【技术实现步骤摘要】
本技术涉及对基板的冷却装置，尤其是一种基板快速冷却装置。
技术介绍
在现有技术中，基板的冷却装置通过输送带输送基板在空气中降温，采用空气流通降 温，降温速度慢，若需要达到更好的冷却效果，就需要加长冷却的时间，因此在产能不变 的前提下，只有通过加长冷却装置输送带的长度来增加冷却的时间，因此冷却速度慢，且 该冷却装置占地空间大。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种冷却速度快、冷却效果好、占地空间小的 基板快速冷却装置。为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是 一种基板快速冷却装置包括 设置在机架上的前、后输送装置，在前、后输送装置之间接有升降输送装置，在升降输送 装置的下面设有水冷板，所述水冷板内部设有真空管路和水冷管路，真空管路与真空系统 管道连接，水冷管路与水冷系统管道连接，水冷板的一面设与真空管路相通的真空吸孔， 另一面设有与水冷管路相通的进水口和出水口。所述真空管路均匀分布。所述水冷管路均匀分布。本技术采用上述结构后，通过在前、后输送装置之间接的升降输送装置，同时在 升降输送装置下面设置的水冷板，升降输送装置实现将在输送过程中基板转移到升降输送 装置上，通过升降装置将基板下降到水冷板上，基板与水冷板的接触能快速导热，达到将 基板快速降温的效果，縮短了冷却时间，在产能不变的情况下，大大减短了输送带的长度， 使整体设备占地空间减小；同时水冷板通过真空系统将基板紧密吸附在水冷板上，牢牢地 吸住，水冷系统使水冷板保持低温状态，通过接触导热达到基板快速降温。以下结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细说明图l为本技术示意图2为本技术水冷板结构图3...
【技术保护点】
一种基板快速冷却装置，包括设置在机架上的前、后输送装置（１、１’），其特征在于：在前、后输送装置（１、１’）之间接有升降输送装置（２），在升降输送装置（２）的下面设有水冷板（３），所述水冷板（３）内部设有真空管路（３１）和水冷管路（３２），真空管路（３１）与真空系统（４）管道连接，水冷管路（３２）与水冷系统（５）管道连接，水冷板（３）的一面设有与真空管路（３１）相通的真空吸孔（３３），另一面设有与水冷管路（３２）相通的进水口（３４）和出水口（３５）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨海龙，
申请(专利权)人：志圣科技广州有限公司，
类型：实用新型
国别省市：81[中国|广州]
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