本实用新型专利技术公开了氮气稀释实验装置，属于气体稀释技术领域。它包括一底板以及管道网，所述管道网固定在底板顶端面上，所述管道网包括第一进气管道、第二进气管道、第一稀释管道、第二稀释管道以及混合管道。本实用新型专利技术所提及的一种氮气稀释实验装置通过设置多级减压调节，将待稀释气体沿管道网逐步减压稀释，从而使其浓度下降到当前条件下的安全范围，确保待稀释气体不会对当前的生产环境或者设备产生破坏或者不良影响。破坏或者不良影响。破坏或者不良影响。
【技术实现步骤摘要】
氮气稀释实验装置
[0001]本技术涉及氮气稀释实验装置，属于气体稀释
技术介绍
[0002]半导体生产过程中易产生易燃易爆、有毒的有害气体，在半导体真空泵应用中在抽取这些气体时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应，这些气体如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质，在与空气或氧接触的时候，会引起燃烧甚至爆炸；氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些气体时，需要用氮气之类的惰性气体与上述有毒气体进行混合稀释，真空泵内会对吸入自身内部的气体进行压缩，则在进行压缩前，需要确保氮气等惰性气体已经将这些易燃易爆、有毒的气体稀释到当时条件下的安全范围，且常规的气体稀释装置稀释的浓度有限，不利于生产的有序进行。
技术实现思路
[0003]本技术所要解决的技术问题在于：提供氮气稀释实验装置，它解决了半导体生产过程中产生的易燃易爆、有毒气体的稀释问题。
[0004]本技术所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现：
[0005]氮气稀释实验装置，包括一底板以及管道网，所述管道网固定在底板顶端面上，所述管道网包括第一进气管道、第二进气管道、第一稀释管道、第二稀释管道以及混合管道；
[0006]所述第一进气管道的一端为氮气进气口，所述第一进气管道的另一端为第一排气口，所述第一进气管道的管体上沿氮气进气口向第一排气口的输送方向依次设置有第一气体过滤器、第一调压阀、第一分支管道以及第一手动隔膜阀；
[0007]所述第一稀释管道上的进口端以及所述第二稀释管道上的进口端均与所述第一分支管道的内腔相连通；
[0008]所述第二进气管道的一端设置有待稀释气体进气口，所述第二进气管道的另一端设置有第二排气口，所述第二进气管道的管体上沿待稀释气体进气口向第二排气口的输送方向依次设置有第二调压阀、第二分支管道以及第二手动隔膜阀；
[0009]所述第一稀释管道上的出口端以及所述第二稀释管道上的出口端于混合管道的进口端处相交汇，所述混合管道的管体上沿混合管道的进口端向混合管道的出口端输送方向依次设置第三手动隔膜阀、第三分支管道以及第三调压阀；
[0010]所述第一稀释管道的管体上沿第一稀释管道的进口端向第一稀释管道的出口端输送方向依次设置有第一质量流量控制器以及第四手动隔膜阀；
[0011]所述第二稀释管道的管体上沿第二稀释管道的进口端向第二稀释管道的出口端输送方向依次设置有第二质量流量控制器、第五手动隔膜阀、第四分支管道、第三质量流量控制器、第六手动隔膜阀，所述第二分支管道的进口端与所述第二进气管道的内腔相连通，所述第二分支管道的出口端与第二稀释管道的内腔相连通，所述第二分支管道的出口端在
第二稀释管道的管体上的位置位于第五手动隔膜阀和第四分支管道之间；
[0012]所述第二分支管道的管体上沿第二分支管道的进口端向第二分支管道的出口端的输送方向依次设置有第四质量流量控制器以及第七手动隔膜阀。
[0013]作为优选实例，所述第一进气管道的外侧壁上于接近所述氮气进气口处套设有一垫圈。
[0014]作为优选实例，所述第四分支管道的进口端与所述第二稀释管道的内腔相连通，所述第四分支管道的进口端和出口端之间设置有第四调压阀。
[0015]作为优选实例，所述第二进气管道上的于所述第二调压阀处还固定连接有直立式压力表。
[0016]本技术的有益效果是：本技术通过设置多级减压调节，将待稀释气体沿管道网逐步减压稀释，从而使其浓度下降到当前条件下的安全范围，确保待稀释气体不会对当前的生产环境或者设备产生破坏或者不良影响。
附图说明
[0017]图1为本技术的结构示意图。
[0018]图中：底板1、第一进气管道2、第二进气管道3、第一稀释管道4、第二稀释管道5、混合管道6、氮气进气口7、第一排气口8、第一气体过滤器9、第一调压阀10、第一分支管道11、第一手动隔膜阀12、待稀释气体进气口13、第二排气口14、第二调压阀15、第二分支管道16、第二手动隔膜阀17、第三手动隔膜阀18、第三分支管道19、第三调压阀20、直立式压力表21。
具体实施方式
[0019]为了对本技术的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。
[0020]如图1所示，氮气稀释实验装置，包括一底板1以及管道网，管道网固定在底板1顶端面上，管道网包括第一进气管道2、第二进气管道3、第一稀释管道4、第二稀释管道5以及混合管道6；
[0021]第一进气管道2的一端为氮气进气口7，第一进气管道2的另一端为第一排气口8，第一进气管道2的管体上沿氮气进气口7向第一排气口8的输送方向依次设置有第一气体过滤器9、第一调压阀10、第一分支管道11以及第一手动隔膜阀12；
[0022]第一稀释管道4上的进口端以及第二稀释管道5上的进口端均与第一分支管道11的内腔相连通；
[0023]第二进气管道3的一端设置有待稀释气体进气口13，第二进气管道3的另一端设置有第二排气口14，第二进气管道3的管体上沿待稀释气体进气口13向第二排气口14的输送方向依次设置有第二调压阀15、第二分支管道16以及第二手动隔膜阀17；
[0024]第一稀释管道4上的出口端以及第二稀释管道5上的出口端于混合管道6的进口端处相交汇，混合管道6的管体上沿混合管道6的进口端向混合管道6的出口端输送方向依次设置第三手动隔膜阀18、第三分支管道19以及第三调压阀20；
[0025]第一稀释管道4的管体上沿第一稀释管道4的进口端向第一稀释管道4的出口端输送方向依次设置有第一质量流量控制器以及第四手动隔膜阀；
[0026]第二稀释管道5的管体上沿第二稀释管道5的进口端向第二稀释管道5的出口端输送方向依次设置有第二质量流量控制器、第五手动隔膜阀、第四分支管道、第三质量流量控制器、第六手动隔膜阀，第二分支管道16的进口端与第二进气管道3的内腔相连通，第二分支管道16的出口端与第二稀释管道5的内腔相连通，第二分支管道16的出口端在第二稀释管道5的管体上的位置位于第五手动隔膜阀和第四分支管道之间；
[0027]第二分支管道16的管体上沿第二分支管道16的进口端向第二分支管道16的出口端的输送方向依次设置有第四质量流量控制器以及第七手动隔膜阀。
[0028]第一进气管道2的外侧壁上于接近氮气进气口7处套设有一垫圈，用于提高此处连接氮气源时确保密封程度高、氮气泄露少。
[0029]第四分支管道的进口端与第二稀释管道5的内腔相连通，第四分支管道的进口端和出口端之间设置有第四调压阀。
[0030]第二进气管道3上的于第二调压阀15处还固定连接有直立式压力表21。
[0031]各手动隔膜阀即开关，用于开启或者关闭当前的管道网通道，还可用于释放当前管道网通道中的多余本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.氮气稀释实验装置，包括一底板（1）以及管道网，所述管道网固定在底板（1）顶端面上，其特征在于：所述管道网包括第一进气管道（2）、第二进气管道（3）、第一稀释管道（4）、第二稀释管道（5）以及混合管道（6）；所述第一进气管道（2）的一端为氮气进气口（7），所述第一进气管道（2）的另一端为第一排气口（8），所述第一进气管道（2）的管体上沿氮气进气口（7）向第一排气口（8）的输送方向依次设置有第一气体过滤器（9）、第一调压阀（10）、第一分支管道（11）以及第一手动隔膜阀（12）；所述第一稀释管道（4）上的进口端以及所述第二稀释管道（5）上的进口端均与所述第一分支管道（11）的内腔相连通；所述第二进气管道（3）的一端设置有待稀释气体进气口（13），所述第二进气管道（3）的另一端设置有第二排气口（14），所述第二进气管道（3）的管体上沿待稀释气体进气口（13）向第二排气口（14）的输送方向依次设置有第二调压阀（15）、第二分支管道（16）以及第二手动隔膜阀（17）；所述第一稀释管道（4）上的出口端以及所述第二稀释管道（5）上的出口端于混合管道（6）的进口端处相交汇，所述混合管道（6）的管体上沿混合管道（6）的进口端向混合管道（6）的出口端输送方向依次设置第三手动隔膜阀（18）、第三分支管道（19）以及第三调压阀（20）；所述第一稀释管道（4...
【专利技术属性】
技术研发人员：江晓松，
申请(专利权)人：上海先普气体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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