一种直写电子/光电子元器件的微细笔制造技术

技术编号:3239645 阅读:144 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种直写电子/光电子元器件的微细笔。其结构为:减压装置位于笔帽内,并与位于笔帽顶部的施压气管相连,笔帽的下端与笔筒的上端活动、密封连接构成储料腔,储料腔用于储存需要沉积的物料,笔筒的下端为笔尖。该微细笔通过二个并联的压力控制装置与气源连接,并采用控制器控制两条气路的通断和微细笔相对基板的运动,构成直写装置。微细笔可用于制作电子元器件,还可用于制作光电子元器件,如聚合物光波导。结合该微细笔的结构特点和聚合物材料的特性,可将聚合物材料置于微细笔内,在基板上直写出光波导。本实用新型专利技术装置布线速度快,线宽范围大,制造和运行成本低,布线速度范围为2mm/s~15mm/s,线宽范围为0.06mm~2mm。(*该技术在2016年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种直写电子/光电子元器件的微细笔,其特征在于:减压装置(2)位于笔帽(3)内,并与位于笔帽(3)顶部的施压气管(1)相连,笔帽(3)的下端与笔筒(6)的上端活动、密封连接构成储料腔(4),储料腔(4)用于储存需要沉积的物料,笔筒(6)的下端为笔尖(7)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:曾晓雁李祥友王泽敏李金洪王小宝曹宇
申请(专利权)人:华中科技大学
类型:实用新型
国别省市:83[中国|武汉]

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