【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板处理装置，相邻于曝光装置而配置，其特征在于，具有：处理部，其用于对基板进行处理；交接部，其用于在上述处理部和上述曝光装置之间进行基板的交接，上述交接部包括：第一以及第二搬送单元，其搬送基板；清 洗处理单元，其在通过上述曝光装置进行曝光处理前对基板进行清洗处理；干燥处理单元，其在通过上述曝光装置进行曝光处理后对基板进行干燥处理；装载部，其暂时装载基板，上述第一搬送单元在上述处理部、上述清洗处理单元以及上述装载 部之间搬送基板；上述第二搬送单元在上述装载部、上述曝光装置以及上述干燥处理单元之间搬送基板。
【技术特征摘要】
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