一种微波等离子体装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种微波等离子体装置，包括：微波模块、同轴电缆、腔体、气体导入管、气体导出管、冷却模块、第一法兰和第二法兰，腔体的第一端通过同轴电缆连接微波模块，腔体的第二端连接冷却模块，气体导入管通过第一法兰连接腔体的第三端，气体导出管通过第二法兰连接腔体的第四端，腔体内置有金属粉体。也就是说，本实用新型专利技术使用金属颗粒经由惰性气体或者非惰性气体吹散且置于腔体内的微波场中时，可快速且高效产生等离子体，大大提高了等离子体的产生效率；进一步的，产生的等离子体通过吸收微波后火焰变大、温度变高、能量变高及密度提高，从而产生了体温和密度均很高的等离子体，结构简单，工作可靠，易操作，成本低，可连续运行。可连续运行。可连续运行。

【技术实现步骤摘要】
一种微波等离子体装置


[0001]本技术属于等离子体
，涉及但不限于一种微波等离子体装置。

技术介绍

[0002]众所周知，等离子体是物质最主要的正常状态，也被称为物质的第四状态，即电离了的“气体”，它呈现出高度激发的不稳定态，并且随着人们对等离子体认识的不断深入，等离子体技术也被广泛应用于环保、物理、环境、半导体等领域。因此，如何快速且高效产生等离子体越来越成为热门研究方向。
[0003]现有等离子体产生装置，包括金属腔体外壳、石英管、梯度电极、气体单元和微波产生单元；通过向石英管内通入气体，微波功率经过腔体反射后在石英管内的特定区域聚集，气体分子在功率聚集区域吸收微波能量发生电离，进而产生原子态等离子体。
[0004]然而，由于现有等离子体产生装置只能在微波功率聚集的特定区域产生等离子体，从而导致等离子体的产生效率并不高。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于，针对现有技术在产生等离子体的过程中存在的不足，提供一种微波等离子体装置，以解决现有等离子体产生装置只能在微波功率聚集的特定区域产生等离子体而导致的等离子体的产生效率并不高的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术实施例采用的技术方案如下：
[0007]本技术实施例提供了一种微波等离子体装置，所述装置包括：微波模块、同轴电缆、腔体、气体导入管、气体导出管、冷却模块、第一法兰和第二法兰；
[0008]其中，所述腔体的第一端通过所述同轴电缆连接所述微波模块，所述腔体的第二端连接所述冷却模块，所述气体导入管通过所述第一法兰连接所述腔体的第三端，所述气体导出管通过所述第二法兰连接所述腔体的第四端，所述腔体内置有金属粉体。
[0009]可选的，所述第一端和所述第二端左右相向设置，所述第三端和所述第四端上下相向设置。
[0010]可选的，所述第三端和所述第四端分别为面状金属网。
[0011]可选的，所述面状金属网的表面分布有多个网孔，所述网孔的直径小于所述金属粉体的直径。
[0012]可选的，所述微波模块包括磁控管或者微波固体源。
[0013]可选的，所述腔体为金属材质，且所述腔体为圆柱状或者长方体状。
[0014]可选的，所述气体导入管用于向所述腔体内注入目标气体；其中，所述目标气体包括产生等离子体的气体。
[0015]可选的，所述金属粉体包括耐高温金属颗粒或者包裹绝缘层的金属颗粒。
[0016]可选的，所述冷却模块由进水管、出水管、泵及液箱组成，且所述液箱中内置有冷却液。
[0017]可选的，所述腔体外接进料斗，所述进料斗用于向所述腔体内注入所述金属粉体。
[0018]本技术的有益效果是：一种微波等离子体装置，包括：微波模块、同轴电缆、腔体、气体导入管、气体导出管、冷却模块、第一法兰和第二法兰；其中，所述腔体的第一端通过所述同轴电缆连接所述微波模块，所述腔体的第二端连接所述冷却模块，所述气体导入管通过所述第一法兰连接所述腔体的第三端，所述气体导出管通过所述第二法兰连接所述腔体的第四端，所述腔体内置有金属粉体。也就是说，本技术微波模块产生的微波在同轴电缆的作用下馈入腔体内时形成微波场，并且金属颗粒通过使用经由气体导入管进入腔体内的惰性气体或者非惰性气体吹散且置于微波场中时，可在微波辐射作用以及惰性气体或者非惰性气体的作用下快速且高效产生等离子体，大大提高了等离子体的产生效率；进一步的，产生的等离子体通过吸收微波后火焰变大、温度变高、能量变高及密度提高，从而产生了体温和密度均很高的等离子体，实现了快速且高效产生高能量密度等离子体的目的，解决了现有等离子体产生装置只能在微波功率聚集的特定区域产生等离子体而导致的等离子体的产生效率并不高的问题，结构简单，工作可靠，等离子体的产生效率高，等离子体的温度和密度也高，具有易操作、成本低、可连续运行的优点，从而也大大提高了微波等离子体装置的使用寿命。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它相关的附图。
[0020]图1为本技术一实施例提供的微波等离子体装置示意图；
[0021]图2为本技术一实施例提供的腔体的上下两端为面状金属网的示意图；
[0022]图3为本技术一实施例提供的冷却模块的结构示意图。
[0023]图标：1
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微波模块、2
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同轴电缆、3
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腔体、4
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气体导入管、5
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气体导出管、6
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冷却模块、7
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第一法兰、8
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第二法兰、61
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进水管、62
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出水管、63
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泵、64
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液箱。
具体实施方式
[0024]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0025]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0027]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖
直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0028]此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0029]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微波等离子体装置，其特征在于，所述装置包括：微波模块(1)、同轴电缆(2)、腔体(3)、气体导入管(4)、气体导出管(5)、冷却模块(6)、第一法兰(7)和第二法兰(8)；其中，所述腔体(3)的第一端通过所述同轴电缆(2)连接所述微波模块(1)，所述腔体(3)的第二端连接所述冷却模块(6)，所述气体导入管(4)通过所述第一法兰(7)连接所述腔体(3)的第三端，所述气体导出管(5)通过所述第二法兰(8)连接所述腔体(3)的第四端，所述腔体(3)内置有金属粉体。2.根据权利要求1所述的微波等离子体装置，其特征在于，所述第一端和所述第二端左右相向设置，所述第三端和所述第四端上下相向设置。3.根据权利要求2所述的微波等离子体装置，其特征在于，所述第三端和所述第四端分别为面状金属网。4.根据权利要求3所述的微波等离子体装置，其特征在于，所述面状金属网的表面分布有多个网孔，所述网孔的直径小于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：马中发，孙琪琛，张虎晨，
申请(专利权)人：苏州因变光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：