一种ITO薄膜激光蚀刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种ＩＴＯ薄膜激光蚀刻机，包括机架、工控机、显示系统、激光发生器、切割头、吸附盘、Ｘ轴运动系统、Ｙ轴运动系统和Ｚ轴运动系统，所述工控机、激光发生器、显示系统和Ｚ轴运动系统都安装在机架上，所述切割头安装在Ｚ轴运动系统上，所述吸附盘固定在Ｘ轴运动系统上，位于Ｙ轴运动系统的上方，所述Ｘ轴运动系统安装在Ｙ轴运动系统上，并交叉呈十字状，Ｙ轴运动系统固定安装在机架上。本实用新型专利技术对ＩＴＯ薄膜的刻线效率高、线性好。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一种ITO薄膜激光蚀刻机
本技术涉及激光切割
，尤其涉及一种ITO薄膜激光 蚀刻机。
技术介绍
「ro薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜，此膜镀在菲林或玻璃 基板上。镀有no薄膜的基材刻线后由上层与下层线路组成，备自布线X.轴与Y轴，两层线路中间由极小的绝缘点支撑作为隔层，目前 可做到最小的绝缘点是①0.035mm,经组装贴合后，改变其面上某 点电压值且产生信号，经由控制器计算，控制相对坐标位置特定点状 态或取用信号，可实现使用于触摸屏、液晶显示屏等产品上。随着触摸屏及液晶显示屏行业的不断发展，对ITO薄膜基材性能 需求的不断提高，对ITO薄膜的加工方式也出现了改变，现有技术中 由于加工设备结构布局问题，导致对ITO薄膜的加工效率低，采用传 统的电机进行平台移动，无法保证加工的线性。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种刻线效率高、线性好的 ITO薄膜激光蚀刻机。本技术所采用的技术方案是一种IT0薄膜激光蚀刻机，包括机架、工控机、显示系统、激光 发生器、切割头、吸附盘、X轴运动系统、Y轴运动系统和Z轴运动 系统，所述工控才几、激光发生器、显示系统和Z轴运动系统都安装在 机架上，所述切割头安装在Z轴运动系统上，所述吸附盘固定在X轴 运动系统上,.位于Y轴运动系统的上方，所述X轴运动系统安装在Y 轴运动系统上，并交叉呈十字状，Y轴运动系统固定安装在机架上。所述的一种IT0薄膜激光蚀刻机，还包括安装在X轴运动系统侧 面的第 一光学柵尺及第 一读数器，以及安装在Y轴运动系统侧面的第 二光学栅尺及第二读数器。 .所述的一种1T0薄膜激光蚀刻机，还包括安装在X轴运动系统内 的第一直线电机以及安装在Y轴运动系统内的第二直线电机。所述吸附盘的内部为空腔，其盘面设置阵列有多个与空腔连通的 小孔。，所述吸附盘的侧面开有多个通孔，其中，至少一个通孔作为吸附 口与所述空腔相通，并连接真空装置或抽风装置；至少一个通孔作为 进气口与空腔相通，并连接吹气装置。 .所述作为吸附口的通孔及作为进气口的通孔安装有一使吸气及 进气错开动作的阀门装置。所迷切割头包括使激光聚焦成能量集中的小光点，以作用在IT0 薄膜上激光聚焦镜组、连接压缩气体的吹气部件及连接吸气系统吸尘 部件，所述聚焦镜组、吹气部件和吸尘部件同轴设置。所述的一种IT0薄膜激光蚀刻机，还包括安装在机架上方的风机过滤单元，其风口对准吸附盘与切割头的交汇处。所述激光发生器为波长是1064nm、 532誦或355nm的固体(YAG )激光发生器。所述的一种ITO薄膜激光蚀刻机，还包括安装在机架上自动门及 保护装置，其位于吸附盘前方，与所述机架前挡板并排布置。 本技术的有益效果是本技术采用线性电机及光学栅尺读数，从而保证了 rr()薄膜 的刻线精度及速度；x轴运动系统和y轴运动系统采用十字结构安 装，使工作平台能够快速移动到预定位置，提高效率；工作平台采用 吸附盘，在刻线过程中ito薄膜始终吸附在吸附盘上，吸附盘上还设 置了吹气浮起装置，在刻线结束时关闭吸气同时吹气将ito薄膜鼓吹 浮起，使ito薄膜容易从吸附盘上取下；.激光产生器釆用固体(.yag) 激光器，所用激光几乎仅对ito薄膜作用，有效保护基板材料，不影 响基材透明度；机架上安装有自动门，在工作状态时自动门关闭，从 而保证了操作者的安全；基于上述方案，本技术提高了 ito薄膜 刻线效率、提高寿命、成本降低、直线性更好、可视区域加大，不使 用化学试剂，符令环保要求。附图说明下面参照附图结合实施例对本技术作进一步的描述。 图1是本技术蚀刻机的结构示意图。 图2是本技术蚀刻机的侧面示意图。 图3是图1中a部分的放大示意图。具体实施方式如图1至图3所示，本技术的激光蚀刻机包括地脚支撑调整螺栓l、工控机2、.键盘鼠标抽拉盒3、显示系统4、机架5、激光发 生器6、风机过滤单元(FFU) 7、 Z轴运动系统8、切割头9、吸附 盘10、 X轴运动系统ll、 Y轴运动系统12、防尘罩13、电气控制拒 14、线性电机15、防震垫铁16、滑动轮17、红光电感装置18、自动 门保护装置19、汽缸轴20、脚轮21; .所述工控机2、激光发生器6、 Z轴运动系统8、显示系统4、风 机过滤蕈元(FFU) 7、自动门保护装置19都安装在机架5上，所述 切割头9安装在Z轴运动系统8上，位于吸附盘10的上方，所述吸 附盘10固定安装在X轴运动系统11上，位于Y轴运动系统12的上 方，所述X轴运动系统安装在Y轴运动系统上，并交叉呈十字状，Y 轴运动系统固定安装在机架上。吸附盘10、 X轴运动系统11与Y 轴运动系统12组合成的十字式平台，该十字式平台可以通过连接板 与机架固定在一起。风机过滤单元(FFU) 7的风口对准吸附盘与切 割头的交汇处，可把洁净干燥空气往ITO薄膜加工面吹入，有效保护 1T0薄膜性能。本技术的激光蚀刻机，还包括安装在X轴运动系统11侧面 的第一光学栅尺及第一读数器，以及安装在Y轴运动系统12侧面的 第二光学栅尺及第二读数器；光学栅尺及读数器都未在图中示出。所 述X轴运动系统11及Y轴运动系统12组成十字工作台，X轴及Y轴 运动系统使用线性电机和光学栅尺，能实现更快速的定位运行及更高 精度图形运行，所述光学栅尺配读数器安装在X、 Y轴侧面，方便调节及更好的防油防尘，保证运动系统的精度。本技术中，在X轴运动系统11内还安装有第一直线电机(图 中未示出)，在Y轴运动系统内还安装有第二直线电机，即图中的线性电才几15。 -本技术还包括安装在机架5上自动门及保护装置19,其位 于吸附盘10前方，与所述机架5前挡板并排布置，其装有滑动轮17 可使自动门开关自如，采用汽缸轴20连接压缩气体，.并通过电磁阀 实现自动开关门控制，采用红光电感装置18实现自动门的开关安全。采用防尘罩13把X轴运动系统11及Y轴运动系统12中的线性 电机15和光学栅尺及读数器完全封住，有效防护光学柵尺及线性电 机光洁正常使用，工控机2装备有运动控制卡，经由电气控制拒14 内备器件实现对线性电机15的运动控制。所述吸附盘10的内部为空腔，其盘面设置阵列有多个与空腔连 通的小孔。吸附盘10的侧面开有多个通孔，其中，至少一个通孔作 为吸附口与所述空腔相通，并连接真空装置或抽风装置;，至少一个通 孔作为进气口与空腔相通，并连接吹气装置。作为吸附口的通孔及作 为进气口的通孔安装有一使吸气及进气错开动作的阀门装置；这样实 现在刻线过程中ITO薄膜始终吸附在吸附盘10上，吸附盘10上还设 置了吹气浮起装置，在刻线结束时吸气关闭同时吹气将ITO薄膜鼓吹 浮起，使ITO薄膜容易从吸附盘10上取下。所述激光发生器6安装在机架5上，使用固体(YAG )激光发生 器，可以是波长为1064nm、 532nm或355nm激光发生器，激光基本 仅作用于[TO薄膜，不会影响基板材料，及影响板材透光性；所述切割头9连接在Z轴运动系统8上，所述切割头包括聚焦镜组、吹气部件及吸尘部件，所述聚焦镜组、吹气部件和吸尘部件同轴设置，其中的聚焦镜组使激光聚焦成能量集中的小光点，以作用在ITO薄膜 上，按需求图形线路把导电膜层刻掉；安本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＩＴＯ薄膜激光蚀刻机，包括机架、工控机、显示系统、激光发生器、切割头、吸附盘、Ｘ轴运动系统、Ｙ轴运动系统和Ｚ轴运动系统，所述工控机、激光发生器、显示系统和Ｚ轴运动系统都安装在机架上，所述切割头安装在Ｚ轴运动系统上，其特征在于：　　　　所述吸附盘固定在Ｘ轴运动系统上，位于Ｙ轴运动系统的上方，所述Ｘ轴运动系统安装在Ｙ轴运动系统上，并交叉呈十字状，Ｙ轴运动系统固定安装在机架上。

【技术特征摘要】
1.一种ITO薄膜激光蚀刻机，包括机架、工控机、显示系统、激光发生器、切割头、吸附盘、X轴运动系统、Y轴运动系统和Z轴运动系统，所述工控机、激光发生器、显示系统和Z轴运动系统都安装在机架上，所述切割头安装在Z轴运动系统上，其特征在于所述吸附盘固定在X轴运动系统上，位于Y轴运动系统的上方，所述X轴运动系统安装在Y轴运动系统上，并交叉呈十字状，Y轴运动系统固定安装在机架上。2. 根据权利要求1所述的一种IT0薄膜激光蚀刻机，其特征在 于还包括安装在X轴运动系统侧面的第一光学栅尺及第一读数器， 以及安装在Y轴运动系统侧面的第二光学栅尺及第二读数器。3. 根据权利要求1所述的一种IT0薄膜激光蚀刻机，其特征在 于还包括安装在X轴运动系统内的第一直线电机，以及安装在Y轴 运动系统内的第二直线电机。4. 根据权利要求1所述的一种IT0薄膜激光蚀刻机，其特征在 于所述吸附盘的内部为空腔，其盘面设置阵列有多个与空腔连通的 小孔。5. 根据权利要求4所述的一种ITO薄膜激光蚀刻机，其特征在 于所述吸附盘的侧面开有多个通孔，其中，至少一...

【专利技术属性】
技术研发人员：高云峰，陈夏弟，倪鹏玉，程文胜，李世印，
申请(专利权)人：深圳市大族激光科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]