一种芯片脏污自动检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种芯片脏污自动检测装置，包括检测组件，用于对待检测的芯片拍照取像，以获取芯片上尘点的位置信息；照明组件，用于对待检测的芯片进行照明来辅助完成检测工作，其包括：第一光源件，其设于检测组件的一侧并与检测组件固定连接；第二光源件，包括若干组，若干组第二光源件沿圆周方向间隔并均匀排布于检测组件的输出端。自动检测装置还包括竖向设置的安装板；检测组件包括：图像传感器，其通过第一固定件与安装板相装配；检测镜头，其平行于安装板并通过第二固定件与安装板相装配，且其顶端与图像传感器相接。第一光源件装配于检测镜头的侧壁上，且其照明光路与检测镜头的检测光路同轴设置。镜头的检测光路同轴设置。镜头的检测光路同轴设置。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片脏污自动检测装置


[0001]本技术涉及半导体芯片检测设备
，具体为一种芯片脏污自动检测装置。

技术介绍

[0002]为了满足量产需求，半导体芯片的电性必须是可预测且稳定，对于掺杂物的纯度、半导体晶格结构，包括外界环境的种种因素，各关把控都必须严格。半导体芯片上脏污、尘点的存在更是不允许的，会对半导体芯片的性能造成不必要的影响。其形成的原因主要是人工在显微镜目视检测时导致芯片被手动粘尘，同时人工检测的效率低下，容易造成漏检和二次污染，而且需要消耗大量人力、物力，导致半导体芯片生产的品质不能够得到保证。
[0003]因此，本技术于提供一种芯片脏污自动检测装置，以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种芯片脏污自动检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种芯片脏污自动检测装置，包括：
[0006]安装板，其沿竖直方向设置；
[0007]检测组件，用于对待检测的芯片拍照取像，以获取芯片上尘点的位置信息；
[0008]照明组件，用于对待检测的芯片进行照明来辅助完成检测工作。
[0009]进一步的，所述检测组件包括：
[0010]图像传感器，其通过第一固定件与所述安装板相装配；
[0011]检测镜头，其平行于所述安装板并通过第二固定件与所述安装板相装配，且其顶端与所述图像传感器相接。
[0012]进一步的，所述照明组件包括：
[0013]第一光源件，其固定装配于所述检测镜头的侧壁上，且其照明光路与所述检测镜头的检测光路同轴设置，旨在针对摄像头模组特点，检测镜头在第一光源件的同轴照明下，更为准确的获取图像信息；
[0014]第二光源件，包括若干组，若干组所述第二光源件沿圆周方向间隔并均匀排布于所述检测镜头的输出端，且其与所述检测镜头的中轴线倾斜设置，旨在实现芯片的多角度照亮，辅助检测镜头准确获取晶圆上脏污、尘点等缺陷类型图像。
[0015]进一步的，所述第一光源与第二光源件的照明光路汇集成一点并落至待测芯片上，因脏污、尘点等是有厚度、有体积的，旨在从多个侧面、不同角度照亮芯片，即准确获取晶圆上脏污、尘点等缺陷的位置信息。
[0016]进一步的，所述第二光源件通过调节固定架与所述安装板相连，所述调节固定架包括：
[0017]固定环，其横向固定于所述安装板的底端，并与所述检测镜头同轴设置；
[0018]调节吊耳，一组所述第二光源件对应设置一个调节吊耳，若干个所述调节吊耳以中心对称形式垂直并固定于所述固定环的底部；
[0019]连接件，所述第二光源件通过连接件与所述调节吊耳相装配，所述调节吊耳上开设有条状弧形的滑槽，所述连接件通过所述滑槽与调节吊耳滑动连接。目的在于：一是对第二光源件进行固定，保证检测过程中的稳定性；二是通过设置滑槽，方便实现第二光源件的角度调节，提高检测装置的普适性。
[0020]进一步的，所述第二光源件的倾斜角度范围是15~75
°
，旨在实现芯片的多角度照亮，辅助检测镜头准确获取晶圆上脏污、尘点等缺陷类型图像。
[0021]进一步的，所述第一光源件与检测镜头之间设有发射光路的角度转换棱镜，目的在于确保第一光源件的照明光路与检测镜头的检测光路同轴发射。
[0022]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：本技术一种芯片脏污自动检测装置，通过照明组件的高精度照明技术，针对摄像头模组特点，搭建芯片专用的检测组件，从多个侧面、不同角度获取其晶圆上脏污、尘点等缺陷类型图像，从而实现了自动定位脏污、尘点的位置。该装置可有效避免人工检测的种种问题，自动化程度高，生产良率高且品质稳定。
附图说明
[0023]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0024]图1是本技术一种芯片脏污自动检测装置的整体结构的三维示意图；
[0025]图2是本技术一种芯片脏污自动检测装置的整体结构的侧视图；
[0026]图3是本技术一种芯片脏污自动检测装置的整体结构的仰视图；
[0027]图中：1、检测组件，11、图像传感器，12、检测镜头；2、照明组件，21、第一光源，22、第二光源件；3、安装板；4、第一固定件；5、第二固定件；6、固定环；7、调节吊耳，71、滑槽；8、连接件。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]请参阅图1
‑
3，本技术提供技术方案：一种芯片脏污自动检测装置，包括：
[0030]安装板3，其沿竖直方向设置；
[0031]检测组件1，用于对待检测的芯片拍照取像，以获取芯片上尘点的位置信息，其包括：
[0032]图像传感器11，其通过第一固定件4与所述安装板3相装配；
[0033]检测镜头12，其平行于所述安装板3并通过第二固定件5与所述安装板3相装配，且其顶端与所述图像传感器11相接。
[0034]在其中一个实施例中，所述图像传感器11为CCD传感器，中文全称是电荷耦合器件图像传感器11，由高感光度的半导体材料制成，是一种新型光电转换器件。该类型图像传感器11可以更好针对摄像头模组的特点，从而实现自动定位尘点。
[0035]在其中一个实施例中，所述检测镜头12为远心镜头，包括特有的平行光路设计，可以在一定的物距范围内，使得到的图像放大倍率不会变化。该类型的检测镜头12，可以较为准确地获取芯片晶圆上脏污、尘点等缺陷类型图像。
[0036]照明组件2，用于对待检测的芯片进行照明来辅助完成检测工作，其包括：
[0037]第一光源件21，其固定装配于所述检测镜头12的侧壁上，且其照明光路与所述检测镜头12的检测光路同轴设置；
[0038]第二光源件22，包括若干组，若干组所述第二光源件22沿圆周方向间隔并均匀排布于所述检测镜头12的输出端，且其与所述检测镜头12的中轴线倾斜设置。
[0039]在其中一个实施例中，所述第二光源件22设有四组，环绕布置在检测镜头12的输出端。在其他实施例中，第二光源件22的具体数量由使用环境和需求，结合成本计算而定。
[0040]在其中一个实施例中，所述第一光源件21是同轴光源，均匀照亮检测芯片，而脏污、尘点等是有厚度、有体积的，所以通过同轴光源克服反光造成的干扰，凸显其表面的不平整之处，即准确获取晶圆上脏污、尘点等缺陷的位置信息。
[0041]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片脏污自动检测装置，其特征在于，包括：安装板（3），其沿竖直方向设置；检测组件（1），用于对待检测的芯片拍照取像，以获取芯片上尘点的位置信息，其包括：图像传感器（11），其通过第一固定件（4）与所述安装板（3）相装配；检测镜头（12），其平行于所述安装板（3）并通过第二固定件（5）与所述安装板（3）相装配，且其顶端与所述图像传感器（11）相接；照明组件（2），用于对待检测的芯片进行照明来辅助完成检测工作，其包括：第一光源件（21），其固定装配于所述检测镜头（12）的侧壁上，且其照明光路与所述检测镜头（12）的检测光路同轴设置；第二光源件（22），包括若干组，若干组所述第二光源件（22）沿圆周方向间隔并均匀排布于所述检测镜头（12）的输出端，且其与所述检测镜头（12）的中轴线倾斜设置；所述第一光源件（21）与第二光源件（22）的照明光路汇集成一点并落至待测芯片上。2.根据权利要求1所述的一种芯片脏...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘金杰，廖茂密，
申请(专利权)人：昆山普杰科特半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：