本实用新型专利技术公开了一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统，冷却收尘装置包括封闭腔体、折行挡板和水冷挡板；封闭腔体的侧壁底端开设有进气口，进气口与气相沉淀炉的排气口导通连接；封闭腔体的侧壁顶端开设有出气口，出气口与真空系统的入口导通连接；水冷挡板和折行挡板沿着进气口到出气口的方向依次交错设置在封闭腔体内，水冷挡板内设有水冷通道，封闭腔体的腔体壁内设置有水冷夹层。真空系统启动，将气相沉淀炉排出的高温气体泵出，高温气体在经过封闭腔体内时，与内部带有水冷的水冷挡板接触，打散，再与封闭腔体的水冷夹层相互接触，可以快速将气体温度冷却下来，通过折行挡板，形成的粉末沉降下来而不会带到真空系统，保护了真空系统。了真空系统。了真空系统。
【技术实现步骤摘要】
一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统
[0001]本技术涉及化学气相沉积
，尤其是涉及一种冷却收尘装置及气相沉积炉系统。
技术介绍
[0002]制备氮化硼制品的工艺需要使用到气相沉积炉，以NH3、BCl3为原料气体，在高温情况下，热解生成氮化硼材料。整个合成系统包含了：供气系统、反应系统、水冷系统、真空系统和收尘系统等。制备过程NH3、BCl3采用了一定配比，热解生成的部分氮化硼和副产物NH4Cl被真空系统抽走，进入真空系统，造成真空系统的损坏。
[0003]因此，如何减少进入真空系统中的灰尘是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本技术的第一个目的是提供一种冷却收尘装置，能够减少进入真空系统中的灰尘。
[0005]本技术的第二个目的是提供一种气相沉积炉系统。
[0006]为了实现上述第一个目的，本技术提供了如下方案：
[0007]一种冷却收尘装置，包括封闭腔体、折行挡板和水冷挡板；
[0008]所述封闭腔体的侧壁底端开设有进气口，所述进气口与气相沉淀炉的排气口导通连接；
[0009]所述封闭腔体的侧壁顶端开设有出气口，所述出气口与真空系统的入口导通连接；
[0010]所述水冷挡板和所述折行挡板沿着所述进气口到所述出气口的方向依次交错设置在所述封闭腔体内，所述水冷挡板内设有水冷通道，所述封闭腔体的腔体壁内设置有水冷夹层。
[0011]在一个具体的实施方案中，所述折行挡板的个数为多个，且所述折行挡板间交错设置。
[0012]在另一个具体的实施方案中，所述冷却收尘装置还包括收尘盒；
[0013]所述收尘盒密封可拆卸安装在所述封闭腔体的底端开口处，用于收集沉淀下来的灰尘。
[0014]在另一个具体的实施方案中，所述冷却收尘装置还包括封闭顶盖；
[0015]所述封闭顶盖密封可拆卸安装在所述封闭腔体的顶端开口处。
[0016]在另一个具体的实施方案中，所述冷却收尘装置还包括进水冷管和出水冷管；
[0017]所述进水冷管和所述出水冷管均安装在所述封闭顶盖上，且所述进水冷管与所述水冷挡板的进水口导通连接，所述出水冷管与所述水冷挡板的出水口导通连接。
[0018]在另一个具体的实施方案中，所述水冷挡板和所述折行挡板均固定在所述进水冷管和所述出水冷管上。
[0019]在另一个具体的实施方案中，所述水冷夹层的底端开设有冷水进口，所述水冷夹层的顶端开设有冷水出口。
[0020]在另一个具体的实施方案中，所述收尘盒通过法兰与所述封闭腔体的底端开口可拆卸连接；
[0021]所述封闭顶盖为法兰。
[0022]根据本技术的各个实施方案可以根据需要任意组合，这些组合之后所得的实施方案也在本技术范围内，是本技术具体实施方式的一部分。
[0023]本技术提供的冷却收尘装置，使用时，将封闭腔体的侧壁底端的进气口与气相沉淀炉的排气口导通连接，将封闭腔体的侧壁顶端开设的出气口与真空系统的入口导通连接；然后，真空系统启动，将气相沉淀炉排出的高温气体泵出，高温气体在经过封闭腔体内时，与内部带有水冷的水冷挡板接触，打散，再与封闭腔体的水冷夹层相互接触，可以快速将气体温度冷却下来，通过折行挡板，形成的粉末沉降下来而不会带到真空系统，保护了真空系统。
[0024]为了实现上述第二个目的，本技术提供了如下方案：
[0025]一种气相沉积炉系统，包括气相沉淀炉、真空系统和如上述任意一项所述的冷却收尘装置；
[0026]所述气相沉淀炉的排气口与所述冷却收尘装置的进气口导通连接，所述真空系统的入口与所述冷却收尘装置的出气口导通连接。
[0027]在一个具体的实施方案中，所述真空系统包括泵组、真空管道和电磁阀；
[0028]所述泵组与所述真空管道的一端导通连接，所述真空管道的另一端与所述冷却收尘装置的出气口导通连接，所述电磁阀安装在所述真空管道上。
[0029]由于本技术公开的气相沉积炉系统包括如上述任意一项中的冷却收尘装置，因此，冷却收尘装置所包含的有益效果均是本技术公开的气相沉淀炉系统所包含的。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出新颖性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1为本技术提供的冷却收尘装置的结构示意图；
[0032]图2为本技术提供的气相沉积炉系统的结构示意图。
[0033]其中，图1
‑
图2中：
[0034]封闭腔体1、折行挡板2、水冷挡板3、进气口101、气相沉淀炉4、出气口102、真空系统5、收尘盒6、封闭顶盖7、进水冷管8、出水冷管9、冷水进口103、冷水出口104、泵组501、真空管道502、电磁阀503。
具体实施方式
[0035]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0036]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶面”、“底面”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的位置或元件必须具有特定方位、以特定的方位构成和操作，因此不能理解为本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0037]如图1所示，本技术一方面提供了一种冷却收尘装置，用于尾气除尘。
[0038]具体地，冷却收尘装置包括封闭腔体1、折行挡板2和水冷挡板3，封闭腔体1的侧壁底端开设有进气口101，进气口101与气相沉淀炉4的排气口导通连接，封闭腔体1的侧壁顶端开设有出气口102，出气口102与真空系统5的入口导通连接，以实现气相沉淀炉4排出的气体进入冷却收尘装置，经过冷却收尘装置沉淀后，通过冷却收尘装置的出气口102到真空系统5内。
[0039]水冷挡板3和折行挡板2沿着进气口101到出气口102的方向依次交错设置在封闭腔体1内，使得粉体经过水冷挡板3及折行挡板2的阻挡沉淀到封闭腔体1的底端。具体地，水冷挡板3内设有水冷通道，封闭腔体1的腔体壁内设置有水冷夹层。气体作用在折行挡板2上，接触、打散，然后与封闭腔相互接触，这样达到降温作用，当气体经过折行挡板2之后，温度降至100℃以下，气体95％以上变成固体，由于折行挡板2交错设置，沉降下来的粉体由于折行挡板2的阻挡，并不会进本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种冷却收尘装置，其特征在于，包括封闭腔体、折行挡板和水冷挡板；所述封闭腔体的侧壁底端开设有进气口，所述进气口与气相沉淀炉的排气口导通连接；所述封闭腔体的侧壁顶端开设有出气口，所述出气口与真空系统的入口导通连接；所述水冷挡板和所述折行挡板沿着所述进气口到所述出气口的方向依次交错设置在所述封闭腔体内，所述水冷挡板内设有水冷通道，所述封闭腔体的腔体壁内设置有水冷夹层。2.根据权利要求1所述的冷却收尘装置，其特征在于，所述折行挡板的个数为多个，且所述折行挡板间交错设置。3.根据权利要求1所述的冷却收尘装置，其特征在于，还包括收尘盒；所述收尘盒密封可拆卸安装在所述封闭腔体的底端开口处，用于收集沉淀下来的灰尘。4.根据权利要求3所述的冷却收尘装置，其特征在于，还包括封闭顶盖；所述封闭顶盖密封可拆卸安装在所述封闭腔体的顶端开口处。5.根据权利要求4所述的冷却收尘装置，其特征在于，还包括进水冷管和出水冷管；所述进水冷管和所述出水冷管均安装在所述封闭顶盖上，且所述进水冷管与所述水冷挡板的进水口导通连接，所述出水冷管与所述水冷挡板的出...
【专利技术属性】
技术研发人员：余明，朱刘，李房斌，于金凤，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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