变形镜加工方法技术

本发明专利技术提供一种变形镜加工方法，本发明专利技术涉及变形镜加工领域，提供一种变形镜加工方法，包括：对主镜片进行双面抛光；将所述主镜片安装在压电陶瓷柱总成上；对所述压电陶瓷柱总成和所述主镜片进行防水密封；对所述主镜片进行精磨抛光。本发明专利技术提供的变形镜加工方法，通过将初步处理的主镜片先粘接在压电陶瓷柱总成上，然后对压电陶瓷柱总成和主镜片进行密封之后，再对主镜片进行精磨抛光处理，避免了装配过程造成的主镜片面形问题，与现有技术相比取消变形镜组装好后反复拆装主镜片返修加工的步骤，提高了变形镜的加工精度和加工效率。提高了变形镜的加工精度和加工效率。提高了变形镜的加工精度和加工效率。

【技术实现步骤摘要】
变形镜加工方法


[0001]本专利技术涉及变形镜加工
，尤其涉及一种变形镜加工方法。

技术介绍

[0002]变形镜又称波前校正器，是自适应光学系统的关键元件，主要运用于各种自适应光学系统之中，它通过改变光波波前传输的光程或改变传输媒介的折射率来改变入射光波波前的相位结构，从而达到对光波波面相位进行校正的目的。它对波前像差的拟合能力决定了自适应光学系统的校正性能。
[0003]变形镜的研究和发展关系到整个自适应光学系统的校正能力和校正精度。变形镜由很多单元组合而成，每个单元都有自己独立的控制器，在外加电压控制下，可以改造波前的面形。变形镜技术对高阶波相差进行控制。该技术的基本原理是在光路中增加变形镜，通过控制变形镜的形变来改变光程，实现高阶波像差的补偿。按面形可大致分为连续表面形和分立表面形两种类型。
[0004]对于连续表面形变形镜的结构分为三个主要部分：基底、驱动器、主镜面。基底由刚度较高的材料构成，主要作用是支撑整个变形镜的结构并且在工作过程中作为固定基板。单个驱动器可以由压电材料或电致伸缩材料叠片组成，很多个这样的驱动器按一定的空间分布固定在基底上并在其顶端连接主镜面。
[0005]现有的变形镜的加工方法是现将各个元器件分别加工后进行组装粘合，但是在组装粘合过程中，由于组装粘合误差导致组装后的主镜片面形出现变化，从而影响主镜面的性能，从而降低变形镜加工精度和加工效率。

技术实现思路

[0006]本专利技术提供一种变形镜加工方法，用以解决现有技术中加工和再组装的形式对主镜片造成变形等影响，从而降低变形镜加工精度和加工效率的缺陷，实现将变形镜与压电陶瓷柱总成安装之后，进行防水处理，然后在对主镜片进行精磨和抛光处理，提高变形镜加工精度和加工效率。
[0007]本专利技术提供一种变形镜加工方法，包括：
[0008]对主镜片进行双面抛光；
[0009]将所述主镜片安装在压电陶瓷柱总成上；
[0010]对所述压电陶瓷柱总成和所述主镜片进行防水密封；
[0011]对所述主镜片进行精磨抛光。
[0012]根据本专利技术提供的变形镜加工方法，所述对所述压电陶瓷柱总成和所述主镜片进行防水密封的步骤，包括：
[0013]将所述压电陶瓷柱总成和所述主镜片置于加工工装内；
[0014]对所述主镜片周围与所述加工工装间隙处进行防水密封。
[0015]根据本专利技术提供的变形镜加工方法，所述主镜片周围与所述加工工装间隙处进行
防水密封的步骤，包括：
[0016]在所述主镜片与所述加工工装的间隙处涂抹润滑剂；
[0017]对所述主镜片与所述加工工装的间隙处涂防水胶；
[0018]对所述主镜片与所述加工工装组成的第一整体封装表面进行封蜡处理。
[0019]根据本专利技术提供的变形镜加工方法，在所述将所述主镜片安装在压电陶瓷柱总成上的步骤之前，还包括：
[0020]在压电陶瓷柱的一端安装连接片形成压电陶瓷柱总成；
[0021]对所述连接片进行精磨抛光；
[0022]其中，所述连接片上用于安装所述主镜片。
[0023]根据本专利技术提供的变形镜加工方法，在所述在压电陶瓷柱的一端安装连接片形成压电陶瓷柱总成的步骤之后，在所述对所述连接片进行精磨抛光之前，还包括：
[0024]将所述连接片和所述压电陶瓷柱置于加工工装内；
[0025]将所述连接片与所述加工工装间隙处进行密封；
[0026]其中，使所述连接片的部分高出所述加工工装。
[0027]根据本专利技术提供的变形镜加工方法，所述将所述连接片与所述加工工装间隙处进行密封的步骤，包括：
[0028]在所述连接片与所述加工工装的间隙处涂抹润滑剂；
[0029]对所述连接片与所述加工工装的间隙处涂防水胶；
[0030]对所述连接片与所述加工工装组成的第二整体封装表面进行封蜡处理。
[0031]根据本专利技术提供的变形镜加工方法，在所述对所述连接片进行精磨抛光之后，还包括：
[0032]清洗所述连接片与所述加工工装之间的密封。
[0033]根据本专利技术提供的变形镜加工方法，在所述压电陶瓷柱的一端安装连接片形成压电陶瓷柱总成之前，还包括：将压电陶瓷柱安装在基底上。
[0034]根据本专利技术提供的变形镜加工方法，在所述将所述连接片与所述加工工装间隙处进行密封之前，包括：对加工工装进行抽真空。
[0035]根据本专利技术提供的变形镜加工方法，所述清洗所述连接片与所述加工工装之间的密封的步骤，包括：
[0036]在保利克溶液中浸泡封蜡处，去除蜡；
[0037]用酒精丙酮溶液擦拭去除防水胶。
[0038]本专利技术提供的变形镜加工方法，通过将初步处理的主镜片先粘接在压电陶瓷柱总成上，然后对压电陶瓷柱总成和主镜片进行密封之后，再对主镜片进行精磨抛光处理，避免了装配过程造成的主镜片面形问题，与现有技术相比取消变形镜组装好后反复拆装主镜片返修加工的步骤，提高了变形镜的加工精度和加工效率。
附图说明
[0039]为了更清楚地说明本专利技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些
附图获得其他的附图。
[0040]图1是本专利技术提供的变形镜加工方法的流程示意图之一；
[0041]图2是本专利技术提供的变形镜加工方法的流程示意图之二；
[0042]图3是本专利技术提供的变形镜加工方法的流程示意图之三；
[0043]图4是本专利技术提供的变形镜加工方法的流程示意图之四；
[0044]图5是本专利技术提供的变形镜加工方法的流程示意图之五；
[0045]图6是本专利技术提供的变形镜加工方法的流程示意图之六；
[0046]图7是专利技术提供的加工工装对连接片进行密封的状态图；
[0047]图8是专利技术提供的加工工装的第一盖板结构示意图；
[0048]图9是专利技术提供的加工工装对主镜片进行密封的状态图；
[0049]图10是专利技术提供的加工工装的第二盖板结构示意图；
[0050]图11是采用本专利技术提供的变形镜加工方法抛光后连接片的面形图像；
[0051]图12是采用本专利技术提供的变形镜加工方法抛光后主镜片的面形图像。
[0052]附图标记：
[0053]100：箱体；101：第一盖板；102：孔；
[0054]103：第二盖板；104：凸台；105：容纳区；
[0055]200：基底；201：压电陶瓷柱；202：连接片；
[0056]203：主镜片。
具体实施方式
[0057]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术中的附图，对本专利技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种变形镜加工方法，其特征在于，包括：对主镜片进行双面抛光；将所述主镜片安装在压电陶瓷柱总成上；对所述压电陶瓷柱总成和所述主镜片进行防水密封；对所述主镜片进行精磨抛光。2.根据权利要求1所述的变形镜加工方法，其特征在于，所述对所述压电陶瓷柱总成和所述主镜片进行防水密封的步骤，包括：将所述压电陶瓷柱总成和所述主镜片置于加工工装内；对所述主镜片周围与所述加工工装间隙处进行防水密封。3.根据权利要求2所述的变形镜加工方法，其特征在于，所述主镜片周围与所述加工工装间隙处进行防水密封的步骤，包括：在所述主镜片与所述加工工装的间隙处涂抹润滑剂；对所述主镜片与所述加工工装的间隙处涂防水胶；对所述主镜片与所述加工工装组成的第一整体封装表面进行封蜡处理。4.根据权利要求1至3中任一项所述的变形镜加工方法，其特征在于，在所述将所述主镜片安装在压电陶瓷柱总成上的步骤之前，还包括：在压电陶瓷柱的一端安装连接片形成压电陶瓷柱总成；对所述连接片进行精磨抛光；其中，所述连接片上用于安装所述主镜片。5.根据权利要求4所述的变形镜加工方法，其特征在于，在所述在压电陶瓷柱的一端安装连接片形成压电陶瓷柱总成的步骤之后，在所述对所述连接片进行...

【专利技术属性】
技术研发人员：武锐，宋彩虹，
申请(专利权)人：北京创思工贸有限公司，
类型：发明
国别省市：