用于微电子基板的稳定的非水清洁组合物制造技术

技术编号:3235346 阅读:180 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
用于清洁微电子设备的非水剥离和清洁组合物,所述组合物具有至少一种有机含硫极性化合物作为剥离溶剂,至少一种无水的强氢氧化物碱源,和至少一种羟基吡啶稳定剂以抑制有害的副反应。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
用于清洁微电子设备的剥离和清洁组合物,所述组合物包含: a)至少一种有机含硫极性化合物作为剥离溶剂, b)至少一种无水的强氢氧化物碱源,和 c)至少一种羟基吡啶稳定剂。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:肖恩M凯恩
申请(专利权)人:安万托特性材料股份有限公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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