本实用新型专利技术提供一种光刻机间隙曝光控制装置，涉及微电子专用设备技术领域，包括工作台，所述工作台上固定连接有固定架，所述固定架顶部固定连接有电动机，所述电动机输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆下端转动插接在工作台上，所述螺纹杆上螺纹设置有升降板，所述承载板固定安装在升降板上，所述升降板底部固定安装有物镜，所述升降板上固定安装有润滑瓶。本实用新型专利技术中，采用润滑瓶、通孔、海绵，在润滑瓶内部的润滑油对海绵进行润湿，然后润滑油通过通孔，滴落在螺纹杆上，从而能够对该螺纹杆进行润滑，使得升降板在升降的过程中更加的顺畅，降低机械设备的磨损，避免造成卡死等现象，从而能够保证升降时的精度。从而能够保证升降时的精度。从而能够保证升降时的精度。
【技术实现步骤摘要】
一种光刻机间隙曝光控制装置
[0001]本技术涉及微电子专用设备
，尤其涉及一种光刻机间隙曝光控制装置。
技术介绍
[0002]光刻是集成电路最重要的加工工艺，他的作用，如同金工车间中车床的作用。光刻是制造芯片的最关键技术，在整个芯片制造工艺中，几乎每个工艺的实施，都离不开光刻的技术，利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光，光刻胶见光后会发生性质变化，从而使光罩上得图形复印到薄片上，从而使薄片具有电子线路图的作用。这就是光刻的作用，类似照相机照相。照相机拍摄的照片是印在底片上，而光刻刻的不是照片，而是电路图和其他电子元件。
[0003]现有的光刻机间隙曝光控制装置在升降的过程中，且升降结构由于缺乏润滑油造成磨损、严重造成卡死等现象，也会对曝光位置的精度造成影响。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种光刻机间隙曝光控制装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种光刻机间隙曝光控制装置，包括工作台，所述工作台上固定连接有固定架，所述固定架顶部固定连接有电动机，所述电动机输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆下端转动插接在工作台上，所述螺纹杆上螺纹设置有升降板，所述承载板固定安装在升降板上，所述升降板底部固定安装有物镜，所述升降板上固定安装有润滑瓶，所述升降板上开设有与润滑瓶连通设置的通孔，所述通孔与螺纹杆位置对应。
[0006]优选的，所述升降板上固定安装有密封组件，所述密封组件包括固定连接在升降板上的导杆，所述导杆上滑动设置有滑条，所述滑条底部固定连接有插条，所述插条下端插接在通孔内部。
[0007]优选的，所述滑条与升降板之间固定连接有弹簧。
[0008]优选的，所述工作台上固定安装有曝光板，所述曝光板位于升降板下方。
[0009]优选的，所述工作台与固定架之间固定连接有限位杆，所述限位杆滑动贯穿升降板设置。
[0010]优选的，所述润滑瓶上插接有密封塞，所述润滑瓶内底部设置有海绵。
[0011]有益效果
[0012]1、本技术中，采用润滑瓶、通孔、海绵，在润滑瓶内部的润滑油对海绵进行润湿，然后润滑油通过通孔，滴落在螺纹杆上，从而能够对该螺纹杆进行润滑，使得升降板在升降的过程中更加的顺畅，降低机械设备的磨损，避免造成卡死等现象，从而能够保证升降时的精度。
[0013]2、本技术中，采用密封组件，向上拉动该滑条，带动插条从通孔内部移出，然后通孔没有被封闭堵塞，润滑瓶内部的润滑油通过通孔，然后流向该螺纹杆，能对螺纹杆进行润滑，保证在传动的过程中顺畅平稳，降低机械的磨损，提高使用的寿命。
附图说明
[0014]图1为本技术提出的一种光刻机间隙曝光控制装置的前视立体结构图；
[0015]图2为本技术提出的一种光刻机间隙曝光控制装置的剖面结构图；
[0016]图3为图1的A处放大结构图。
[0017]图例说明：
[0018]1、工作台；2、曝光板；3、承载板；4、润滑瓶；5、密封塞；6、电动机；7、固定架；8、限位杆；9、密封组件；91、滑条；92、导杆；93、弹簧；94、插条；10、升降板；11、螺纹杆；12、海绵；13、通孔；14、物镜。
具体实施方式
[0019]为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例和附图，进一步阐述本技术，但下述实施例仅仅为本技术的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本技术的保护范围。
[0020]下面结合附图描述本技术的具体实施例。
[0021]具体实施例
[0022]参照图1
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3，一种光刻机间隙曝光控制装置，包括工作台1，工作台1上固定连接有固定架7，固定架7顶部固定连接有电动机6，电动机6输出端固定连接有螺纹杆11，螺纹杆11下端转动插接在工作台1上，螺纹杆11上螺纹设置有升降板10，承载板3固定安装在升降板10上，升降板10底部固定安装有物镜14，升降板10上固定安装有润滑瓶4，升降板10上开设有与润滑瓶4连通设置的通孔13，通孔13与螺纹杆11位置对应，启动电动机6，带动螺纹杆11转动，螺纹杆11带动该升降板10升降，从而带动该承载板3和物镜14进行升降，从而调节与样品之间的距离。
[0023]升降板10上固定安装有密封组件9，密封组件9包括固定连接在升降板10上的导杆92，导杆92上滑动设置有滑条91，滑条91底部固定连接有插条94，插条94下端插接在通孔13内部，滑条91与升降板10之间固定连接有弹簧93，向上拉动该滑条91，带动插条94从通孔13内部移出，然后通孔13没有被封闭堵塞，润滑瓶4内部的润滑油通过通孔13，然后流向该螺纹杆11，能对螺纹杆11进行润滑，保证在传动的过程中顺畅平稳，降低机械的磨损，提高使用的寿命。
[0024]工作台1上固定安装有曝光板2，曝光板2位于升降板10下方，在曝光板2上放置样品。
[0025]工作台1与固定架7之间固定连接有限位杆8，限位杆8滑动贯穿升降板10设置，通过设置限位杆8能够对升降板10进行导向，从而能够保证升降板10沿着竖直方向移动。
[0026]润滑瓶4上插接有密封塞5，润滑瓶4内底部设置有海绵12，通过设置该海绵12能够对该润滑油进行吸收，保证在释放该润滑油的时候，避免润滑油流速过快，导致浪费。
[0027]以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本技术的优选例，并不用来限制本技术，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻机间隙曝光控制装置，其特征在于，包括工作台(1)，所述工作台(1)上固定连接有固定架(7)，所述固定架(7)顶部固定连接有电动机(6)，所述电动机(6)输出端固定连接有螺纹杆(11)，所述螺纹杆(11)下端转动插接在工作台(1)上，所述螺纹杆(11)上螺纹设置有升降板(10)，承载板(3)固定安装在升降板(10)上，所述升降板(10)底部固定安装有物镜(14)，所述升降板(10)上固定安装有润滑瓶(4)，所述升降板(10)上开设有与润滑瓶(4)连通设置的通孔(13)，所述通孔(13)与螺纹杆(11)位置对应。2.根据权利要求1所述的一种光刻机间隙曝光控制装置，其特征在于，所述升降板(10)上固定安装有密封组件(9)，所述密封组件(9)包括固定连接在升降板(10)上的导杆(92)，所述导杆(9...
【专利技术属性】
技术研发人员：周杰，张琪，符友银，李俊毅，
申请(专利权)人：安徽睿芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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