长效稳定型钎焊加热盘及其成型工艺制造技术

本发明专利技术涉及一种长效稳定型钎焊加热盘及其成型工艺，其中，成型工艺包括：制备第一加工原料和第二加工原料；裁取相应尺寸的第一加工原料通过机加工方式成型导热盘体；将加热丝预埋固定在导热盘体内；将预埋好加热丝的导热盘体置于铸造模具内，将第二加工原料加热成金属液体并浇筑在铸造模具中以在容置槽内成型散热盘体，得到第一中间加工体；对第一中间加工体进行锻压加工后，再进行打磨和抛光处理，得到第二中间加工体；在所述第二中间加工体的表面喷涂成型氟化物保护层后，以最终得到加热盘成品。采用机加工与铸造相结合，同时进行锻压加工，极大地提高了导热盘体和散热盘体的密实度，进一步强化了加热盘的结构强度，延长了加热盘的使用寿命。热盘的使用寿命。热盘的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
长效稳定型钎焊加热盘及其成型工艺


[0001]本专利技术涉及钎焊加热盘
，特别涉及一种长效稳定型钎焊加热盘及其成型工艺。

技术介绍

[0002]集成电路制造中需要利用去气(Degas)设备和退火(Anneal)设备对硅片进行加热处理，主要作用是将硅片置于真空、高温环境(250
‑
450℃)中一段时间，去除水汽、有机物等吸附在硅片表面的物质以及降低缺陷和掺杂再分布等。加热盘是去气设备和退火设备中去气腔室和退火腔室的核心加热部件，加热盘通常包括盘体和设置在盘体内的加热丝，由于加热盘在需要反复进行加热和冷却，长期使用后加热盘易出现过加热损伤，减少使用寿命。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种长效稳定型钎焊加热盘及其成型工艺，具有提高加热盘结构强度、延长使用寿命的优点。
[0004]为达到上述目的，本专利技术的技术方案如下：
[0005]一种长效稳定型钎焊加热盘，包括：导热盘体、设置在所述导热盘体下方的散热盘体、以及呈盘状设置在所述导热盘体和所述散热盘体之间的加热丝，所述导热盘体的下表面设有与所述散热盘体相适配的容置槽，所述散热盘体中部设有供所述散热盘体穿过的过线孔，所述散热盘体的底部位于所述过线孔处设有连接套筒；
[0006]其中，所述导热盘体按质量百分比计包括如下组分：0.06％
‑
0.12％的C、0.08％
‑
0.15％的Si、2％
‑
3.8％的Mo、0.08％
‑
1.8％的Mn、18％
‑
22％的Cr、0.38％
‑
1％的N、0.01％
‑
0.03％的P、0.01％
‑
0.04％的S、0.02％
‑
0.04％的B，余量为Fe；
[0007]所述散热盘体按质量百分比计包括如下组分：0.03％
‑
0.06％的Ti、0.55％
‑
0.9％的Si、0.01％
‑
0.05％的Mn、0.08％
‑
0.18％的Zn、0.05％
‑
0.12％的Mg、0.24％
‑
0.58％的Cu、0.3％
‑
0.6％的Fe，余量为Al。
[0008]作为本专利技术的一种优选方案，所述导热盘体和所述散热盘体的表面还设有氟化物保护层。
[0009]作为本专利技术的一种优选方案，所述氟化物保护层包括聚四氟乙烯、氟化乙烯丙烯、全氟烷氧基中的一种或多种。
[0010]作为本专利技术的一种优选方案，所述容置槽内设有与所述加热丝相适配的第一安装槽，所述散热盘体的上表面设有与所述第一安装槽相对应的第二安装槽。
[0011]作为本专利技术的一种优选方案，所述导热盘体按质量百分比计包括如下组分：0.08％的C、0.13％的Si、3.2％的Mo、1.5％的Mn、20的Cr、0.55的N、0.015％的P、0.032％的S、0.025％的B，余量为Fe；
[0012]所述散热盘体按质量百分比计包括如下组分：0.045％的Ti、0.8％的Si、0.036％的Mn、0.15％的Zn、0.09％的Mg、0.46％的Cu、0.42％的Fe，余量为Al。
[0013]为解决上述技术问题，本专利技术还提供一种成型上述的加热盘的工艺，包括：
[0014]制备用于成型导热盘体的第一加工原料和用于成型散热盘体的第二加工原料，其中，所述第一加工原料按质量百分比计包括如下组分：0.08％的C、0.13％的Si、3.2％的Mo、1.5％的Mn、20的Cr、0.55的N、0.015％的P、0.032％的S、0.025％的B，余量为Fe；所述第二加工原料按质量百分比计包括如下组分：0.045％的Ti、0.8％的Si、0.036％的Mn、0.15％的Zn、0.09％的Mg、0.46％的Cu、0.42％的Fe，余量为Al；
[0015]裁取相应尺寸的第一加工原料通过机加工方式成型导热盘体；
[0016]将加热丝预埋固定在导热盘体内；
[0017]将预埋好加热丝的导热盘体置于铸造模具内，将第二加工原料加热成金属液体并浇筑在铸造模具中以在所述容置槽内成型散热盘体，得到第一中间加工体；
[0018]对所述第一中间加工体进行锻压加工后，再进行打磨和抛光处理，得到第二中间加工体；
[0019]在所述第二中间加工体的表面喷涂成型氟化物保护层后，将连接套筒装配在过线孔处并使加热丝穿入所述连接套筒，以最终得到加热盘成品。
[0020]作为本专利技术的一种优选方案，所述通过机加工方式成型导热盘体具体包括：
[0021]利用车床或者数控机床对所述第一加工原料进行切削和铣削加工后得到具有容置槽的导热盘体胚料；
[0022]在容置槽内按照加热丝的布置形式铣削加工出第一安装槽。
[0023]作为本专利技术的一种优选方案，将加热丝预埋固定在导热盘体内时，在第一安装槽内进行点胶以对加热丝进行预固定。
[0024]作为本专利技术的一种优选方案，当所述散热盘体冷却至380
‑
450℃时对所述第一中间加工体进行锻压加工。
[0025]作为本专利技术的一种优选方案，锻压加工完成后对第二中间加工体进行喷雾冷却，待第二中间加工体温度下降至45
‑
60℃时，对第二中间体进行烘干处理。
[0026]综上所述，本专利技术具有如下有益效果：
[0027]本专利技术通过提供一种长效稳定型钎焊加热盘及其成型工艺，通过对导热盘体和散热盘体的组成进行合理调整，提高了导热盘体和散热盘体的结构强度，而导热盘体采用机加工形式成型、散热盘体通过铸造的方式成型在导热盘体内，同时进行锻压加工，极大地提高了导热盘体和散热盘体的密实度，进一步强化了加热盘的结构强度，延长了加热盘的使用寿命；同时也能够使得加热丝散热盘体和导热盘体结合的更加紧密，提高整体的热传导效率，进而也能够延长加热丝的使用寿命。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0029]图1为本专利技术实施例中加热盘的结构示意图。
[0030]图2为本专利技术实施例中成型工艺的流程图。
[0031]图中数字和字母所表示的相应部件名称：
[0032]1、导热盘体；11、容置槽；12、第一安装槽；2、散热盘体；21、过线孔；22、第二安装孔；3、加热丝；4、连接套筒。
具体实施方式
[0033]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种长效稳定型钎焊加热盘，其特征在于，包括：导热盘体、设置在所述导热盘体下方的散热盘体、以及呈盘状设置在所述导热盘体和所述散热盘体之间的加热丝，所述导热盘体的下表面设有与所述散热盘体相适配的容置槽，所述散热盘体中部设有供所述散热盘体穿过的过线孔，所述散热盘体的底部位于所述过线孔处设有连接套筒；其中，所述导热盘体按质量百分比计包括如下组分：0.06％
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0.12％的C、0.08％
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0.15％的Si、2％
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3.8％的Mo、0.08％
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1.8％的Mn、18％
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22％的Cr、0.38％
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1％的N、0.01％
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0.03％的P、0.01％
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0.04％的S、0.02％
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0.04％的B，余量为Fe；所述散热盘体按质量百分比计包括如下组分：0.03％
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0.06％的Ti、0.55％
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0.9％的Si、0.01％
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0.05％的Mn、0.08％
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0.18％的Zn、0.05％
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0.12％的Mg、0.24％
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0.58％的Cu、0.3％
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0.6％的Fe，余量为Al。2.根据权利要求1所述的长效稳定型钎焊加热盘，其特征在于，所述导热盘体和所述散热盘体的表面还设有氟化物保护层。3.根据权利要求2所述的长效稳定型钎焊加热盘，其特征在于，所述氟化物保护层包括聚四氟乙烯、氟化乙烯丙烯、全氟烷氧基中的一种或多种。4.根据权利要求1或2或3所述的长效稳定型钎焊加热盘，其特征在于，所述容置槽内设有与所述加热丝相适配的第一安装槽，所述散热盘体的上表面设有与所述第一安装槽相对应的第二安装槽。5.根据权利要求1所述的长效稳定型钎焊加热盘，其特征在于，所述导热盘体按质量百分比计包括如下组分：0.08％的C、0.13％的Si、3.2％的Mo、1.5％的Mn、20的Cr、0.55的N、0.015％的P、0...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖学才，
申请(专利权)人：浙江龙际立尔半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：