本申请公开了一种清洁装置与检测设备，所述清洁装置应用于检测设备，所述检测设备包括承载装置与框架，所述清洁装置包括第一支架与清洁组件，所述清洁组件通过所述第一支架与所述框架连接，所述清洁组件包括管体与第一开口，所述第一开口的开口方向指向所述承载装置。通过控制清洁组件对承载装置进行吹扫，能够去除承载装置的承载面的脏污，避免承载面上的脏污影响承载装置对待测件的吸附，并且降低待测件的检测误差，提高了待测件的检测精度。提高了待测件的检测精度。提高了待测件的检测精度。
【技术实现步骤摘要】
清洁装置与检测设备
[0001]本申请涉及检测
，尤其涉及一种清洁装置与检测设备。
技术介绍
[0002]在检测设备中，通常是将待测件放置在检测设备的承载装置上，并通过真空吸附的方式吸附待测件后，使待测件贴附于承载装置后再对待测件进行测量，通过真空吸附能够使待测件的平面度达到较高的要求，具体来说，待测件的平面度通常小于3微米，但是当待测件的待吸附表面存在较多脏污时，脏污可能会粘附在承载装置表面，在待测件放置于承载装置上时，会影响承载装置对待测件的吸附，进而影响待测件的平面度，因此如何对检测设备的承载装置进行清理，减小脏污对待测件的平面度的影响是亟待解决的问题。
技术实现思路
[0003]本申请实施例提供一种清洁装置与检测设备。
[0004]第一方面，本申请实施例提供一种清洁装置，应用于检测设备，所述检测设备包括承载装置与框架，所述清洁装置包括第一支架与清洁组件，所述清洁组件通过所述第一支架与所述框架连接，所述清洁组件包括管体与第一开口，所述第一开口的开口方向指向所述承载装置。
[0005]可选的，所述清洁组件包括多个第一开口，所述多个第一开口沿所述管体的延伸方向间隔设置，并且所述第一开口的开口方向相同，并均垂直指向所述承载装置或倾斜指向所述承载装置。
[0006]可选的，所述清洁组件还包括第二开口，所述第二开口与外部气路连通，当所述清洁组件为吹气装置时，所述开口为出风口，所述出风口的出风方向指向所述承载装置；或
[0007]当所述清洁组件为真空吸附装置时，所述开口为吸气口，所述吸气口的真空吸附方向指向所述承载装置。
[0008]可选的，所述清洁组件还包括两个第二开口，每个所述第二开口与其对应的一个独立的外部气路连通。
[0009]可选的，所述清洁装置还包括第二支架，所述第二支架的一端与所述框架连接，另一端与所述清洁组件连接，所述第二支架上设有容置槽，所述容置槽用于容置外部气路。
[0010]可选的，所述清洁装置还包括转动件，所述转动件的一端与所述第一支架固定连接，另一端夹持所述清洁组件，所述转动件用于带动所述清洁组件转动。
[0011]可选的，所述清洁装置还包括第一移动组件，所述第一支架通过所述第一移动组件与所述框架连接，所述第一移动组件用于带动所述第一支架与所述清洁组件沿水平方向移动。
[0012]可选的，所述清洁装置还包括第二移动组件，所述清洁组件通过所述第二移动组件与所述第一支架连接，所述第二移动组件用于带动所述清洁组件沿与所述承载装置垂直的方向移动。
[0013]可选的，所述管体沿延伸方向设有开口结构，所述清洁组件还包括堵头，所述堵头用于封闭所述管体的开口结构。
[0014]第二方面，本申请实施例提供一种检测设备，所述检测设备包括如上述任一项实施方式所述的清洁装置。
[0015]可以看出，在本申请实施例中，所述清洁装置应用于检测设备，所述检测设备包括承载装置与框架，所述清洁装置包括第一支架与清洁组件，所述清洁组件通过所述第一支架与所述框架连接，所述清洁组件包括管体与第一开口，所述第一开口的开口方向指向所述承载装置。通过控制清洁组件对承载装置进行吹扫，能够去除承载装置的承载面的脏污，避免承载面上的脏污影响承载装置对待测件的吸附，并且降低待测件的检测误差，提高了待测件的检测精度。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是本申请实施例提供的一种清洁装置一视角的结构示意图；
[0018]图2是本申请实施例提供的一种清洁装置另一视角的结构示意图；
[0019]图3是本申请实施例提供的一种清洁装置不包括框架的结构示意图；
[0020]图4是本申请实施例提供的一种清洁组件的结构示意图。
[0021]附图标号说明：
[0022][0023]具体实施方式
[0024]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0025]以下分别进行详细说明。
[0026]本申请的说明书和权利要求书及所述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”和“第
四”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0027]在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
[0028]请参见图1至图4，所述清洁装置应用于检测设备，所述检测设备包括承载装置30与框架40，所述承载装置30位于所述框架40内，所述清洁装置包括第一支架20与清洁组件10，所述清洁组件10通过所述第一支架20与所述框架40连接，所述清洁组件10位于所述承载装置30的上方，所述清洁组件10用于对所述承载装置30的承载面进行清洁。
[0029]其中，所述承载装置30用于承载待测件，在对所述待测件进行检测时候，所述待测件放置于所述承载装置30上，当所述承载装置30上存在脏污时，所述承载装置30上的脏污会使待测件翘起，从而导致所述待测件的翘起部分无法被所述承载装置30吸附，从而影响对所述待测件的检测结果。
[0030]其中，所述清洁组件10包括管体11与第一开口12，所述第一开口12的开口方向指向所述承载装置30。
[0031]在本申请实施例中，所述清洁装置应用于检测设备，所述检测设备包括承载装置30与框架40，所述清洁装置包括第一支架20与清洁组件10，所述清洁组件10通过所述第一支架20与所述框架40连接，所述清洁组件10包括管体11与第一开口12，所述第一开口12的开口方向指向所述承载装置30。通过控制清洁组件10对承载装置30进行吹扫，能够去除承载装置30的承载面的脏污，避免承载面上的脏污影响承载装置30对待测件的吸附，并且降低待测件的检测误差，提高了待测件的检测精度。
[0032]在可选的实施方式中，所述清洁组件10包括管体11与多个第一开本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种清洁装置，其特征在于，应用于检测设备，所述检测设备包括承载装置与框架，所述清洁装置包括第一支架与清洁组件，所述清洁组件通过所述第一支架与所述框架连接，所述清洁组件包括管体与第一开口，所述第一开口的开口方向指向所述承载装置。2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁组件包括多个第一开口，所述多个第一开口沿所述管体的延伸方向间隔设置，并且所述第一开口的开口方向相同，并均垂直指向所述承载装置或倾斜指向所述承载装置。3.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁组件还包括第二开口，所述第二开口与外部气路连通，当所述清洁组件为吹气装置时，所述开口为出风口，所述出风口的出风方向指向所述承载装置；或当所述清洁组件为真空吸附装置时，所述开口为吸气口，所述吸气口的真空吸附方向指向所述承载装置。4.根据权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁组件还包括两个第二开口，每个所述第二开口与其对应的一个独立的外部气路连通。5.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括第二支架，所述第二支架的...
【专利技术属性】
技术研发人员：张龙，方一，郭锡然，辛自强，李纪林，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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