一种用于卷绕式真空镀膜机的水汽捕集装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于卷绕式真空镀膜机的水汽捕集装置，该水汽捕集装置主要包括捕集板、盘管和制冷机；捕集板设置在真空室内的侧壁上；盘管设置在捕集板的背面，且与捕集板紧密接触；盘管的进口和出口与设置在真空室外的制冷机相连，盘管内通有循环制冷剂；进行水汽捕集时，制冷机通过盘管对捕集板进行制冷。制冷后的捕集板表面温度为

【技术实现步骤摘要】
一种用于卷绕式真空镀膜机的水汽捕集装置


[0001]本技术属于真空镀膜
，特别涉及一种用于卷绕式真空镀膜机的水汽捕集装置。

技术介绍

[0002]随着光学薄膜技术、半导体技术以及新能源动力电池技术的发展，真空镀膜技术在生产中的应用也越来越广泛与重要。真空镀膜设备的种类很多，型式各异，其中卷绕式真空镀膜机由于其速度快、效率高、成本低等特点而广泛应用于大面积柔性薄膜的生产中。
[0003]在卷绕式真空镀膜机工作过程中，真空室内的柔性基膜会在高真空中大量放气，这部分放气中有很大比例是水汽。由于一般的高真空系统对水汽的抽除能力较低，所以在真空室内残余气体中的水汽会占80%以上。随着真空镀膜过程的进行，水汽会在真空室内不断积累，严重影响了镀膜室的真空度，使柔性薄膜的镀膜质量受到影响。

技术实现思路

[0004]为解决上述问题，本技术提供一种用于卷绕式真空镀膜机的水汽捕集装置，该水汽捕集装置主要包括捕集板、盘管和制冷机；捕集板设置在真空室内的侧壁上；盘管设置在捕集板的背面，且与捕集板紧密接触；盘管的进口和出口与设置在真空室外的制冷机相连，盘管内通有循环制冷剂；进行水汽捕集时，制冷机通过盘管对捕集板进行制冷。制冷后的捕集板表面温度为
‑
5℃至100℃，可将真空室内的水汽通过冷凝捕集在捕集板表面。
[0005]捕集板为方形或圆形的不锈钢薄板。捕集板面向真空室一侧的表面具有凹凸不平的图案，该图案为选自波浪状、蜂窝状、网格状、点阵状中的一种。
[0006]捕集板的背面还布置有加热器，加热器的加热温度为30℃至100℃。加热器用于在真空室打开之前对捕集板进行加热除霜，避免在真空室打开时，大气中的水汽凝结在低温的捕集板上而结霜，影响下次抽真空。
[0007]本技术的有益效果：
[0008]本技术的水汽捕集装置采用冷凝的方法捕集去除卷绕式真空镀膜机真空室内的水汽，有效地解决了水汽在真空室内顽固残存的问题，提高了卷绕式真空镀膜机真空系统的抽气效率，提高了成膜质量。
附图说明
[0009]图1为本技术的一种用于卷绕式真空镀膜机的水汽捕集装置的结构示意图。
具体实施方式
[0010]下面结合附图进一步说明本技术的实施方式。应当理解的是，此处描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不是用于限制本技术。
[0011]图1为本技术的一种用于卷绕式真空镀膜机的水汽捕集装置的结构示意图。
如图1所示，该水汽捕集装置主要包括捕集板1、盘管2和制冷机3；捕集板1设置在真空室内的侧壁4上；盘管2设置在捕集板1的背面，且与捕集板1紧密接触；盘管2的进口和出口与设置在真空室外的制冷机3相连，盘管2内通有循环制冷剂；进行水汽捕集时，制冷机3通过盘管2对捕集板1进行制冷。制冷后的捕集板1的表面温度为
‑
5℃至100℃，可将真空室内的水汽通过冷凝捕集在捕集板表面。
[0012]捕集板1为方形或圆形的不锈钢薄板。捕集板面向真空室一侧的表面具有凹凸不平的图案，该图案为选自波浪状、蜂窝状、网格状、点阵状中的一种。
[0013]捕集板1的背面还布置有加热器5，加热器的加热温度为30℃至100℃。加热器用于在真空室打开之前对捕集板进行加热除霜，避免在真空室打开时，大气中的水汽凝结在低温的捕集板上而结霜，影响下次抽真空。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于卷绕式真空镀膜机的水汽捕集装置，主要包括捕集板、盘管和制冷机；捕集板设置在真空室内的侧壁上；盘管设置在捕集板的背面，且与捕集板紧密接触；盘管的进口和出口与设置在真空室外的制冷机相连，盘管内通有循环制冷剂；进行水汽捕集时，制冷机通过盘管对捕集板进行制冷。2.根据权利要求1所述的用于卷绕式真空镀膜机的水汽捕集装置，其特征在于：捕集板面向真空室一侧的表面具有凹凸不平的图案，该图案为选自波浪状、蜂窝状、网格状、点阵状中的一种。3.根据权利要求1所述的用于卷绕式真空镀膜机的水汽捕集装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：李成林，杜雪峰，郝明，
申请(专利权)人：泊肃叶科技沈阳有限公司，
类型：新型
国别省市：