一种可以节约时间的匀胶显影设备改进结构制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体晶片加工技术，具体地说是一种可以节约时间的匀胶显影设备改进结构。匀胶显影设备包括匀胶单元、显影单元、热盘单元、冷盘单元、预处理增粘单元、盒站、盒站机器人、工艺机器人、对中单元、晶片盒，在热盘单元和冷盘单元之间加设传送机构和夹持机构，负责将送到热盘加热后的晶片送到冷盘冷却，而不用工艺机器人进行传送，从而可以减少工艺机器人的使用次数，减少整体的工艺传送时间，提高了匀胶显影设备的工作效率。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种可以节约时间的匀胶显影设备改进结构，包括匀胶单元（１）、显影单元（２）、热盘单元（３）、冷盘单元（４）、预处理增粘单元（５）、盒站（６）、盒站机器人（７）、工艺机器人（８）、对中单元（９）、晶片盒（１２）其特征在于：在热盘单元（３）和冷盘单元（４）之间加设传送机构（１０）和夹持机构（１１）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张怀东，苗涛，
申请(专利权)人：沈阳芯源先进半导体技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：89[]