向所述第一方向，所述第二转移组件设置在所述收容腔。3.根据权利要求2所述的送料机构，其特征在于，所述收容腔的底壁设置有滑槽，所述滑槽沿所述第二方向延伸，所述第二转移组件设置有与所述滑槽对应的定位套；所述第一转移组件与所述第二转移组件之间设置导向件，所述导向件穿过所述滑槽与所述定位套，所述第二转移组件沿所述第二方向往复移动时带动所述导向件沿所述滑槽移动。4.根据权利要求2所述的送料机构，其特征在于，所述第二转移组件包括相连接的第二框架以及连接架，所述第二框架设置于所述收容腔内，所述第三转移组件与所述连接架之间设置有滑移组件，所述滑移组件沿所述第三方向分布，所述第三转移组件能够相对所述连接架沿所述第三方向移动。5.根据权利要求4所述的送料机构，其特征在于，所述第三转移组件包括相对设置的第一安装板和第二安装板...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢振岗，虞文韬，薛涛，晏海燕，王来泉，
申请(专利权)人：维达力实业深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：