真空装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了真空装置。真空泵具备：泵转子；筐体，收容泵转子；以及监视装置，安装于筐体，检测筐体(3)的振动，筐体具备使制冷剂在与监视装置对置的部分流动的第一流路。监视装置对置的部分流动的第一流路。监视装置对置的部分流动的第一流路。

【技术实现步骤摘要】
真空装置


[0001]本专利技术涉及一种真空装置。

技术介绍

[0002]在专利文献1中公开了一种收容电机的真空泵。根据该文献，电机的旋转轴通过一对轴承被固定。在旋转轴设置有旋转叶片，电机使旋转叶片旋转，由此作为泵发挥作用。在轴承的滚珠劣化时，轴承振动。根据该文献，在轴承的固有振动数的旋转速度范围中，通过使该轴承的振动衰减，真空泵能够降低主轴的倾斜和轴向的错位。为了这种真空泵的预知保全，可以考虑安装搭载了传感器单元的监视装置。
[0003]专利文献1：日本特开2000
‑
74080号公报
[0004]但是，在真空泵等振动源安装监视装置并非易事。具体地，由于与作为振动源的轴承较近的部分达到高温，所以导致监视装置的感测精度降低。当在远离振动源的部分设置监视装置时，虽然监视装置的温度下降，但是导致从轴承传递的振动衰减，所以导致振动检测精度降低。因此，需要这样的构造，即使是在振动源的附近筐体的温度上升的部位，也能够抑制监视装置的温度上升。

技术实现思路

[0005]真空装置具备：可动体；筐体，收容所述可动体；以及监视装置，安装于所述筐体，检测所述筐体的振动，所述筐体具备第一流路，在从与所述监视装置的安装面垂直的方向观察即俯视时，所述第一流路以与所述监视装置重叠的方式使制冷剂流动。
附图说明
[0006]图1是表示有关第一实施方式的真空泵的结构的简易立体图。
[0007]图2是表示真空泵的内部构造的示意侧视截面图。
[0008]图3是表示真空泵的内部构造的示意俯视截面图。
[0009]图4是表示流路的结构的框图。
[0010]图5是表示有关第二实施方式的流路的结构的框图。
[0011]图6是表示有关第三实施方式的真空泵的结构的简易立体图。
[0012]图7是表示真空泵的内部构造的示意侧视截面图。
[0013]图8是表示流路的结构的框图。
[0014]图9是表示有关第四实施方式的流路的结构的框图。
[0015]图10是表示有关第六实施方式的真空泵的结构的示意侧视截面图。
[0016]图11是表示电机冷却部的构造的示意侧视截面图。
[0017]图12是表示第一侧壁的构造的示意侧视截面图。
[0018]图13是表示传感器冷却部的结构的简易立体图。
[0019]图14是表示泵冷却部的结构的简易立体图。
[0020]图15是表示第二侧壁的构造的示意侧视截面图。
[0021]图16是表示有关第七实施方式的真空泵的结构的示意侧视截面图。
[0022]图17是表示传感器冷却部的结构的简易立体图。
[0023]附图标记说明
[0024]1、46、47、59、62、81
…
作为真空装置的真空泵；3、48、63、82
…
筐体；16
…
监视装置；21、55
…
第一流路；23、52
…
第二流路；25
…
作为可动体的泵转子；33
…
作为制冷剂的水；37
…
供给流路；38
…
分支部；72e、84e
…
作为第一流路的第三空洞；76e
…
作为第二流路的第四空洞。
具体实施方式
[0025]第一实施方式
[0026]在本实施方式中，对安装有监视装置的真空泵的特征性示例进行说明。如图1所示，作为真空装置的真空泵1被设置在基座2上。真空泵1的截面形状为大致长圆形的柱状。设真空泵1的长度方向为X方向，设长圆的长轴方向为Y方向，设长圆的短轴方向为Z方向。
[0027]真空泵1具备筐体3。筐体3具备从
‑
X方向侧朝向+X方向侧配置的电机壳体4、连接部5、泵壳体6及齿轮箱7。筐体3在连接部5与泵壳体6之间具备第一侧壁8。筐体3在泵壳体6与齿轮箱7之间具备第二侧壁9。
[0028]在泵壳体6的+Z方向侧的面上连接有进气管11。在泵壳体6的
‑
Z方向侧的面上连接有排气管12。
[0029]第一侧壁8在基座2侧具备第一支腿部13及第二支腿部。第一支腿部13被配置在
‑
Y方向侧，第二支腿部被配置在+Y方向侧。第二侧壁9在基座2侧具备第三支腿部14及第四支腿部。第三支腿部14被配置在
‑
Y方向侧，第四支腿部被配置在+Y方向侧。第一支腿部13～第四支腿部通过第一螺栓15被紧固于基座2。
[0030]在作为筐体3的一部分的泵壳体6安装有监视装置16。监视装置16检测筐体3的振动。监视装置16具备检测筐体3的振动的传感器单元17。传感器单元17包括惯性传感器。另外，监视装置16具备传感器单元17的安装用的板18。另外，板18通过第二螺栓19被固定于泵壳体6。在传感器单元17检测正交的三轴方向的振动时，传感器单元17的姿态不受限定。监视装置16可以输出振动的波形，还可以判定振动的振幅而输出警报信号。
[0031]泵壳体6具备形成第一流路21的第一配管22。电机壳体4、连接部5以及泵壳体6具备形成第二流路23的第二配管24。
[0032]使用图2及图3说明真空泵1的内部构造。图2是从
‑
Y方向观察时的图。图3是从+Z方向观察时的图。在附图中，第一支腿部13～第四支腿部被省略。真空泵1具备作为移送气体的两个可动体的泵转子25、以及使两个泵转子25旋转的两个电机26。筐体3收容泵转子25。
[0033]两个泵转子25具有两条旋转轴27。两条旋转轴27分别被第一轴承28及第二轴承29支撑为能够旋转。两个电机26连接于各自的旋转轴27的一端。电机26构成为使两个泵转子25向相互相反的方向同步旋转。在旋转轴27的另一端固定有两个定时齿轮31。该定时齿轮31是为了在两个电机26的同步旋转失败的情况下，确保两个泵转子25的同步旋转而设置的。
[0034]泵壳体6被夹在第一侧壁8与第二侧壁9之间。泵转子25配置在由泵壳体6、第一侧
壁8以及第二侧壁9构成的泵室32内。
[0035]第一侧壁8支撑进气管11侧的第一轴承28。第一轴承28配置在连接部5内。电机26配置在固定于连接部5的电机壳体4内。排气管12侧的第二轴承29固定于第二侧壁9。定时齿轮31及第二轴承29配置在齿轮箱7内。通过泵转子25的旋转，第一轴承28及第二轴承29进行振动。第一轴承28及第二轴承29的振动通过第一侧壁8及第二侧壁9被传递至泵壳体6等的筐体3。
[0036]如图2所示，作为筐体3的一部分的泵壳体6具备第一流路21，在从与监视装置16的安装面垂直的方向观察的俯视图中，第一流路21以与监视装置16重叠的方式使作为制冷剂的水33流动。根据该结构，与监视装置16对置地配置第一流路21，在第一流路21中流动的水33将监视装置16冷却。因此，即使是在作为振动源的第一轴承28及第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空装置，其特征在于，具备：可动体；筐体，收容所述可动体；以及监视装置，安装于所述筐体，检测所述筐体的振动，所述筐体具备第一流路，在从与所述监视装置的安装面垂直的方向观察即俯视时，所述第一流路以与所述监视装置重叠的方式使制冷剂流动。2.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述筐体具备使所述制冷剂在与所述可动体对置的部分流动的第二流路，所述真空装置具备分支部，所述分支部将供给所述制冷剂的供给流路分支成所述第一流路和所述第二流路。3.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述筐体具备使所述制冷剂在与所述可动体对置的部分流动的第二流路，供给所述制冷剂的供给...

【专利技术属性】
技术研发人员：井口修一，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：