显示面板及其制作方法技术

本申请公开了一种显示面板及其制作方法，其中，显示面板包括衬底、第一栅极、第一栅绝缘层、有源层、层间介质层、第一过孔、第二过孔、源极和漏极，第一栅极设置在衬底上；第一栅绝缘层设置在衬底上；有源层设置在衬底上，有源层和第一栅极异层设置，有源层至少包括层叠设置的第一子有源层、第二子有源层，第一子有源层设置在衬底上，第二子有源层设置在第一子有源层远离衬底的一面，第一子有源层中镓的原子数大于第二子有源层中镓的原子数；第一过孔和第二过孔至少贯穿层间介质层，层间介质层设置在衬底上；源极通过第一过孔与有源层电性连接；漏极通过第二过孔与有源层电性连接。本申请实施例提供的显示面板及其制作方法可以提高其稳定性。稳定性。稳定性。

【技术实现步骤摘要】
显示面板及其制作方法


[0001]本申请涉及显示
，尤其涉及一种显示面板及其制作方法。

技术介绍

[0002]目前，普遍采用的是有源层为铟镓锌氧化物的单一膜层的设置，由于成膜过程中氧气流量较大，导致铟镓锌氧化物膜层中的氧含量多，从而导致器件的导电性差，迁移率低的问题。如果沉积时氧气的流量较小，铟镓锌氧化物膜层中氧含量少，氧空位多会造成第一栅绝缘层和铟镓锌氧化物膜层的界面以及第二栅绝缘层和铟镓锌氧化物膜层的界面处缺陷多，导致器件的稳定性差。
[0003]故，有必要提出一种新的技术方案，以解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供一种显示面板及其制作方法，用于提高显示面板的稳定性。
[0005]本申请实施例提供一种显示面板，所述显示面板包括：
[0006]第一栅极，所述第一栅极设置在所述衬底上；
[0007]第一栅绝缘层，所述第一栅绝缘层设置在所述衬底上；
[0008]有源层，所述有源层设置在所述衬底上，所述有源层和所述第一栅极异层设置，所述有源层至少包括层叠设置的第一子有源层、第二子有源层，所述第一子有源层设置在所述衬底上，所述第二子有源层设置在所述第一子有源层远离所述衬底的一面，所述第一子有源层中镓的原子数大于所述第二子有源层中镓的原子数；
[0009]层间介质层，所述层间介质层设置在所述衬底上；
[0010]第一过孔，所述第一过孔至少贯穿所述层间介质层；
[0011]第二过孔，所述第二过孔至少贯穿所述层间介质层；
[0012]源极，所述源极设置在所述层间质层上，并通过所述第一过孔与所述有源层电性连接；
[0013]漏极，所述漏极设置在所述层间介质层上，并通过所述第二过孔与所述有源层电性连接。
[0014]在本申请实施例提供的显示面板中，所述有源层还包括：
[0015]第三子有源层，所述第三子有源层设置在所述第二子有源层上，所述第三子有源层中镓的原子数大于所述第二子有源层中镓的原子数。
[0016]在本申请实施例提供的显示面板中，所述第一子有源层的材料包括铟镓锌氧化物，其中，所述第一子有源层中铟原子数、镓原子数和锌原子数的比值为铟：镓：锌＝M:1:N，其中，0＜M＜1，0＜N＜1，所述第三子有源层中铟原子数、镓原子数和锌原子数的比值为铟：镓：锌＝X:1:Y，0＜X＜1，0＜Y＜1。
[0017]在本申请实施例提供的显示面板中，所述第一子有源层包括氮元素掺杂的铟镓锌氧化物有源层，所述第三子有源层包括氮元素掺杂的铟镓锌氧化物有源层。
[0018]在本申请实施例提供的显示面板中，所述第二子有源层的材料包括铟镓锌氧化物，其中，所述第二子有源层中铟原子数、镓原子数和锌原子数的比值为铟：镓：锌＝1:1:1。
[0019]在本申请实施例提供的显示面板中，所述第一栅极设置在所述衬底上，所述第一栅绝缘层覆盖所述第一栅极，所述有源层设置在所述第一栅绝缘层远离所述衬底的一面，所述层间介质层覆盖所述有源层和所述第一栅绝缘层。
[0020]在本申请实施例提供的显示面板中，所述显示面板还包括：
[0021]第二栅绝缘层，所述第二栅绝缘层设置在所述有源层远离所述第一栅绝缘层的一面；
[0022]第二栅极，所述第二栅极设置在所述第二栅绝缘层远离所述有源层的一面；
[0023]第三过孔，所述第三过孔贯穿所述层间介质层；
[0024]第四过孔，所述第四过孔贯穿所述层间介质层和所述第一栅绝缘层；
[0025]连接电极，所述连接电极设置在所述第三过孔和所述第四过孔内，用于连接所述第一栅极和所述第二栅极。
[0026]在本申请实施例提供的显示面板中，所述有源层设置在所述衬底上，所述第一栅绝缘层覆盖所述衬底和所述有源层，所述第一栅极设置在所述第一栅绝缘层远离所述衬底的一面，所述层间介质层覆盖所述第一栅极和所述第一栅绝缘层。
[0027]在本申请实施例提供的显示面板中，所述第一子有源层的厚度和所述第三子有源层的厚度小于或等于15纳米，所述第二子有源层的厚度介于10纳米至90纳米。
[0028]在本申请实施例提供的显示面板中，所述显示面板还包括：
[0029]钝化层，所述钝化层设置在所述层间介质层上上；
[0030]接触电极，所述接触电极设置在所述钝化层上，所接触电极的一端连接所述漏极；
[0031]平坦化层，所述平坦化层设置在所述钝化层上；
[0032]阳极，设置在所述平坦化层上，所述接触电极的另一端连接所述阳极；
[0033]像素定义层，所述像素定义层设置在所述平坦化层上，并覆盖所述阳极；
[0034]发光层，所述发光层设置在所述像素定义层的开口内；
[0035]阴极，所述阴极设置在所述发光层上。
[0036]本申请实施例还提供一种显示面板的制作方法，所述显示面板的制作方法包括以下步骤：
[0037]提供一衬底；
[0038]在所述衬底上形成第一栅极；
[0039]在所述衬底上形成第一栅绝缘层；
[0040]在所述衬底上形成有源层，所述有源层和所述第一栅极异层设置，所述有源层至少包括层叠设置的第一子有源层、第二子有源层，所述第二子有源层设置在所述第一子有源层远离所述衬底的一面，所述第一子有源层中镓的原子数大于所述第二子有源层中镓的原子数；
[0041]在所述衬底上形成层间介质层；
[0042]在所述层间介质层上形成第一过孔和第二过孔；
[0043]在所述衬底上形成源极和漏极，其中，所述源极通过所述第一过孔与所述有源层电性连接，所述漏极通过所述第二过孔与所述有源层电性连接；其中，
[0044]所述在所述衬底上形成有源层的步骤包括：
[0045]在所述衬底上形成铟镓锌氧化物，并对铟镓锌氧化物进行氮气掺杂，以形成所述第一子有源层；
[0046]在所述第一子有源层上形成铟镓锌氧化物，以形成所述第二子有源层。
[0047]本申请实施例还提供一种显示面板的制作方法，所述显示面板的制作方法包括以下步骤：提供一衬底；
[0048]在所述衬底上形成有源层，所述有源层和所述第一栅极异层设置，所述有源层至少包括层叠设置的第一子有源层、第二子有源层，所述第二子有源层设置在所述第一子有源层远离所述衬底的一面，所述第一子有源层中镓的原子数大于所述第二子有源层中镓的原子数；
[0049]在所述有源层上形成第一栅绝缘层；
[0050]在所述第一栅绝缘层上形成第一栅极；
[0051]在所述第一栅极上形成层间介质层；
[0052]在所述层间介质层上形成第一过孔和第二过孔；
[0053]在所述衬底上形成源极和漏极，其中，所述源极通过所述第一过孔与所述有源层电性连接，所述漏极通过所述第二过孔与所述有源层电性连接；其中，
[0054]所述在所述衬底上形成有源层的步骤包括：
[0055本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括：衬底；第一栅极，所述第一栅极设置在所述衬底上；第一栅绝缘层，所述第一栅绝缘层设置在所述衬底上；有源层，所述有源层设置在所述衬底上，所述有源层和所述第一栅极异层设置，所述有源层至少包括层叠设置的第一子有源层、第二子有源层，所述第一子有源层设置在所述衬底上，所述第二子有源层设置在所述第一子有源层远离所述衬底的一面，所述第一子有源层中镓的原子数大于所述第二子有源层中镓的原子数；层间介质层，所述层间介质层设置在所述衬底上；第一过孔，所述第一过孔至少贯穿所述层间介质层；第二过孔，所述第二过孔至少贯穿所述层间介质层；源极，所述源极设置在所述层间质层上，并通过所述第一过孔与所述有源层电性连接；漏极，所述漏极设置在所述层间介质层上，并通过所述第二过孔与所述有源层电性连接。2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述有源层还包括：第三子有源层，所述第三子有源层设置在所述第二子有源层上，所述第三子有源层中镓的原子数大于所述第二子有源层中镓的原子数。3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第一子有源层的材料包括铟镓锌氧化物，其中，所述第一子有源层中铟原子数、镓原子数和锌原子数的比值为铟：镓：锌＝M:1:N，其中，0＜M＜1，0＜N＜1，所述第三子有源层中铟原子数、镓原子数和锌原子数的比值为铟：镓：锌＝X:1:Y，0＜X＜1，0＜Y＜1。4.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述第一子有源层包括氮元素掺杂的铟镓锌氧化物有源层，所述第三子有源层包括氮元素掺杂的铟镓锌氧化物有源层。5.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第二子有源层的材料包括铟镓锌氧化物，其中，所述第二子有源层中铟原子数、镓原子数和锌原子数的比值为铟：镓：锌＝1:1:1。6.根据权利要求1或2所述的显示面板，其特征在于，所述第一栅极设置在所述衬底上，所述第一栅绝缘层覆盖所述第一栅极，所述有源层设置在所述第一栅绝缘层远离所述衬底的一面，所述层间介质层覆盖所述有源层和所述第一栅绝缘层。7.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括：第二栅绝缘层，所述第二栅绝缘层设置在所述有源层远离所述第一栅绝缘层的一面；第二栅极，所述第二栅极设置在所述第二栅绝缘层远离所述有源层的一面；第三过孔，所述第三过孔贯穿所述层间介质层；第四过孔，所述第四过孔贯穿所述层间介质层和所述第一栅绝缘层；连接电极，所述连接电极设置在所述第三过孔和所述第四过孔内，用于连接所述第一栅极和所述第二栅极。8.根据权利要求1或2所述的显示面板，其特征在于，所述有源层设置在所述衬底上，所述第一栅绝缘层覆盖所述衬底和所述有源层，所述第一栅极设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡凯，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：