本实用新型专利技术提供了一种用于原子层沉积系统管路及阀门清洗装置，包括待清洗管路，罩在待清洗管路外侧的加热箱，待清洗管路的一端贯通连接有并联设置的第一惰性气体输送装置、第一清洗池、第二清洗池和第三清洗池，且第一清洗池、第二清洗池和第三清洗池并联连接有同一个第二惰性气体输送装置。本实用新型专利技术克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，本实用新型专利技术在清洗过程中，清洗剂均在真空环境中，不会暴露在大气中，减少环境污染。清洗装置设计与需要清洗的管路一样的密封面，清洗中处于密封状态，属于原位清洗，不会破坏管路和密封面的粗糙度。糙度。糙度。
【技术实现步骤摘要】
一种用于原子层沉积系统管路及阀门清洗装置
[0001]本技术涉及原子层沉积设备
，具体涉及一种用于原子层沉积系统管路及阀门清洗装置。
技术介绍
[0002]原子层沉积工艺的特点是三维共形性、大面积的均匀性和厚膜可控性。原子层沉积工艺是一种气相沉积的过程，气态前驱体源可以扩散到的地方就会沉积致密的薄膜，这会导致原子层沉积装置的管路以及阀门内壁沉积薄膜，当薄膜的厚度达到一定程度会剥落，会在样品表面形成微米级别的颗粒甚至肉眼可见的粉尘。这就需要定期清洗管路以及阀门，目前采取的方式是将管路和阀门浸泡在溶剂中反复超声清洗，再干燥。这里存在几个问题：
[0003]步骤繁琐，效率低下，需要反复的浸泡以及清洗，再干燥；
[0004]在反复浸泡以及清洗的过程中需要大量的有机溶剂，且有机溶剂是暴露在大气中，还会产生大量的废液污染环境；
[0005]原子层沉积的管路及阀门都是金属密封，密封面的粗糙度很低，而在反复的超声清洗中会损害粗糙度；
[0006]缺乏检测数据，凭经验完成清洗工作；
[0007]鉴于以上问题，本专利技术提供一种用于原子层沉积系统管路及阀门清洗装置，既可以集成在设备上进行原位清洗，也可以单独对管路及阀门进行清洗。
[0008]为此，我们提出一种用于原子层沉积系统管路及阀门清洗装置。
技术实现思路
[0009]本技术的目的在于解决或者至少缓解现有技术中存在的问题。
[0010]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
[0011]一种用于原子层沉积系统管路及阀门清洗装置，包括待清洗管路，罩在待清洗管路外侧的加热箱，所述待清洗管路的一端贯通连接有并联设置的第一惰性气体输送装置、第一清洗池、第二清洗池和第三清洗池，且第一清洗池、第二清洗池和第三清洗池并联连接有同一个第二惰性气体输送装置；
[0012]待清洗管路的另一端并联连接有真空泵和废液池；第一惰性气体输送装置、第一清洗池、第二清洗池、第三清洗池、真空泵和废液池上均设置有相对应的控制阀。
[0013]进一步的，所述第一清洗池、第二清洗池和第三清洗池中的清洗液极性不同。
[0014]进一步的，还包括连接在加热箱上并对待清洗管路进行观测的监控装置，监控装置的监测端延伸至管路中。
[0015]进一步的，所述真空泵的串联线路上连接有第一压力计，且废液池的串联线路上连接有第二压力计。
[0016]进一步的，所述废液池位于真空泵的下方。
[0017]本技术实施例提供了一种用于原子层沉积系统管路及阀门清洗装置。具备以下有益效果：
[0018]1、清洗过程中，清洗剂均在真空环境中，不会暴露在大气中，减少环境污染。
[0019]2、清洗装置设计与需要清洗的管路一样的密封面，清洗中处于密封状态，属于原位清洗，不会破坏管路和密封面的粗糙度。
[0020]3、清洗装置中配备第二惰性气体输送装置，可以检测薄膜残留的成本以确定是否清洗干净。
附图说明
[0021]图1为本技术结构示意图。
[0022]图中：第一惰性气体输送装置1、需要清洗的管路或者阀门2、加热箱3、真空泵4、废液池5、第一清洗池6、第二清洗池6.1、第三清洗池6.2、第二惰性气体输送装置7、监控装置8。
具体实施方式
[0023]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]参照附图1，一种用于原子层沉积系统管路及阀门清洗装置，包括待清洗管路2，待清洗管路2置于加热箱3内，通过加热箱3能够对待清洗管路2进行加热，能够加速薄膜的溶解，方便清洗，待清洗管路2的一端贯通连接有并联设置的第一惰性气体输送装置1、第一清洗池6、第二清洗池6.1和第三清洗池6.2，且第一清洗池6、第二清洗池6.1和第三清洗池6.2并联连接有同一个第二惰性气体输送装置7；第一清洗池6、第二清洗池6.1和第三清洗池6.2中的清洗液极性不同，根据薄膜的性质，清洗液的极性可以采用最强正己烷也可以采用极性最弱比如乙醚，通过设置不同极性的清洗液，能够提高清洗的范围，提高效率。
[0025]待清洗管路2的另一端并联连接有真空泵4和废液池5；第一惰性气体输送装置1、第一清洗池6、第二清洗池6.1、第三清洗池6.2、真空泵4和废液池5上均设置有相对应的控制阀，方便控制开启，在真空泵4的串联线路上连接有第一压力计，且废液池5的串联线路上连接有第二压力计；通过第一压力计和第二压力计，当第二压力计的压力值大于第一压力计的压力值时，此时能够判断需要清理废液。
[0026]还包括连接在加热箱3上并对待清洗管路2进行观测的监控装置8，监控装置8的监测端延伸至待清洗管路2中。
[0027]废液池5位于真空泵4的下方，方便废液流入废液池5中。
[0028]操作步骤如图1所示：
[0029]首先通过打开真空泵4的阀门，通过流量计控制第一惰性气体输送装置1的流量，对待清洗管路2进行初次清洗，同时使整个系统处于真空状态下；
[0030]设置第二惰性气体输送装置7的流量，打开第一清洗池6的阀门，同时关闭第一惰
性气体输送装置1的阀门，氮气将携带第一清洗池6中的第一清洗液进入到待清洗管路2中并停留一段时间，此时可以根据是否通过打开加热箱3加热加速薄膜溶解；
[0031]清洗完成后，打开废液池5的阀门，让第一清洗液流入到废液池中。
[0032]当第二压力计的压力值大于第一压力计的压力值时，需要清理废液。
[0033]同理当需要采用不同极性的清洗液时，按照上述步骤依次通入第二清洗池6.1和第三清洗池6.2；
[0034]清洗液清洗完成后，将待清洗管路2和阀门通过加热箱3加热至150度，通过第一惰性气体输送装置1用最大流量的氮气吹扫待清洗管路2，减少杂质。
[0035]清洗系统中可以配置监控装置8，以监控在清洗过程中载气中杂质成分的变化。
[0036]整个清洗过程在真空中进行，步骤均可以自动进行，减少繁琐的人工操作，清洗和干燥一体化；
[0037]清洗过程中，清洗剂均在真空环境中，不会暴露在大气中，减少环境污染；
[0038]清洗装置设计与需要清洗的待清洗管路2一样的密封面，清洗中处于密封状态，属于原位清洗，不会破坏待清洗管路2和密封面的粗糙度
[0039]清洗装置中配备第二惰性气体输送装置7，可以检测薄膜残留的成本以确定是否清洗干净。
[0040]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于原子层沉积系统管路及阀门清洗装置，包括待清洗管路，罩在待清洗管路外侧的加热箱，其特征在于：所述待清洗管路的一端贯通连接有并联设置的第一惰性气体输送装置、第一清洗池、第二清洗池和第三清洗池，且第一清洗池、第二清洗池和第三清洗池并联连接有同一个第二惰性气体输送装置；待清洗管路的另一端并联连接有真空泵和废液池；第一惰性气体输送装置、第一清洗池、第二清洗池、第三清洗池、真空泵和废液池上均设置有相对应的控制阀。2.如权利要求1所述的一种用于原子层沉积系统管路及阀门清洗装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：江苏迈纳德微纳技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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