本申请公开了一种探针卡、检测装置及晶圆的检测装置，所述探针卡用于检测待测产品的待测部，所述探针卡包括：探针组、探针和底座，所述探针组至少设置有两组，用于同时检测至少两个所述待测部；所述探针有多个，至少两个所述探针构成一个所述探针组：所述探针安装在所述底座上；其中，每个所述探针组内的所有所述探针用于检测同一个所述待测部；不同的所述探针组之间的距离可调。本申请，通过以上方式，实现一个探针卡适用于多种不同规格的待检测产品的检测，节约了成本，提高了测试效率。提高了测试效率。提高了测试效率。
【技术实现步骤摘要】
探针卡、检测装置及晶圆的检测装置
[0001]本申请涉及测试
，尤其涉及一种探针卡、检测装置及晶圆的检测装置。
技术介绍
[0002]随着社会的进步和工业生产的不断发展，显示面板、电器元件及晶圆等产品的的集成度大大提高，以晶圆为例，晶圆上的元器件数量甚至可以达到数万个，而晶圆要出厂，需要对这些元器件进行检测以保证质量，一般的可以通过测试晶圆上的测试焊盘来达到检测的目的，测试焊盘的数量同样众多，要对所有测试焊盘进行全部检测需要耗费一定的时间，因此高效的对这些集成度高的产品进行相关的电性参数测试显得尤为重要；
[0003]以晶圆的测试为例，目前应用比较普遍的有两种方法，一种是利用探针对每一个测试焊盘进行单独测试，但是测试的效率比较低下，需要的时间比较久；另外一种比较高效的测试方法是使用探针卡，探针卡上设有多个探针组，可实现同时对多个测试焊盘的测量，测试效率显著提高，但是这种探针卡无法适用于多种不同规格的晶圆的测试。
技术实现思路
[0004]本申请的目的是提供一种探针卡、检测装置及晶圆的检测装置，在同一个探针卡上的多个探针组之间的间距可以进行调节，从而适用于多种待测部间距不同的待测产品，节约成本，提高检测效率。
[0005]本申请公开了一种探针卡，用于检测待测产品的待测部，包括：探针组、探针和底座，所述探针组至少设置有两组，用于同时检测至少两个所述待测部；所述探针有多个，至少两个所述探针构成一个所述探针组：所述探针组安装在所述底座上；其中，每个所述探针组内的所有所述探针用于检测同一个所述待测部；不同的所述探针组之间的距离可调。
[0006]可选的，所述探针组包括固定探针组和至少一个可移动探针组，所述固定探针组固定在所述底座的一端，所述可移动探针组可移动的设置在所述底座上。
[0007]可选的，所述底座上设置有至少两个插块，每个所述插块上设置有至少两个所述探针形成的所述探针组；所述底座上对应每个所述插块至少设置有两个固定通孔，所述插块可拆卸的固定到不同的所述固定通孔。
[0008]可选的，所述底座上设置有导轨，所述导轨上设置有至少两个滑块，每个所述滑块上设置有至少两个所述探针形成的所述探针组，所述滑块可滑动的设置在所述导轨上。
[0009]可选的，所述导轨包括平行设置的第一子导轨和第二子导轨，所述滑块包括第一连接部和第二连接部，所述第一连接部与所述第一导轨滑动连接，所述第二连接部与所述第二导轨滑动连接。
[0010]可选的，所述第一子导轨和所述第二子导轨为互相平行的直线型轨道；所述探针组内的所述探针均可以通过所述滑块在所述直线型轨道移动，实现不同的所述探针组之间的距离可调。
[0011]可选的，所述导轨为凸字型导轨或凹字型导轨，所述滑块的下部设置有形状与所
述导轨相配合的滑槽。
[0012]可选的，所述底座设置有印刷电路板，所述导轨设置在所述印刷电路板上，所述探针通过所述导轨与所述印刷电路板电连接，所述印刷电路板为所述探针提供测试信号。
[0013]本申请还公开了一种检测装置，包括上述的所述探针卡、驱动电机、驱动机构以及载物台，所述驱动机构设置在所述导轨上，所述驱动电机与所述驱动机构电连接，以驱动所述探针沿所述导轨移动；所述载物台用于放置所述待测产品，所述待测产品内有多个待检测的待测部；所述载物台可移动，用于所述探针卡检测不同的所述待测部。
[0014]本申请还公开了一种晶圆的检测装置，包括上述的所述检测装置，所述待测产品为晶圆，所述待测部为所述晶圆上的测试焊盘。
[0015]本申请的探针卡的底座上设置有多个探针组，从而可以实现一个探针卡同时检测多个待测部；而每个探针组由至少两个探针组成，从而一次测试，对应一个待测部至少有两个测试结果，提高测试效率和精确度，最重要的是，不同的探针组之间的间距可调，从而适用于多种待测部间距不同的待测产品，即更换待测产品时，无需更换探针卡，而只需对探针卡上探针组之间的间距进行调节，即可进行测试，节约了成本，提高了检测效率。
附图说明
[0016]所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步地理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
[0017]图1是示例性的一种探针卡的测试示意图；
[0018]图2是示例性的一种探针卡的测试示意图；
[0019]图3是本申请一实施例探针卡的示意图；
[0020]图4是本申请一实施例探针卡的示意图；
[0021]图5是本申请一实施例探针卡插块与固定通孔的示意图；
[0022]图6是本申请另一实施例探针卡的示意图；
[0023]图7是本申请实施例探针卡上一种单导轨结构的配合示意图；
[0024]图8是本申请实施例探针卡上另一种单导轨结构的配合示意图；
[0025]图9是本申请又一实施例探针卡的示意图；
[0026]图10是本申请又一实施例探针卡的示意图；
[0027]图11是本申请再一实施例探针卡的示意图；
[0028]图12是本申请一实施例检测装置的示意图；
[0029]其中，10、检测装置；100、探针卡；110、探针；120、探针组；170、底座；121、固定探针组；122、移动探针组；130、插块；131、固定通孔；132、插入端；140、导轨；141、第一子导轨；142、第二子导轨；143、滑槽；150、滑块；151、连接部；152、第一连接部；153、第二连接部；154、滑动槽；155、滑动部；160、印刷电路板；200、待测产品/晶圆；210、待测元器件；220、待测部/测试焊盘；300、驱动电机；400、驱动机构；500、载物台；600、晶圆；700、检测信号生成器；710、数据线。
具体实施方式
[0030]需要理解的是，这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节，仅仅是为了描述具体实施例，是代表性的，但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。
[0031]在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示相对重要性，或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，除非另有说明，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；“多个”的含义是两个或两个以上。术语“包括”及其任何变形，意为不排他的包含，可能存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。
[0032]另外，“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系的术语，是基于附图所示的方位或相对位置关系描述的，仅是为了便于描述本申请的简化描述，而不是指示所指的装置本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种探针卡，用于检测待测产品的待测部，其特征在于，包括：探针组，至少设置有两组，用于同时检测至少两个所述待测部；探针，所述探针有多个，至少两个所述探针构成一个所述探针组；以及底座，所述探针组安装在所述底座上；其中，每个所述探针组内的所有所述探针用于检测同一个所述待测部；不同的所述探针组之间的距离可调。2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述探针组包括固定探针组和至少一个可移动探针组，所述固定探针组固定在所述底座的一端，所述可移动探针组可移动的设置在所述底座上。3.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述底座上设置有至少两个插块，每个所述插块上设置有至少两个所述探针形成的所述探针组；所述底座上对应每个所述插块至少设置有两个固定通孔，所述插块可拆卸的固定到不同的所述固定通孔。4.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述底座上设置有导轨，所述导轨上设置有至少两个滑块，每个所述滑块上设置有至少两个所述探针形成的所述探针组，所述滑块可滑动的设置在所述导轨上。5.根据权利要求4所述的探针卡，其特征在于，所述导轨包括平行设置的第一子导轨和第二子导轨，所述滑块包括第一连接部和第二连接部，所述第一连接部与所述第一子导轨滑动连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋慧，王国峰，
申请(专利权)人：北海惠科半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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