一种新型立式真空镀膜机制造技术

技术编号:32405080 阅读:22 留言:0更新日期:2022-02-24 13:04
本实用新型专利技术公开一种新型立式真空镀膜机,包括外壳和底座,所述外壳的下端设置有底座,所述底座的右端设置有底杆,所述底杆的右端设置有控制箱,所述外壳的前端上下两侧均设置有定位块,所述外壳的左侧设置有端门A,所述端门A的右端和外壳的左端均设置有连接块,通过在端门的外侧设置了固定块,使一侧端门在关闭后,端门上的固定块可以顶住另一侧打开的端门上,使另一侧打开的端门不会在向内侧旋转,这样在对端门外侧上的操作按钮进行操作的时候,就不会被另一侧端门进行影响,又在装置的内置架上设置了辅助条,辅助条为U形焊接在内置架上,内置架上的固定孔位于辅助条的内侧,使工件固定架的上端可以通过U形的辅助条更方便的插入固定孔内,这样在安装工件固定架的时候就更加的方便。更加的方便。更加的方便。

【技术实现步骤摘要】
一种新型立式真空镀膜机


[0001]本技术属于真空镀膜机相关
,具体涉及一种新型立式真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种,需要镀膜的被成为基片,镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构

迷走结构

层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。
[0003]现有的立式真空镀膜机技术存在以下问题:现有的立式真空镀膜机在使用的时候,要将需要镀膜的工件架设在装置的端门上,然后将端门关闭,对工件进行真空镀膜,而在架设工件的时候,需要将工件固定架的上端插入内置架上的固定孔内,由于装置较高,在架设工件固定架的时候,工人将工件固定架插入固定孔内就比较的麻烦,两端的端门可以使装置更加的高效,而端门旋转较长时间后,端门在没有力作用下就会向前侧旋转,在对关闭的端门进行操作的时候,就会侧打开的端门挡住。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种新型立式真空镀膜机,以解决上述
技术介绍
中提出的由于装置较高,在架设工件固定架的时候,工人将工件固定架插入固定孔内就比较的麻烦,而端门旋转较长时间后,端门在没有力作用下就会向前侧旋转,在对关闭的端门进行操作的时候,就会侧打开的端门挡住的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种新型立式真空镀膜机,包括外壳和底座,所述外壳的下端设置有底座,所述底座的右端设置有底杆,所述底杆的右端设置有控制箱,所述外壳的前端上下两侧均设置有定位块,所述外壳的左侧设置有端门A,所述端门A的右端和外壳的左端均设置有连接块,两个所述连接块内竖向贯穿有固定杆,所述端门A的左端设置有操作按钮和固定块,所述操作按钮位于固定块的下侧,所述端门A的后端设置有观察窗,所述端门A的前端内侧设置有内置架,所述内置架的上下两端均竖向贯穿有固定孔,所述内置架的上端设置有辅助条,所述固定孔位于辅助条的内侧,所述外壳的右侧侧设置有端门B,所述端门A和端门B相对于外壳左右对称设置,所述端门A和端门B均与外壳通过接线连接。
[0006]优选的,所述端门A、外壳和端门B均为金属材质构成的结构,所述端门A、外壳和端门B的外表均涂刷有油漆。
[0007]优选的,所述端门A和端门B分别可在外壳的左右两侧进行旋转,所述内置架可在端门A的内侧进行旋转。
[0008]优选的,所述底杆的内部为电线,所述电线的左右两端分别与外壳和控制箱的内部连接。
[0009]优选的,所述固定块和辅助条均为金属材质构成的结构,所述固定块与端门A采用焊接的方式进行固定。
[0010]优选的,所述辅助条的形状为U形,所述内置架的内部共设置有四个辅助条。
[0011]与现有技术相比,本技术提供了一种新型立式真空镀膜机,具备以下有益效果:
[0012]1、该立式真空镀膜机,通过端门和固定块的配合,使打开的端门可以被关闭端门上的固定块顶住,这样打开的端门就不会影响对关闭端门的操作。
[0013]2、该立式真空镀膜机,通过内置架和辅助条的配合,使工件固定架的上端可以通过U形的辅助条更方便的插入固定孔内,这样在安装工件固定架的时候就更加的方便。
[0014]本技术通过在端门的外侧设置了固定块,使一侧端门在关闭后,端门上的固定块可以顶住另一侧打开的端门上,使另一侧打开的端门不会在向内侧旋转,这样在对端门外侧上的操作按钮进行操作的时候,就不会被另一侧端门进行影响,又在装置的内置架上设置了辅助条,辅助条为U形焊接在内置架上,内置架上的固定孔位于辅助条的内侧,使工件固定架的上端可以通过U形的辅助条更方便的插入固定孔内,这样在安装工件固定架的时候就更加的方便,在使用的时候,将工件固定架的上端插在辅助条的内侧,向内侧推动,使工件固定架的上端可以直接插入固定孔内,在将工件固定架的下端与内置架进行固定,然后将端门关闭,使端门外侧的固定块顶在另一侧的端门上,方便对关闭的端门进行操作。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本技术的实施例一起用于解释本技术,并不构成对本技术的限制,在附图中:
[0016]图1为本技术提出的一种新型立式真空镀膜机打开结构示意图;
[0017]图2为本技术提出的一种新型立式真空镀膜机关闭结构示意图;
[0018]图3为本技术提出的一种新型立式真空镀膜机俯视结构示意图;
[0019]图4为本技术提出的一种新型立式真空镀膜机辅助条结构示意图;
[0020]图中:1、操作按钮;2、端门A;3、内置架;4、定位块;5、外壳;6、端门B;7、固定块;8、控制箱;9、接线;10、底座;11、底杆;12、固定杆;13、观察窗;14、连接块;15、固定孔;16、辅助条。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例一
[0023]请参阅图1

4,本技术提供一种技术方案:一种新型立式真空镀膜机,包括外
壳5和底座10,外壳5的下端设置有底座10,底座10的右端设置有底杆11,底杆11的右端设置有控制箱8,外壳5的前端上下两侧均设置有定位块4,外壳5的左侧设置有端门A2,端门A2的右端和外壳5的左端均设置有连接块14,两个连接块14内竖向贯穿有固定杆12,端门A2的左端设置有操作按钮1和固定块7,操作按钮1位于固定块7的下侧,端门A2的后端设置有观察窗13,端门A2的前端内侧设置有内置架3,内置架3的上下两端均竖向贯穿有固定孔15,内置架3的上端设置有辅助条16,固定孔15位于辅助条16的内侧,外壳5的右侧侧设置有端门B6,端门A2和端门B6相对于外壳5左右对称设置,端门A2和端门B6均与外壳5通过接线9连接。
[0024]实施例二
[0025]请参阅图1、图2和图3,本技术提供一种技术方案:一种新型立式真空镀膜机,端门A2、外壳5和端门B6均为金属材质构成的结构,金属材质可以使构件更加的耐用,端门A2、外壳5和端门B6的外表均涂刷有油漆,这样设置可以有效防止装置的外表生锈,端门A2和端门B6分别可在外壳5的左右两侧进行旋转,内置架3可在端门A2的内侧本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型立式真空镀膜机,包括外壳(5)和底座(10),其特征在于:所述外壳(5)的下端设置有底座(10),所述底座(10)的右端设置有底杆(11),所述底杆(11)的右端设置有控制箱(8),所述外壳(5)的前端上下两侧均设置有定位块(4),所述外壳(5)的左侧设置有端门A(2),所述端门A(2)的右端和外壳(5)的左端均设置有连接块(14),两个所述连接块(14)内竖向贯穿有固定杆(12),所述端门A(2)的左端设置有操作按钮(1)和固定块(7),所述操作按钮(1)位于固定块(7)的下侧,所述端门A(2)的后端设置有观察窗(13),所述端门A(2)的前端内侧设置有内置架(3),所述内置架(3)的上下两端均竖向贯穿有固定孔(15),所述内置架(3)的上端设置有辅助条(16),所述固定孔(15)位于辅助条(16)的内侧,所述外壳(5)的右侧侧设置有端门B(6),所述端门A(2)和端门B(6)相对于外壳(5)左右对称设置,所述端门A(2)和端门B(6)均与外...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴强李文李谊
申请(专利权)人:南京亿浦先进材料研究院有限公司
类型:新型
国别省市:

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