一种磨片机砂浆桶及操作方法技术

本发明专利技术公开了一种磨片机砂浆桶，包括桶座，所述桶座的内壁滑动连接有桶体，所述桶体的顶部固定安装有导流件，所述导流件的顶部固定连接有回流管，所述回流管的一端固定连接有回流机构，所述桶体的内壁的中部固定连接有承托管，所述承托管的内壁转动连接有抽浆单元，所述抽浆单元包括抽浆盘，所述抽浆盘的两侧均开设有若干个抽浆孔本发明专利技术通过设置导流罩和分流盘等结构，对回流送入桶体的砂浆进行分流使其均匀分散的落入桶体内剩余的砂浆中，同时通过搅拌电机带动搅拌桨叶转动，将桶体底部的砂浆不断向上翻动，使得回流的砂浆与原有砂浆的混合更加均匀充分，使得砂浆的局部杂质含量过高导致无法使用，提高砂浆的利用率。提高砂浆的利用率。提高砂浆的利用率。

【技术实现步骤摘要】
一种磨片机砂浆桶及操作方法


[0001]本专利技术涉及硅片加工相关设备
，具体是一种磨片机砂浆桶及操作方法。

技术介绍

[0002]随着硅片应用的逐渐广泛，对硅片的质量要求也越来越高，硅片的表面不能有线锯印记和毛刺等瑕疵，因此需要使用磨片机进行打磨。
[0003]磨片机是通过高硬度的砂浆在磨盘可控的压力下对硅片双面进行磨削的一种设备，用于去除掉前道工序造成的损伤，从而形成高精度的几何表面和均一深度的损伤层，实现对硅片的打磨。
[0004]为减少砂浆的消耗，现有的砂浆桶普遍设置有用于将参与打磨后的砂浆进行回收的回流机构，由于回流的砂浆中普遍含有较多的硅片碎屑，当砂浆中的碎屑量达到一定量，不能用于打磨操作，必须更换新的砂浆；现有的砂浆桶其回流后的砂浆不能充分与原有砂浆混合，极易使得部分硅片碎屑含量过高的砂浆被循环抽取使用，影响打磨操作，也使得砂浆不能被充分利用；同时现有的砂浆桶的抽取操作只是通过单一的管道进行砂浆抽取，使得砂浆桶内的砂浆难以得到充分均匀的抽取利用。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种磨片机砂浆桶及操作方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种磨片机砂浆桶，包括桶座，所述桶座的内壁滑动连接有桶体，所述桶体一侧的顶部固定连接有进料管，所述进料管的一端卡合连接有密封塞，所述桶体的顶部固定安装有导流件，所述导流件包括导流管，所述导流管外壁的中部开设有若干个导流口，位于同一行的导流口之间成环形阵列等距排布，两个相邻行的导流口错位布置；所述导流管外壁的底部固定连接有导流罩，所述导流罩的底面大小略小于桶体内腔的大小，且所述导流罩的顶部高度高于其边沿的高度；所述导流管的底部固定连接有分流盘，所述分流盘的中部开设有分流腔，所述分流盘的底部开设有若干个等距分布的分流孔，若干个所述分流管均与分流腔相通。
[0007]所述桶体的内壁的中部固定连接有承托管，所述承托管的内壁转动连接有抽浆单元，所述抽浆单元包括抽浆盘，所述抽浆盘的两侧均开设有若干个抽浆孔；所述抽浆盘的内部开设有抽浆腔，所述抽浆腔包括两个相互对称的圆锥形腔，两个圆锥形腔的中部通过连通腔相连通，所述连通腔与两个圆锥形腔共同构成一个类工字形的抽浆腔，若干个所述抽浆孔分别与两个圆锥形腔的一侧相连通；所述承托管的内壁转动连接有对接环，所述对接环的一侧固定连接有对接管，所述对接管的一端与抽浆盘的一侧固定连接，所述对接环的另一侧卡合连接有调节管，所述调节管的内壁固定连接有固定接头，所述固定接头的一侧固定连接有导浆管，所述导浆管
的一端固定连接有蠕动泵，所述蠕动泵的输出端固定连接有供料管，所述供料管的一侧连通至磨片机的打磨工位，为打磨操作提供砂浆；所述固定接头的另一侧卡合连接有抽浆接头，所述抽浆接头的一侧固定连接有抽浆管，所述抽浆管的一端穿过对接管并与抽浆腔的中部固定连接；所述桶座的一侧固定连接有安装箱，所述安装箱内壁的一侧固定安装有转动电机，所述转动电机的输出端固定连接有传动杆，所述传动杆的外壁开设有限位槽，所述调节管内壁的一端固定连接有限位块，所述限位槽与限位块滑动连接，以此使得传动杆与调节管滑动连接，并使得传动杆能够带动调节管转动；所述安装箱的底部和调节管的底部均开设有通口，所述导浆管的一端穿过两个通口与蠕动泵的输入端固定连接，所述安装箱的顶部开设有调节槽，所述调节管的顶部固定连接有调节板，所述调节板的顶部穿过调节槽延伸至安装箱的外侧；本装置还包括回流机构，所述回流机构包括回流桶，所述回流桶一侧的顶部固定连接有接料管，所述接料管的一端固定连接有接料盒，所述接料盒的内壁固定连接有两个倾斜设置的接料板，两个所述接料板的中部均开设有若干个接料口，所述接料盒设置于打磨工位的下方，用于对参与打磨操作后的砂浆进行承接回收；所述回流桶的顶部固定安装有抽气泵，所述回流桶内壁的中部固定连接有聚流板，所述聚流板的底部固定安装有过滤器，所述回流桶的底部固定连接有过滤管，所述过滤管的一端固定连接有回流泵，所述回流泵的输出端固定连接有回流管，所述回流管的顶部导流管的顶部固定连接；所述桶体内壁的底部转动连接有搅拌板，所述搅拌板的顶部固定连接有若干个搅拌桨叶，所述桶座内壁的底部固定安装有搅拌电机，所述搅拌电机的输出端固定连接有卡接板，所述卡接板的顶部与搅拌板底部卡合连接；所述桶座的侧壁嵌设有导热管，所述导热管的两端均固定连接有调温管。
[0008]本专利技术还提供一种磨片机砂浆桶的操作方法，包括下列步骤：步骤一：启动蠕动泵，桶体内的砂浆通过抽浆口进入抽浆管，并由抽浆管进入导浆管，并由蠕动泵的泵送，由供料管进入磨片机的打磨工位；步骤二：通过接料盒对打磨工位流下的砂浆进行承接回收，抽气泵启动在回流桶内产生负压，将承接的砂浆导入回流桶，并通过过滤器进行过滤；步骤三：启动回流泵，将过滤后的砂浆送出并经由回流管进入导流件，经由导流件分散导流后落入桶体内；步骤四：启动搅拌电机，带动搅拌桨叶转动对砂浆进行搅拌，转动电机启动带动抽浆盘往复摆动，对不同位置砂浆进行抽取。
[0009]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术通过设置导流罩和分流盘等结构，对回流送入桶体的砂浆进行分流使其均匀分散的落入桶体内剩余的砂浆中，同时通过搅拌电机带动搅拌桨叶转动，将桶体底部的砂浆不断向上翻动，使得回流的砂浆与原有砂浆的混合更加均匀充分，避免砂浆的局部杂质含量过高导致无法使用，提高砂浆的利用率；通过设置在抽浆盘内设置圆锥形的腔体，使得位于抽浆盘边沿和中心处的抽浆口受到的抽离力更加均衡；同时通过转动电机带动抽浆盘整体进行往复转动，使得抽浆盘能够对桶体内各个位置的砂浆进行抽取；进一步提高了砂浆的利用效率；
通过抽气泵在回流通过内形成负压，将落入接料盒内的砂浆抽入回流桶中，由接料管抽入的空气通过抽气泵持续送出，维持回流桶内的负压，保持接料盒稳定的抽吸力，提高了对砂浆的回收效率；通过将调节管与对接环卡合连接，固定接头与抽浆接头卡合连接，使得桶体与桶座之间能够方便地进行拆卸，便于桶体的更换操作。
附图说明
[0010]图1为本专利技术的截面图；图2为本专利技术抽浆盘的立体图；图3为本专利技术图1中局部结构A的放大图；图4为本专利技术导流件的截面图；图5为本专利技术回流机构的立体图；图6为本专利技术回流桶的截面图；图7为本专利技术的立体图。
[0011]图中：1、桶座；2、桶体；3、导流管；4、导流口；5、导流罩；6、分流盘；7、承托管；8、抽浆盘；9、对接环；10、对接管；11、调节管；12、固定接头；13、导浆管；14、蠕动泵；15、供料管；16、抽浆接头；17、抽浆管；18、安装箱；19、转动电机；20、传动杆；21、回流桶；22、接料盒；23、接料板；24、接料管；25、抽气泵；26、聚流板；27、过滤器；28、回流泵；29、搅拌板；30、搅拌电机；31、导热管；32、回流管。
具体实施方式
[0012]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磨片机砂浆桶，其特征在于，包括桶座（1），所述桶座（1）的内壁滑动连接有桶体（2），所述桶体（2）的顶部固定安装有导流件，所述导流件的顶部固定连接有回流管（32），所述回流管（32）的一端固定连接有回流机构，所述桶体（2）的内壁的中部固定连接有承托管（7），所述承托管（7）的内壁转动连接有抽浆单元，所述抽浆单元包括抽浆盘（8），所述抽浆盘（8）的两侧均开设有若干个抽浆孔。2.根据权利要求1所述的一种磨片机砂浆桶，其特征在于，所述抽浆盘（8）的内部开设有抽浆腔，若干个所述抽浆孔均与抽浆腔相连通，所述抽浆腔的中部固定连接有抽浆管（17），所述抽浆管（17）的一端固定连接有抽浆接头（16），所述抽浆接头（16）的一侧卡合连接有固定接头（12），所述固定接头（12）的一侧固定连接有导浆管（13），所述导浆管（13）的一端固定连接有蠕动泵（14），所述蠕动泵（14）的输出端固定连接有供料管（15）。3.根据权利要求2所述的一种磨片机砂浆桶，其特征在于，所述承托管（7）的内壁转动连接有对接环（9），所述对接环（9）的一侧固定连接有对接管（10），所述对接管（10）的一端与抽浆盘（8）的一侧固定连接，所述对接环（9）的另一侧卡合连接有调节管（11），所述调节管（11）的内壁与固定接头（12）固定连接，所述调节管（11）的一端滑动连接有传动杆（20），所述传动杆（20）的一端固定连接有转动电机（19）。4.根据权利要求1所述的一种磨片机砂浆桶，其特征在于，所述导流件包括导流管（3），所述导流管（3）外壁的中部开设有若干个导流口（4），所述导流管（3）外壁的底部固定连接有导流罩（5），所述导流管（3）的底部固定连接有分流盘（6），所述分流盘（6）的底部开设有若干个分流孔。5.根据权利要求1所述的一种磨片机砂浆桶，其特征在于，所述桶体（2）内壁的底部转动连接有搅拌板（29），所述搅拌板（29）的顶部固定连接有...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶声威，
申请(专利权)人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：