一种真空吸附治具制造技术

本实用新型专利技术属于定位治具技术领域，特别涉及一种真空吸附治具，包括治具板、间隔板、第一气管接头及第二气管接头；治具板上设置有真空腔，间隔板位于真空腔内，以将真空腔分隔为第一真空腔和第二真空腔；第一气管接头和第二气管接头安装在治具板上，第一气管接头连接第一真空腔，第二气管接头连接第二真空腔；治具板上设置有与真空腔连通的多个吸附孔。本实用新型专利技术实施例中每个真空腔均连接有气管接头，气管接头连接真空发生器，使得治具板上形成两组相互独立的真空吸道，通过第一真空腔和第二真空腔组合配合能够实现多种不同尺寸晶圆的吸附定位，不需要在生产过程中切换不同尺寸的治具板，可有效节约切换时间，提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空吸附治具


[0001]本技术属于定位治具
，特别是涉及一种真空吸附治具。

技术介绍

[0002]在晶圆的生产过程中，需要使用激光在晶圆的特定位置，打上流水编号、产品名称及批次号等相关讯息所对应的特定字符串。晶圆具有6寸、8寸和12寸等多种规格，但是现有的治具都是专用治具，一种治具对应一种规格的晶圆，治具不能兼容多种规格的晶圆生产。
[0003]这样，在生产不同尺寸的晶圆时，需要更换成对应尺寸的治具，且更换后还需将晶圆校准到特定位置，耗费时间。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是：针对现有的晶圆定位治具不能兼容多种规格的晶圆生产的问题，提供一种真空吸附治具。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供一种真空吸附治具，包括治具板、间隔板、第一气管接头及第二气管接头；所述治具板上设置有真空腔，所述间隔板位于所述真空腔内，以将所述真空腔分隔为第一真空腔和第二真空腔；所述第一气管接头和所述第二气管接头安装在所述治具板上，所述第一气管接头连接所述第一真空腔，所述第二气管接头连接所述第二真空腔；所述治具板上设置有与所述真空腔连通的多个吸附孔。
[0006]可选地，所述间隔板为环形间隔板，所述第二真空腔包围在所述第一真空腔的外围。
[0007]可选地，所述治具板上设置有通过所述第一气管接头进行吸附的第一吸附区域和通过所述第二气管接头进行吸附的第二吸附区域，所述第一吸附区域的形状与所述第一真空腔的形状相同，所述第二吸附区域的形状与所述第二真空腔的形状相同。<br/>[0008]可选地，所述真空吸附治具还包括用于对工件定位的定位装置，所述定位装置包括定位销钉和定位线，所述定位销钉设置在所述第一吸附区域和所述第二吸附区域的交界处，所述定位线设置在所述第一吸附区域的外边缘和所述第二吸附区域的外边缘。
[0009]可选地，所述真空吸附治具还包括第一封板和第二封板，所述第一封板封盖在所述第一真空腔上，所述第二封板封盖在所述真空腔上。
[0010]可选地，所述第一封板包括第一固定板和安装在所述第一固定板上的第一嵌体，所述间隔板包括间隔板本体和凸缘，所述第一嵌体嵌入所述第一真空腔中，所述第一固定板的下表面抵触所述间隔板本体的上表面，所述第一固定板的上表面与所述凸缘的上表面平齐。
[0011]可选地，所述第二封板包括第二固定板和安装在所述第二固定板上的第二嵌体，所述真空腔的内壁处设置有环状台阶，所述第二嵌体嵌入所述第二真空腔中，所述第二固定板的下表面抵触所述环状台阶的上表面，所述第二固定板的上表面与所述治具板平齐。
[0012]可选地，所述第一固定板与所述间隔板的连接处，以及所述第二固定板与所述环
状台阶的连接处填充有密封胶。
[0013]本技术实施例提供的真空吸附治具，通过间隔板将真空腔分隔为第一真空腔和第二真空腔，每个真空腔均连接有气管接头，气管接头连接真空发生器，使得所述治具板上形成两组相互独立的真空吸道，通过第一真空腔和第二真空腔组合配合能够实现多种不同尺寸晶圆的吸附定位，不需要在生产过程中切换不同尺寸的治具板，可有效节约切换时间，提高生产效率。
附图说明
[0014]图1是本技术一实施例提供的真空吸附治具的示意图；
[0015]图2是本技术一实施例提供的真空吸附治具的真空腔的示意图；
[0016]图3是本技术一实施例提供的真空吸附治具的背面的示意图；
[0017]图4是图3中A
‑
A方向的剖面示意图；
[0018]图5是本技术一实施例提供的第一封板与第二真空腔的示意图；
[0019]图6是本技术一实施例提供的第一封板的示意图；
[0020]图7是本技术一实施例提供的第二封板的示意图。
[0021]说明书中的附图标记如下：
[0022]1、治具板；11、吸附孔；12、第一吸附区域；13、第二吸附区域；2、间隔板；21、间隔板本体；22、凸缘；3、第一气管接头；4、第二气管接头；5、真空腔；51、第一真空腔；52、第二真空腔；53、环状台阶；6、定位销钉；7、定位线；8、第一封板；81、第一固定板；82、第一嵌体；9、第二封板；91、第二固定板；92、第二嵌体。
具体实施方式
[0023]为了使本技术所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0024]如图1至图7所示，本技术一实施例提供一种真空吸附治具，包括治具板1、间隔板2、第一气管接头3及第二气管接头4，所述治具板1上设置有真空腔5，所述间隔板2位于所述真空腔5内，将所述真空腔5分隔为第一真空腔51和第二真空腔52，所述第一气管接头3和所述第二气管接头4安装在所述治具板1上，所述第一气管接头3连接所述第一真空腔51，能够对所述第一真空腔51抽真空，所述第二气管接头4连接所述第二真空腔52，能够对所述第二真空腔52抽真空，所述治具板1上设置有与所述真空腔5连通的多个吸附孔11，所述吸附孔11能够连接外界与所述真空腔5，晶圆放置在所述治具板1上后，透过所述吸附孔11对晶圆施加吸力。
[0025]本技术实施例提供的真空吸附治具，通过间隔板2将真空腔5分隔为第一真空腔51和第二真空腔52，每个真空腔5均连接有气管接头，气管接头连接真空发生器，使得所述治具板1上形成两组相互独立的真空吸道，通过第一真空腔51和第二真空腔52组合配合能够实现多种不同尺寸晶圆的吸附定位，不需要在生产过程中切换不同尺寸的治具板1，可有效节约切换时间，提高生产效率。
[0026]如图2所示，在一实施例中，所述间隔板2为环形间隔板，所述环形间隔板抵靠着所
述真空腔5的内壁，从而将所述真空腔5分隔成圆形的第一真空腔51和月牙形的第二真空腔52，所述第二真空腔52包围在所述第一真空腔51的外围，结构设计紧凑，占用空间小。
[0027]晶圆具有多种不同的尺寸，在吸附定位晶圆，如吸附定位8寸晶圆时，只需要使与所述第一气管接头3连接的真空发生器工作，8寸晶圆即实现吸附固定，如吸附12寸晶圆时，尺寸变大，需要同时让与所述第一气管接头3连接的真空发生器和与所述第二气管接头4连接的真空发生器同时工作，实现12寸晶圆的牢固吸附。
[0028]如图1所示，在一实施例中，所述治具板1上设置有通过所述第一气管接头3进行吸附的第一吸附区域12和通过所述第二气管接头4进行吸附的第二吸附区域13，所述第一吸附区域12的形状与所述第一真空腔51的形状相同，所述第一吸附区域12为圆形，所述第二吸附区域13的形状与所述第二真空腔52的形状相同，所述第二吸附区域13为月牙形。吸附8寸晶圆时，将晶圆放置在所述第一吸附区域12处，吸附12寸晶圆时，将晶圆放置在所述第一吸附区域12和所述第二吸附区域13上，能够兼容本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空吸附治具，其特征在于，包括治具板、间隔板、第一气管接头及第二气管接头；所述治具板上设置有真空腔，所述间隔板设置在所述真空腔内，以将所述真空腔分隔为第一真空腔和第二真空腔；所述第一气管接头和所述第二气管接头安装在所述治具板上，所述第一气管接头连通所述第一真空腔，所述第二气管接头连通所述第二真空腔；所述治具板上设置有与所述真空腔连通的多个吸附孔。2.如权利要求1所述的真空吸附治具，其特征在于，所述间隔板为环形间隔板，所述第二真空腔环绕所述第一真空腔设置。3.如权利要求1所述的真空吸附治具，其特征在于，所述治具板上设置有通过所述第一气管接头进行吸附的第一吸附区域和通过所述第二气管接头进行吸附的第二吸附区域，所述第一吸附区域的形状与所述第一真空腔的形状相同，所述第二吸附区域的形状与所述第二真空腔的形状相同。4.如权利要求3所述的真空吸附治具，其特征在于，所述真空吸附治具还包括用于对工件定位的定位装置，所述定位装置包括定位销钉和定位线，所述定位销钉设置在所述第一吸附区域和所述第二吸附区域的交界处，所述定位线设置在所述第一吸附区...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵鹏升，侯伟，史磊，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：