电光学装置的制造方法及液状物喷出装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供在向开口宽度不同的凹部充填液状物、除去溶剂来形成功能层的情况下，可将功能层形成为相等的厚度的电光学装置的制造方法及该电光学装置的制造中使用的液状物喷出装置。当制造电光学装置（１００）的元件基板（１０）时，在制造分辨率低的电光学装置用和分辨率高的电光学装置用的任意一种情形下，均向由隔壁（５ｂ）包围的凹部（５ｅ）内喷出液状物（８５），将液状物充填到凹部内后，从液状物除去溶剂成分形成有机功能层（８６）。在进行该工序之际，当凹部的开口宽度（Ｗ１）较窄时，向凹部充填功能层形成材料浓度高的液状物以使弯液面鼓出，当凹部的开口宽度（Ｗ２）较宽时，向凹部充填功能层形成材料浓度低的液状物以使弯液面鼓出。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及有机电致发光(以下称作有机EL ( Electro Luminescence))装置或液晶装置等电光学装置的制造方法、以及用于 该电光学装置的制造的液状物喷出装置。
技术介绍
作为代表性的电光学装置的有机EL装置或液晶装置，被用于便携 式电话、个人计算机或PDA ( Personal Digital Assistants )等电子i殳备 的显示装置中，对于形成这种有机EL装置的有机EL元件的方法提出 了如下方案，即在基板上形成多个像素电极、和对用于在多个像素电 极上分别形成含有发光层的有机功能层的多个功能层形成区域进行划 分的隔壁后，如图12 (a)、 (b)、 (c)所示，从液状物喷出装置向由隔 壁5b包围的凹部5e内喷出液状物85，向凹部5e内充填液状物85，之 后从液状物85除去溶剂成分，形成有机功能层86 (参照专利文献1 )。在釆用该方法时，考虑到功能层形成材料向溶剂的溶解性差、或功 能层形成材料为高分子材料时因高浓度化而导致粘度增加，优选如图12 (b)所示，对凹部5e以弯液面鼓出的方式充填液状物85来增添充填 量，由此获取有机功能层86的厚度。专利文献l:日本特开2002 - 222695号7>才艮当以该方法形成有机功能层86时，应该以凹部5e的开口宽度、凹 部5e的深度、液状物85的功能层形成材料浓度、以及液状物85与隔 壁5b的接触角来规定有机功能层86的厚度。这里，如图12(b)所示，在以弯液面鼓出的方式对凹部5e充填液 状物85时，如果将凹部5e的开口宽度设为W、与隔壁5b的接触角设 为6,则如图13所示，弯液面的圆弧状表面的曲率半径R如下式所示， R = W/2sin 6 ，5由凹部5e的开口宽度W及与隔壁5b的接触角6规定，与弯液面相当 的斜线部分的面积S可如下式所示<formula>formula see original document page 6</formula>因此，当以弯液面鼓出、与隔壁5b的接触角为6的方式对凹部5e充填 液状物85时，如果不改变凹部5e的深度(隔壁5b的高度h)及液状 物85的功能层形成材料浓度而将开口宽度W设为2倍，则由于与弯液 面鼓出的量相当的液状物85的量变成4倍，所以液状物85的充填量不 同，结果，在开口宽度较宽的凹部5e中形成了膜厚d比开口宽度较窄 的凹部5e中形成的膜厚d厚的有机功能层86。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的课题在于，提供一种即便在向开口宽度不同 的凹部充填液状物、除去溶剂来形成功能层的情况下，也可将功能层形成 为相等厚度的电光学装置的制造方法、及用于该电光学装置的制造的液状 物喷出装置。为了解决上述问题，本专利技术提供一种电光学装置的制造方法，具备 向M上形成的凹部内喷出在溶剂中混合了功能层形成材料的液状物，将 该液状物充填到上述凹部内的充填工序；和从该液状物中除去溶剂成分， 使上述功能层形成材料固定在上述凹部内的固定工序，其特征在于，在上 述充填工序中，作为所述液状物，充填功能层形成材料浓度根据上述凹部 的开口宽度的大小而不同的液状物。对于实施该制造方法而言，本专利技术提供出一种液状物喷出装置，具有 供给在溶剂中混合了功能层形成材料的液状物的液状物供给部；和经由流 路与该液状物供iMP连接，且具备向电光学装置用基板上形成的凹部内喷 出上述液状物的喷嘴开口的喷出头，其特征在于，上述喷出头根据上述凹 部的开口宽度的大小，使向上述凹部内充填的上述液状物的功能层形成 材料浓度不同。本专利技术在上述液状物充填工序中，将上述液状物充填到在上述凹部中 以弯液面鼓出的状态，作为上述液状物,与开口宽度相对宽的上述凹部相 比，对开口宽度相对窄的上述凹部，充填功能层形成材料浓度高的液状物。即，在应用了本专利技术的液状物喷出装置中，对于上述喷出头而言，将上述 液状物充填到在上述凹部中以弯液面鼓出的状态，作为上述液状物，与开 口宽度相对宽的上述凹部相比，对开口宽度相对窄的上述凹部充填功能层 形成材料浓度高的液状物。在本专利技术中，当根据开口宽度的大小使向上述凹部充填的上述液状物的功能层形成材料浓度不同时，可以采用如下方法作为上述液状物，不 仅向上述凹部内喷出功能层形成材料浓度不同的多种液状物，还根据上述 开口宽度的大小使该多种液状物向上述凹部内的喷出量均衡度不同。当实施该方法时，在应用了本专利技术的液状物喷出装置中，上述液状物 供给部具备多个浓度不同液状物供给部，用于分别供给功能层形成材料浓 度不同的多种上述液状物，上述喷出头作为上述喷嘴开口而具备多个浓度 不同喷嘴开口 ，该多个浓度不同喷嘴开口分别与上述多个浓度不同液状物 供^HP连接，向上述凹部喷出功能层形成材料浓度不同的上述液状物，不 仅从上述多个浓度不同喷嘴开口向上述凹部分别喷出上述多种类的上 述液状物，还根据上述凹部的开口宽度的大小，控制从上述多个浓度不 同喷嘴开口喷出的上述液状物的喷出量均衡度。若如此构成，则即便凹部的开口宽度出现不同程度的差异，仍可对任 意一个开口宽度的凹部充填功能层形成材料浓度最佳的液状物。在本专利技术中，当根据开口宽度的大小使向上述凹部充填的上述液状物 的功能层形成材料浓度不同时，也可以釆用根据上述开口宽度的大小，使 向上述凹部内喷出的上述液状物的功能层形成材料浓度不同的方法。当实施该方法时，在应用了本专利技术的液状物喷出装置中，可以采用如 下构成上述液状物供给部具备多个分别供给功能层形成材料浓度不同的 多种上述液状物的浓度不同液状物供给部，上述喷出头作为上述喷嘴开口 而具备多个浓度不同喷嘴开口 ，该多个浓度不同喷嘴开口分别与上述多个 浓度不同液状物供给部连接，喷出功能层形成材料浓度不同的上述液状 物，不仅从上述多个浓度不同喷嘴开口中的任意一个向上述凹部喷出上述 液状物，还根据凹部的开口宽度的大小，控制应该从上述多个浓度不同喷 嘴开口中的哪一个浓度不同喷嘴开口喷出上述液状物。7另外，本专利技术也可以采用如下构成上述液状物供给部具备多个分别 供给功能层形成材料浓度不同的多种上述液状物的浓度不同液状物供给 部，不仅从上述喷嘴开口向上述凹部喷出上述多个浓度不同液状物供给部 中任意一个所存储的上述液状物，还根据上述凹部的开口宽度的大小，控 制应该从上述喷嘴开口喷出存储于上述多个浓度不同液状物供给部中哪 一个的液状物。并且，本专利技术也可以采用如下构成上述液状物供给部具备多个分别 存储用于调制上述液状物的多种液状材料的液状材料储存部，不仅混合上 述多种液状材料而作为上述液状物向上述喷出头供给外，还根据上述凹 部的开口宽度的大小，控制上述多种液状材料的混合比。如此构成，即 便凹部的开口宽度出现不同程度的差异，仍可对任意一个开口宽度的凹部 充填功能层形成材料浓度最佳的液状物。本专利技术可以应用在开口宽度不同的凹部形成于不同基板上的情况。 另外，本专利技术还可以应用在开口宽度不同的凹部形成于同一基板上的情 况。本专利技术可以应用于上述功能层形成材料在上述基板上形成有机EL 元件的有机功能层的情况。即，本专利技术可以应用于制造有机EL装置作 为电光学装置的情形。另外，本专利技术可以在制造有机EL装置或液晶装 置等电光学装置所使用的彩色滤光基板中应用，此时，上述功能层形成 材本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电光学装置的制造方法，具备向基板上形成的凹部内喷出溶剂中混合了功能层形成材料的液状物，将该液状物充填到所述凹部内的充填工序；和从该液状物中除去溶剂成分，使所述功能层形成材料固定在所述凹部内的固定工序，其特征在于，　在所述充填工序中 ，作为液状物，充填功能层形成材料浓度根据所述凹部的开口宽度的大小而不同的液状物。

【技术特征摘要】
JP 2007-12-26 2007-3336581. 一种电光学装置的制造方法，具备向基板上形成的凹部内喷出溶剂中混合了功能层形成材料的液状物，将该液状物充填到所述凹部内的充填工序；和从该液状物中除去溶剂成分，使所述功能层形成材料固定在所述凹部内的固定工序，其特征在于，在所述充填工序中，作为液状物，充填功能层形成材料浓度根据所述凹部的开口宽度的大小而不同的液状物。2. 根据权利要求l所述的电光学装置的制造方法，其特征在于， 在所述液状物充填工序中，将所述液状物充填到在所述凹部中以弯液面鼓出的状态，作为所述液状物，与开口宽度相对宽的所述凹部相比， 对开口宽度相对窄的所述凹部充填功能层形成材料浓度高的液状物。3. 根据权利要求1或2所述的电光学装置的制造方法，其特征在于，当根据开口宽度的大小使向所述凹部充填的所述液状物的功能层形成材料浓度不同时，作为所述液状物，不仅向所述凹部内喷出功能层形成材料浓度不同 的多种液状物，还根据所述开口宽度的大小使该多种液状物向所述凹部 内的喷出量均衡度不同。4. 根据权利要求1或2所述的电光学装置的制造方法，其特征在于，当根据开口宽度的大小使向所述凹部充填的所述液状物的功能层形成材料浓度不同时，根据所述开口宽度的大小使向所述凹部内喷出的所述液状物的功 能层形成材料浓度不同。5. 根据权利要求1~4中任意一项所述的电光学装置的制造方法， 其特征在于，所述开口宽度不同的凹部，形成在不同的基板上。6. 根据权利要求1~5中任意一项所述的电光学装置的制造方法， 其特征在于，所述功能层形成材料在所述基板上形成有机电致发光元件的有机 功能层。7. —种液状物喷出装置，具有供给在溶剂中混合了功能层形成材 料的液状物的液状物供给部；和经由流路与该液状物供给部连接，且具 备向电光学装置用基板上形成的凹部内喷出所述液状物的喷嘴开口的喷出头；其特征在于，所述喷出头根据所述凹部的开口宽度的大小，使向所述凹部内充填 的所述液状物的功能层形成材料浓度不同。8. 根据权利要求7所述的液状物喷出装置，其特征在于， 对于所述喷出头而言，将所述液状物充填...

【专利技术属性】
技术研发人员：后藤正嗣，酒井真理，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]