有机膜形成装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可缩短形成有机膜后的工件的冷却时间，且可维持有机膜的质量的有机膜形成装置。具体而言，实施方式所涉及的有机膜形成装置可在减压到低于大气压的气氛下对工件进行加热，所述工件具有基板、涂布在所述基板的上面上的包含有机材料和溶剂的溶液。有机膜形成装置具备：腔室，可维持所述减压到低于大气压的气氛；排气部，可对所述腔室的内部进行排气；至少1个温度控制部，具有外管和发热部，所述外管呈筒状，从所述腔室的外侧延伸到所述腔室的内侧，并以气密的方式穿通于所述腔室，所述发热部被设置在所述外管的内部空间中并沿着所述外管而延伸；及冷却部，可将流体供给到所述外管的内部空间中。给到所述外管的内部空间中。给到所述外管的内部空间中。

【技术实现步骤摘要】
有机膜形成装置


[0001]本专利技术的实施方式涉及有机膜形成装置。

技术介绍

[0002]作为设置在有机EL显示器等上的基板，可使用有机膜。这种有机膜中包括聚酰亚胺膜。例如，聚酰亚胺膜是通过将具有基板、涂布在基板的上面上的包含聚酰胺酸的溶液的工件加热到100℃～600℃左右，使聚酰胺酸酰亚胺化而形成。形成的聚酰亚胺膜从基板剥离，例如被用于有机EL显示器等。
[0003]在此，是将形成有聚酰亚胺膜等有机膜的工件从进行了加热处理的腔室的内部取出，并搬运到下一道工序等。然而，由于工件被加热到100℃～600℃左右，因此难以就这样从腔室取出或是搬运。这种情况下，如果在有机膜形成装置之外另行设置用于对工件进行冷却的冷却装置，则需要用于设置冷却装置的场所，或是会导致制造设备的成本增大。
[0004]因此，提出有一种将冷却气体供给到腔室的内部空间，来对工件进行冷却的技术(例如参照专利文献1)。然而，由于腔室的内部空间的体积较大，因此需要时间来冷却腔室的内部空间进而冷却工件。
[0005]此外，当向腔室的内部空间供给冷却气体时，则可能会导致在加热溶液时产生且附着在腔室的内壁等上的升华物发生剥离，进而附着在有机膜之上。如果升华物附着在有机膜之上，则有机膜的质量会变差。因此，希望开发一种可缩短形成有机膜后的工件的冷却时间，且可维持有机膜的质量的有机膜形成装置。
[0006]专利文献专利文献1：日本特开2019
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205991号公报

技术实现思路

[0007]本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种可缩短形成有机膜后的工件的冷却时间，且可维持有机膜的质量的有机膜形成装置。
[0008]实施方式所涉及的有机膜形成装置可在减压到低于大气压的气氛下对工件进行加热，所述工件具有基板、涂布在所述基板的上面上的包含有机材料和溶剂的溶液。有机膜形成装置具备：腔室，可维持所述减压到低于大气压的气氛；排气部，可对所述腔室的内部进行排气；至少1个温度控制部，具有外管和发热部，所述外管呈筒状，从所述腔室的外侧延伸到所述腔室的内侧，并以气密的方式穿通于所述腔室，所述发热部被设置在所述外管的内部空间中并沿着所述外管而延伸；及冷却部，可将流体供给到所述外管的内部空间中。
[0009]根据本专利技术的实施方式，可提供一种可缩短形成有机膜后的工件的冷却时间，且可维持有机膜的质量的有机膜形成装置。
附图说明
[0010]图1是用于例示本实施方式所涉及的有机膜形成装置的模式立体图。图2是用于例示温度控制部的模式剖视图。图3是用于例示温度控制部的模式立体图。图4是表示流体的流动的配管系统图。图5是用于例示工件的处理工序的曲线图。图6是用于例示其他实施方式所涉及的温度控制部的模式剖视图。图7是用于例示其他实施方式所涉及的温度控制部的模式剖视图。图8是用于例示其他实施方式所涉及的温度控制部的模式剖视图。符号说明1
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有机膜形成装置；3
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温度控制组；10
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腔室；20
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排气部；30
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处理部；30a
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处理区域；30b
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处理区域；32
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温度控制部；32a
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加热器；32a1
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发热部；32b
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外管；32d
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管；37
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支撑部；40
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冷却部；50
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控制器；60
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外部连接部；100
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工件；101
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流体；132
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温度控制部；132b
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外管；232
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温度控制部；232a
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加热器；232b
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外管；232b1
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壁；232b2
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壁；232d1～232d3
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管；332
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温度控制部；332a
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加热器；332b
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外管；332b1
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壁；332b2
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壁；332d1～332d3
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管。
具体实施方式
[0011]下面，参照附图对实施方式进行例示。另外，各附图中对相同的构成要素标注有相同的符号并适当省略了详细的说明。此外，在本实施方式中，对有机膜形成装置进行说明，所述有机膜形成装置可在减压气氛下对涂布在基板的上面上的包含有机材料的溶液进行煅烧来形成有机膜。图1是用于例示本实施方式所涉及的有机膜形成装置1的模式立体图。另外，图1中的X方向、Y方向及Z方向表示彼此正交的三个方向。本说明书中的上下方向可为Z方向。
[0012]工件100具有基板、涂布在基板的上面上的溶液。基板例如可为玻璃基板或半导体晶片等。但是，基板不局限于所例示的基板。溶液包含有机材料和溶剂。有机材料不受特别限制，只要可被溶剂溶解即可。溶液例如可为包含聚酰胺酸的胶液等。但是，溶液不局限于所例示的溶液。
[0013]有机膜形成装置1可在减压到低于大气压的气氛下对工件100进行加热。如图1所示，在有机膜形成装置1上，设置有腔室10、排气部20、处理部30、冷却部40及控制器50。腔室10呈箱状。腔室10具有可维持减压到低于大气压的气氛的气密结构。腔室10的外观形状不受特别限制。腔室10的外观形状例如可为长方体。腔室10例如由本体10a、开闭门13、盖15构成。
[0014]本体10a呈筒状。在本体10a的一方的端部上可设置法兰11，在另一方的端部上可设置法兰14。本体10a、法兰11及法兰14例如由不锈钢等金属形成。另外，将连接本体10a的两端部的外壁称为侧面10a1。
[0015]在法兰11上，可设置O型圈等密封材料12。本体10a的设置有法兰11一侧的开口可通过开闭门13而开闭。
[0016]开闭门13呈板状，例如由不锈钢等金属形成。通过利用未图示的驱动装置，将开闭门13按压在法兰11(密封材料12)上，可将本体10a的设置有法兰11一侧的开口封闭成气密。通过利用未图示的驱动装置，使开闭门13从法兰11离开，可介由腔室10的开口而搬入或搬出工件100。
[0017]可在法兰14上设置O型圈等密封材料12。本体10a的设置有法兰14一侧的开口被盖15封闭。
[0018]盖15呈板状，例如由不锈钢等金属形成。盖15设置有与后述的支座32c的孔32c2连通的孔15a(参照图2)。在盖15上，设置有与后述的温度控制部32的数量相同的支座32c。因此，设置有多个孔15a。
[0019]在使用螺钉等紧固部件将盖15安装到法兰14时，盖15被按压在法兰14(密封材料12)上。其后，由于温度控制部32与支座32c气密性连接，因此本体10a的设置有法兰14一侧的开口被气密性封闭。此外，在进行维护等时，通过将盖15卸下，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种有机膜形成装置，可在减压到低于大气压的气氛下对工件进行加热，所述工件具有基板、涂布在所述基板的上面上的包含有机材料和溶剂的溶液，其特征在于，具备：腔室，可维持所述减压到低于大气压的气氛；排气部，可对所述腔室的内部进行排气；至少1个温度控制部，具有外管和发热部，所述外管呈筒状，从所述腔室的外侧延伸到所述腔室的内侧，并以气密的方式穿通于所述腔室，所述发热部被设置在所述外管的内部空间中并沿着所述外管而延伸；及冷却部，可将流体供给到所述外管的内部空间中。2.根据权利要求1所述的有机膜形成装置，其特征在于，所述外管的一方的端部开口，所述外管的另一方的端部被封闭，所述冷却部将所述流体从所述外管的开口侧供给到所述内部空间，所述供给的流体从所述外管的开口侧排出。3.根据权利要求2所述的有机膜形成装置，其特征在于，所述温度控制部还具有设置在所述外管的开口侧的端部上的法兰，所述法兰被装拆自如地设置在所述腔室上，在将所述法兰安装到所述腔室时，所述法兰和所述腔室之间被密封成气密。4.根据权利要求3所述的有机膜形成装置，其特征在于，所述温度控制部还具有被设置在所述外管的内部空间中并沿着所述外管而延伸的第1管，所述第1管的一方的端部被设置于在厚度方向上贯通所述法兰的第1孔中，所述第1管的另一方的端部被设置在，比所述外管的一方的端部和另一方的端部之间的中心位置更靠所述外管的封闭侧。5.根据权利要求4所述的有机膜形成装置，其特征在于，所述法兰还具有在厚度方向上贯通的第2孔，在所述第1管及所述第2孔上，连接有可流通所述流体且柔性的配管。6.根据权利要求1～5的任意1项所述的有机膜形成装置，其特征在于，还具备将所述外管的内部空间分隔成...

【专利技术属性】
技术研发人员：石原淳司，矶明典，
申请(专利权)人：芝浦机械电子株式会社，
类型：发明
国别省市：