金属遮罩的制作方法及电铸母板技术

一种金属遮罩的制作方法，包含：提供电铸母板，包含基材及导电图案层形成于基材上，导电图案层上形成有导电图案部、导电框架部，外边界开槽、以及电流汇入点，导电图案部包含多个图案开口以显露基材，导电框架部围设导电图案部，外边界开槽分别形成于每一导电图案部的相对两侧，电流汇入点形成于外边界开槽，以电性连接导电图案部及导电框架部；进行电铸制程，于电铸母板的表面形成电铸膜；以及对应于外边界开槽对电铸膜进行切割，且分离电铸膜及电铸母板，分离的电铸膜构成金属遮罩，且金属遮罩上具有遮罩开口。一种电铸母板亦被提供。一种电铸母板亦被提供。一种电铸母板亦被提供。

【技术实现步骤摘要】
金属遮罩的制作方法及电铸母板


[0001]本专利技术是有关一种金属遮罩的制作技术，尤其是一种以电铸制程进行遮罩制作的金属遮罩的制作方法及电铸母板。

技术介绍

[0002]有源矩阵有机发光二极管(Active Matrix Organic Light Emitting Diode，AMOLED)显示器采用有机发光二极管(OLED)作为发光源，具有显示反应速度快、超宽视角、超高对比度和饱和度、色域宽广的优点。AMOLED面板在制程上需要采用有机发光材料作为发光源的有机成膜技术，其中真空蒸镀法是目前最为成熟，也是现有绝大部分量产的小尺寸AMOLED产品采用的有机成膜技术。在蒸镀过程中，需要使用精密金属遮罩(Fine pitch Metal Mask，FMM)用于镀膜遮挡，产生像素图形，然后在真空环境下将有机材料加热使之蒸发并通过精密金属遮罩在基板上选择沉积成膜。精密金属遮罩属于AMOLED制程中的核心模具和耗材。
[0003]随着显示器解析度需求提高，对高精密度的OLED金属遮罩的尺寸公差要求更趋严峻，若蒸镀用金属遮罩的尺寸及定位精度不佳，将造成OLED显示器不同颜色(发光薄膜)错乱现象，严重影响各有机发光层发光效率不均，而使得显示面无法呈现高解析度的文字、画面或图案。
[0004]目前在以电铸制程制作金属遮罩时，受限于导电图案两侧普遍常设的边界开槽(outline)的设计，电流仅能由导电图案的另外两侧进入到导电图案中心，导致所形成的金属遮罩的开口有膜厚及尺寸不均的情形。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种金属遮罩的制作方法及电铸母板，于进行电铸制程时，电流可均匀导入各个导电图案部，以改善金属遮罩的开口有膜厚及尺寸不均的情形，而提高开口的可利用率。
[0006]本专利技术所提供的金属遮罩的制作方法，包含：提供电铸母板，包含基材及导电图案层，导电图案层形成于基材上，导电图案层上形成有导电图案部、导电框架部，多条外边界开槽、以及多个电流汇入点，导电图案部形成有多个图案开口，以显露基材，导电框架部围设导电图案部，外边界开槽分别形成于每一导电图案部的相对两侧，电流汇入点形成于每一导电图案部的至少一侧的外边界开槽，以电性连接导电图案部及导电框架部；进行一电铸制程，于电铸母板的表面形成电铸膜；以及对应于外边界开槽对电铸膜进行切割，且分离电铸膜及电铸母板，分离的电铸膜构成金属遮罩，且金属遮罩上具有多个遮罩开口。
[0007]在本专利技术的一实施例中，上述的电流汇入点的图形选自矩形、三角形及梯形其中之一或其组合。
[0008]在本专利技术的一实施例中，于进行上述的电铸制程时，电铸母板置于电铸槽中作为阴极体，且电流经由导电框架部及电流汇入点均匀导入导电图案部。
[0009]在本专利技术的一实施例中，上述的导电图案部的个数为多个，导电框架部包含导电外框部及多个导电肋部，导电肋部间隔排列且与导电外框部连接，经由导电肋部使导电图案部两两隔开。
[0010]在本专利技术的一实施例中，上述的外边界开槽设置于导电肋部及外框部，以位于每一导电图案部的相对两侧。
[0011]在本专利技术的一实施例中，上述的遮罩开口的分布对应于图案开口的分布，且遮罩开口的孔径小于图案开口的孔径。
[0012]在本专利技术的一实施例中，上述的每一导电图案部包含相对两第一侧及相对两第二侧，外边界开槽分别形成于两第一侧，导电框架部上形成有开孔，分别位于每一导电图案部的两第二侧。
[0013]在本专利技术的一实施例中，上述的金属遮罩上形成有定位缺口，对应于开孔的分布。
[0014]在本专利技术的一实施例中，对上述的铸膜进行切割的方法选自机械切割及激光切割其中之一。
[0015]本专利技术所提供的金属遮罩的制作方法，包含：提供电铸母板，包含基材及导电图案层，导电图案层形成于基材上，导电图案层上形成有多个导电图案部及导电框架部，每一导电图案部形成有多个图案开口，以显露基材，导电框架部形成有导电外框部及多个导电肋部，导电肋部间隔排列且与导电外框部连接，导电外框部围设导电图案部，且导电肋部使导电图案部两两隔开；进行电铸制程，于电铸母板的表面形成电铸膜；以及对应于导电肋部对电铸膜进行切割，且分离电铸膜及电铸母板，分离的电铸膜构成金属遮罩，且金属遮罩上具有多个遮罩开口。
[0016]在本专利技术的一实施例中，于进行上述的电铸制程时，电铸母板置于电铸槽中作为阴极体，且电流经由导电外框部及导电肋部均匀导入导电图案部。
[0017]在本专利技术的一实施例中，上述的每一导电图案部包含相对两第一侧及相对两第二侧，导电肋部沿着两第一侧的至少其中之一设置，导电外框部上形成有开孔，分别位于每一导电图案部的两第二侧。
[0018]本专利技术所提供的电铸母板，包含基材及导电图案层。导电图案层形成于基材上，导电图案层包含导电图案部、导电框架部、多条外边界开槽、以及多个电流汇入点，导电图案部包含多个图案开口，以显露基材，导电框架部围设导电图案部，外边界开槽分别形成于每一导电图案部的相对两侧，电流汇入点形成于每一导电图案部的至少一侧的外边界开槽，以电性连接导电图案部及导电框架部。
[0019]本专利技术所提供的电铸母板包含基材及导电图案层，导电图案层形成于基材上，导电图案层包含多个导电图案部及导电框架部，每一导电图案部包含多个图案开口，以显露基材，导电框架部包含导电外框部及导电肋部，导电肋部间隔排列且与导电外框部连接，导电外框部围设导电图案部，且导电肋部使导电图案部两两隔开。
[0020]本专利技术借由在外边界开槽形成电流汇入点，或者不预留外边界开槽的设计，使得电流可均匀导入各个导电图案部，以而改善金属遮罩的开口有膜厚及尺寸不均的情形，而提高开口的可利用率。
[0021]以下结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述，但不作为对本专利技术的限定。
附图说明
[0022]图1A至图1C所示是本专利技术一实施例金属遮罩的制作方法的部分剖面示意图。
[0023]图2A至图2C所示是本专利技术一第一实施例金属遮罩的制作方法的俯视示意图。
[0024]图3A至图3C所示分别是不同形状的电流汇入点形成于外边界开槽示意图。
[0025]图4A至图4C所示是本专利技术一第二实施例金属遮罩的制作方法的俯视示意图。
[0026]其中，附图标记：
[0027]10、10A:电铸母板
[0028]12:基材
[0029]14、14A:导电图案层
[0030]16:导电图案部
[0031]161:图案开口
[0032]162:第一侧
[0033]163:第二侧
[0034]164:导电子图形
[0035]18:导电框架部
[0036]181:导电外框部
[0037]181a:第一边框
[0038]181b:第二边框
[0039]182:导电肋部
[0040]20:外边界开槽
[0041]22、22A、22B:电流汇入点
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属遮罩的制作方法，其特征在于，包含：提供一电铸母板，包含一基材及一导电图案层，该导电图案层形成于该基材上，该导电图案层上形成有至少一导电图案部、一导电框架部，多条外边界开槽、以及多个电流汇入点，该至少一导电图案部形成有多个图案开口，以显露该基材，该导电框架部围设该至少一导电图案部，该些外边界开槽分别形成于每一该至少一导电图案部的相对两侧，该些电流汇入点形成于每一该至少一导电图案部的至少一侧的该外边界开槽，以电性连接该至少一导电图案部及该导电框架部；进行一电铸制程，于该电铸母板的表面形成一电铸膜；以及对应于该些外边界开槽对该电铸膜进行切割，且分离该电铸膜及该电铸母板，分离的该电铸膜构成至少一金属遮罩，且该至少一金属遮罩上具有多个遮罩开口。2.如权利要求1所述的金属遮罩的制作方法，其特征在于，该些电流汇入点的图形选自矩形、三角形及梯形其中之一或其组合。3.如权利要求1所述的金属遮罩的制作方法，其特征在于，于进行该电铸制程时，该电铸母板置于一电铸槽中作为一阴极体，且一电流经由该导电框架部及该些电流汇入点均匀导入该至少一导电图案部。4.如权利要求1所述的金属遮罩的制作方法，其特征在于，该至少一导电图案部的个数为多个，该导电框架部包含一导电外框部及多个导电肋部，该些导电肋部间隔排列且与该导电外框部连接，经由该些导电肋部使该些导电图案部两两隔开。5.如权利要求4所述的金属遮罩的制作方法，其特征在于，该些外边界开槽设置于该些导电肋部及该外框部，以位于每一该些导电图案部的相对两侧。6.如权利要求1所述的金属遮罩的制作方法，其特征在于，该些遮罩开口的分布对应于该些图案开口的分布，且该些遮罩开口的孔径小于该些图案开口的孔径。7.如权利要求1所述的金属遮罩的制作方法，其特征在于，每一该至少一导电图案部包含相对两第一侧及相对两第二侧，该些外边界开槽分别形成于该两第一侧，该导电框架部上形成有至少两开孔，分别位于每一该至少一导电图案部的该两第二侧。8.如权利要求7所述的金属遮罩的制作方法，其特征在于，该至少一金属遮罩上形成至少两定位缺口，对应于该至少两开孔的分布。9.如权利要求1所述的金属遮罩的制作方法，其特征在于，对该电铸膜进行切割的方法选自机械切割及激光切割其中之一。10.一种金属遮罩的制作方法，其特征在于，包含：提供一电铸母板，包含一基材及一导电图案层，该导电图案层形成于该基材上，该导电图案层上形成有多个导电图案部及一导电框架部，每一该些导电图案部形成有多个图案开口，以显露该基材，该导电框架部形成有一导电外框部及多个导电肋部，该些导电肋部间隔排列且与该导电外框部连接，该导电外框部围设该些导电图案部，且该些导电肋部使该些导电图案部两两隔开；进行一电铸制程，于该电铸母板的表面形成一电铸膜；以及对应于该些导电肋部对该电铸膜进行切割，且分离该电铸膜及该电铸母板，分离的该电铸膜构成...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨芸佩，程维堂，
申请(专利权)人：达运精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：