一种X射线衍射仪用两轴薄膜样品台制造技术

本发明专利技术公开了一种X射线衍射仪用两轴薄膜样品台，包括转接座、电动升降滑台、电动摆动滑台和垫块，电动摆动滑台通过转接座与X射线衍射仪连接，电动摆动滑台的上方连接电动升降滑台，电动摆动滑台能够带动电动升降滑台实现绕x轴向的摆动，电动升降滑台的上方可拆卸连接有垫块，垫块上方用于放置薄膜样品。本发明专利技术通过电动升降滑台和垫块可实现不同厚度的薄膜样品的一个高度调节，使薄膜样品的上表面能够位于X射线衍射仪的中心点上，进而满足X射线衍射仪测试不同厚度薄膜样品的需求，电动摆动滑台可用于调整薄膜样品的倾斜情况，使薄膜样品表面处于高精度的水平位置，进而使一般衍射仪具备薄膜样品的调平对准与测试功能。具备薄膜样品的调平对准与测试功能。具备薄膜样品的调平对准与测试功能。

【技术实现步骤摘要】
一种X射线衍射仪用两轴薄膜样品台


[0001]本专利技术涉及样品台的
，特别是涉及一种X射线衍射仪用两轴薄膜样品台。

技术介绍

[0002]X射线衍射仪是利用衍射原理，精确测定物质的晶体结构、织构及应力，精确地进行物相分析、定性分析、定量分析，其作为表征材料结晶结构的主要手段，被广泛用于科学研究、检验检测以及企业对产品的质量控制等方面。随着材料基因组计划的提出，X射线衍射仪作为一种高效、无损的检测手段得到了更多的应用。
[0003]目前，测试中心等配备的常规X射线衍射仪主要用于测试粉末样品，而粉末样品的衍射图案为一系列的同心德拜环，因此只需要两轴衍射即可。但是，对于薄膜样品的测试，测试前需要对其进行严格的位置对准，由于有机半导体薄膜都很薄，所以需要配备专门的薄膜样品台对样品的位置进行精确对准，使样品处于光路中，且在0
°
时与光束平行。这个对准对于后续的测试很关键，关系到数据的准确性。一般定义垂直于样品的方向为z方向(即样品高度方向)，沿着X射线入射和反射的方向定义为x方向；垂直于这两个方向的则为y方向；而样品水平旋转(即以z轴为中心旋转)为φ方向；以y轴为中心旋转正好相当于入射角变化，定义为ω方向；以X轴为中心旋转则定义为χ方向。
[0004]而目前粉末衍射仪因粉末样品无需对准，常规粉末衍射仪仅配备Y轴和Z轴，能够实现Y轴向和Z轴向的移动，无法满足薄膜样品的测试需求，尤其是不具备对薄膜样品平整度的调节能力，因此，亟需一款能够在一般粉末衍射仪上调节薄膜样品表面位移和平整度的样品台，使一般X射线衍射仪都能具备测试各种厚度薄膜样品的功能。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是提供一种X射线衍射仪用两轴薄膜样品台，以解决上述现有技术存在的问题，使薄膜样品台能够实现绕x轴向的旋转和z轴向的升降运动，进而能够对不同厚度的薄膜样品进行调平。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：
[0007]本专利技术提供了一种X射线衍射仪用两轴薄膜样品台，包括转接座、电动升降滑台、电动摆动滑台和垫块，所述电动摆动滑台通过所述转接座与X射线衍射仪连接，所述电动摆动滑台的上方连接所述电动升降滑台，所述电动摆动滑台能够带动所述电动升降滑台实现绕x轴向的摆动，所述电动升降滑台的上方可拆卸连接有所述垫块，所述垫块上方用于放置薄膜样品。
[0008]优选的，所述垫块根据不同的薄膜样品厚度能够更换为不同厚度的型号，所述垫块通过螺栓连接于所述电动升降滑台上。
[0009]优选的，所述垫块的厚度范围为1mm
‑
20mm，所述薄膜样品和所述电动升降滑台的总高度为定值，使所述薄膜样品的上表面位于所述X射线衍射仪的中心点上。
[0010]优选的，所述电动升降滑台的行程为2
‑
20mm，移动精度为0.005mm。
[0011]优选的，所述电动摆动滑台的摆动角度范围为
±
15
°
。
[0012]优选的，所述转接座为L型板且两侧板分别通过螺栓与所述述电动摆动滑台和所述X射线衍射仪的测角仪连接，使所述薄膜样品与光源和探测器位于同一平面内。
[0013]本专利技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
[0014]本专利技术通过电动升降滑台和垫块可实现不同厚度的薄膜样品的一个高度调节，使薄膜样品的上表面能够位于般X射线衍射仪的中心点上，进而满足一般X射线衍射仪测试不同厚度薄膜样品的需求，电动摆动滑台可用于调整薄膜样品的倾斜情况，使薄膜样品表面处于高精度的水平位置，进而使一般衍射仪具备薄膜样品的调平对准与测试功能。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本专利技术X射线衍射仪用两轴薄膜样品台的结构示意图；
[0017]图2为本专利技术中电动升降滑台的结构示意图；
[0018]图3为本专利技术中电动摆动滑台的结构示意图；
[0019]图4为本专利技术中转接座的结构示意图；
[0020]图5为本专利技术的各轴布局示意图；
[0021]其中：1
‑
垫块，2
‑
电动升降滑台，3
‑
电动摆动滑台，4
‑
转接座。
具体实施方式
[0022]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0023]本专利技术的目的是提供一种X射线衍射仪用两轴薄膜样品台，以解决现有技术存在的问题，使薄膜样品台能够实现绕x轴向的旋转和z轴向的升降运动，进而能够对不同厚度的薄膜样品进行调平。
[0024]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。
[0025]如图1至图5所示：本实施例提供了一种X射线衍射仪用两轴薄膜样品台，包括转接座4、电动升降滑台2、电动摆动滑台3和垫块1，电动摆动滑台3通过转接座4与X射线衍射仪连接，电动摆动滑台3的上方连接电动升降滑台2，电动摆动滑台3能够带动电动升降滑台2实现绕x轴向的摆动，电动升降滑台2的上方可拆卸连接有垫块1，垫块1上方用于放置薄膜样品。
[0026]垫块1根据不同的薄膜样品厚度能够更换为不同厚度的型号，垫块1通过螺栓连接于电动升降滑台2上。垫块1的厚度范围为1mm
‑
20mm，薄膜样品和电动升降滑台2的总高度为定值，本实施例中总高度为80mm，确保使薄膜样品的上表面位于X射线衍射仪的中心点(即
光源的入射点)上。例如，厚度为16mm的垫块1可搭配0
‑
8mm厚的薄膜样品进行测试；厚度为8mm的垫块1可搭配8
‑
16mm厚的薄膜样品进行测试；厚度为2mm的垫块1可搭配16
‑
22mm的薄膜样品进行测试。
[0027]电动升降滑台2的行程为8mm，移动精度为0.005mm，本实施例的电动升降台的高度在56
‑
64mm之间变动。电动摆动滑台3的摆动角度范围为
±
15
°
，一般最小的摆动角度范围为
±2°
。
[0028]转接座4为L型板且两侧板分别通过螺栓与述电动摆动滑台3和X射线衍射仪的测角仪连接，使薄膜样品与光源和探测器位于同一平面内。
[0029]本实施例的X射线衍射仪用两轴薄膜样品台的具体调平使用过程如下：
[0030]1.将薄膜样品的高度降低至光源直通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种X射线衍射仪用两轴薄膜样品台，其特征在于：包括转接座、电动升降滑台、电动摆动滑台和垫块，所述电动摆动滑台通过所述转接座与X射线衍射仪连接，所述电动摆动滑台的上方连接所述电动升降滑台，所述电动摆动滑台能够带动所述电动升降滑台实现绕x轴向的摆动，所述电动升降滑台的上方可拆卸连接有所述垫块，所述垫块上方用于放置薄膜样品。2.根据权利要求1所述的X射线衍射仪用两轴薄膜样品台，其特征在于：所述垫块根据不同的薄膜样品厚度能够更换为不同厚度的型号，所述垫块通过螺栓连接于所述电动升降滑台上。3.根据权利要求2所述的X射线衍射仪用两轴薄膜样品台，其特征在于：所述垫块的厚度范围为1mm
‑
20mm，所述薄膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：张吉东，孟圣斐，宋新月，
申请(专利权)人：苏州锂影科技有限公司，
类型：发明
国别省市：