采用后制绒工艺的太阳能电池制造技术

技术编号:3239407 阅读:209 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及晶体硅太阳能电池技术领域,特别是一种采用后制绒工艺的太阳能电池。它包括硅片,硅片表面下通过扩散工艺形成的高掺杂区和低掺杂区,将通过扩散工艺形成的高掺杂区和低掺杂区的上层作为制绒层,在高掺杂区和低掺杂区内的制绒层制绒以形成绒层。在理想状态,高掺杂区的截面形状应该是上下宽度一致的,但是在实际生产中,高掺杂区的截面上宽下窄呈现漏斗状,为此在扩散完成后,进行制绒,在制绒过程中,会使高掺杂区一薄层被去除,相应的高掺杂区的厚度降低,高掺杂区的截面此时更接近于上下宽度一致的理性状态。最终生产出来的太阳能电池的转换效率更高。(*该技术在2018年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体硅太阳能电池
,特别是一种采用后制绒工艺的太阳能电池
技术介绍
晶体硅太阳能电池占据了光伏市场的90 %以上的份额,如何进一步提 高效率,降低成本是国内外晶体硅太阳能电池研究领域的基本目标。在硅片上实现选择性发射极结构是p-n结晶体硅太阳能电池实现高效的 方法之一。所谓选择性发射极结构有两个特征1)在电极栅线下及其附近形 成高掺杂深扩散区;2)在其他区域形成低掺杂浅扩散区。实现选择性发射极 结构的关键便是如何形成上面所说的两个区域。实现选择性发射区的方法有 很多种,最常见的有光刻、激光开槽。但这些方法对太阳能电池制造而言过 于复杂,只能应用于实验室或小规模的生产中,难于在常规电池的产业化生 产中推广。近年来,也出现了用丝网印刷磷桨实现选择性发射区的方法,但 由于丝网印刷带来的污染等问题,该方法也没有得到广泛应用。
技术实现思路
本技术的目的是要提供一种采用后制绒工艺的太阳能电池,太阳能 电池具有更为理想的选择性扩散发射极,光电转换效率高。本技术所采用的技术方案为 一种采用后制绒工艺的太阳能电池, 包括硅片,硅片表面下通过扩散工艺形成的高掺杂区和低掺杂区,将通过扩散工艺形成的高掺杂区和低掺杂区的上层作为制绒层,在高掺杂区和低掺杂 区内的制绒层制绒以形成绒层。本技术的有益效果是硅片在进行选择扩散后,形成高掺杂区和低 惨杂区,在理想状态,高掺杂区的截面形状应该是上下宽度一致的,但是在 实际生产中,高掺杂区的截面上宽下窄呈现漏斗状,为此在扩散完成后,进 行制绒,在制绒过程中,会使高掺杂区一薄层被去除,相应的高掺杂区的厚 度降低,高掺杂区的截面此时更接近于上下宽度一致的理性状态。最终生产 出来的太阳能电池的转换效率更高。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。附图说明图1是本技术的结构示意图。 图中,l.硅片,2.高掺杂区,3.低掺杂区,4.制绒层。具体实施方式如图1所示的一种采用后制绒工艺的太阳能电池,包括硅片1,硅片1表面下通过扩散工艺形成的高掺杂区2和低惨杂区3,将通过扩散工艺形成的高掺杂区2和低掺杂区3的上层作为制绒层4,在高掺杂区2和低掺杂区3内的制绒层4制绒以形成绒层。在高掺杂区2上的硅片1表面设置正面电极,在硅片1后为背面电极、铝背场。当进行两次扩散以形成选择性发射极的工艺中,在第一次扩散工艺后会在硅片1表面下形成上宽下窄的高惨杂区2,这次扩散为磷浆扩散,然后进行去磷硅玻璃的工艺,为了使高掺杂区2的截面形状是上下宽度基本一致,在这次扩散后进行制绒,使在制绒过程中,会使硅片1表面一薄层被去除成为绒层,制得的硅片1还要进扩散炉再进行一次扩散,用以在硅片l上形成低掺杂区3,然后再去磷硅玻璃。自此硅片l完成选择性扩散,完成选择性扩散后硅片1进行下面的加工,依次是刻边,镀氮化硅、减反射薄膜,印刷背面电极,印刷铝背场,印刷正面电极,烧结最终得到太阳能电池(权利要求1、一种采用后制绒工艺的太阳能电池,包括硅片(1),硅片(1)表面下通过扩散工艺形成的高掺杂区(2)和低掺杂区(3),其特征是将所述的通过扩散工艺形成的高掺杂区(2)和低掺杂区(3)的上层作为制绒层(4),在高掺杂区(2)和低掺杂区(3)内的制绒层(4)制绒以形成绒层。专利摘要本技术涉及晶体硅太阳能电池
,特别是一种采用后制绒工艺的太阳能电池。它包括硅片,硅片表面下通过扩散工艺形成的高掺杂区和低掺杂区,将通过扩散工艺形成的高掺杂区和低掺杂区的上层作为制绒层,在高掺杂区和低掺杂区内的制绒层制绒以形成绒层。在理想状态,高掺杂区的截面形状应该是上下宽度一致的,但是在实际生产中,高掺杂区的截面上宽下窄呈现漏斗状,为此在扩散完成后,进行制绒,在制绒过程中,会使高掺杂区一薄层被去除,相应的高掺杂区的厚度降低,高掺杂区的截面此时更接近于上下宽度一致的理性状态。最终生产出来的太阳能电池的转换效率更高。文档编号H01L31/042GK201233898SQ20082020782公开日2009年5月6日 申请日期2008年7月31日 优先权日2008年7月31日专利技术者夏庆峰, 汪钉崇 申请人:常州天合光能有限公司本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种采用后制绒工艺的太阳能电池,包括硅片(1),硅片(1)表面下通过扩散工艺形成的高掺杂区(2)和低掺杂区(3),其特征是:将所述的通过扩散工艺形成的高掺杂区(2)和低掺杂区(3)的上层作为制绒层(4),在高掺杂区(2)和低掺杂区(3)内的制绒层(4)制绒以形成绒层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:汪钉崇夏庆峰
申请(专利权)人:常州天合光能有限公司
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]

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