本实用新型专利技术公开了一种晶圆甩干机用喷水装置，包括机体和甩干桶，所述机体内部中间设有甩干桶，所述甩干桶的外侧设有移动喷水组件，所述机体底部设有储水底座，所述机体的外壁一侧顶部设有清水箱，所述清水箱上分别设有输水管和回流管，所述输水管与移动喷水组件连接，所述回流管与机体的外壁一侧底部连接，且输水管和回流管上均设有水泵，本实用新型专利技术，通过移动喷水组件实现移动喷水，方便对甩干桶内的晶圆进行喷水清洗，清洗后的水通过回流管回流到清水箱，实现清洗水的循环利用。实现清洗水的循环利用。实现清洗水的循环利用。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆甩干机用喷水装置
[0001]本技术涉及甩干机喷水
，具体为一种晶圆甩干机用喷水装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，在晶圆的生产加工中，需要通过甩干机对晶圆进行清洗甩干处理，现有的晶圆甩干机清洗用喷水结构固定化，不方便移动调节，对晶圆的清洗效果不好，同时不能对清洗后的水进行循环利用，因此，设计一种晶圆甩干机用喷水装置是很有必要的。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种晶圆甩干机用喷水装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种晶圆甩干机用喷水装置，包括机体和甩干桶，所述机体内部中间设有甩干桶，所述甩干桶的外侧设有移动喷水组件，所述机体底部设有储水底座，所述机体的外壁一侧顶部设有清水箱，所述清水箱上分别设有输水管和回流管，所述输水管与移动喷水组件连接，所述回流管与机体的外壁一侧底部连接，且输水管和回流管上均设有水泵，清水箱内的清水通过输水管输出，通过移动喷水组件实现移动喷水，方便对甩干桶内的晶圆进行喷水清洗，清洗后的水通过回流管回流到清水箱，实现清洗水的循环利用。
[0005]在进一步的实施例中，所述移动喷水组件包括安装在机体内壁的安装架，所述安装架上等角度安装有若干个螺杆，所述螺杆的顶端穿过安装架顶部与驱动轮连接，且驱动轮之间相互啮合，所述机体顶部一端安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端与其中一个螺杆顶端连接，所述螺杆上滑动套设有滑块，所述滑块一侧设有安装筒，所述安装筒上安装有若干个喷头，所述安装筒顶部设有导水管，且导水管与输水管的一端连接，通过驱动电机带动其中一个螺杆转动，使得该螺杆上的驱动轮转动，进而通过与其啮合的驱动轮带动其它螺杆转动，使得滑块上下移动，输水管内输出的清水通过导水管流入安装筒并从喷头喷出，实现对甩干桶内的晶圆移动喷水清洗。
[0006]在进一步的实施例中，所述安装架上等角度开设有若干个移动孔，所述滑块位于移动孔内且滑块两侧中间均开设有与安装架相配合的滑槽，通过移动孔和滑槽相配合，使得滑块上下移动稳定。
[0007]在进一步的实施例中，所述滑块表面对称安装有卡块，所述安装筒上开设有与卡块相配合的卡孔，所述安装筒表面位于卡块之间固定有锁紧销，通过将卡块固定在卡孔内并通过锁紧销进行锁紧，方便滑块与安装筒的固定拆卸。
[0008]在进一步的实施例中，所述机体的底部设有第一滤网，所述储水底座的内壁位于
回流管一侧设有第二滤网，通过第一滤网和第二滤网相配合，实现对清洗水的逐步过滤，方便水的循环利用。
[0009]在进一步的实施例中，所述储水底座的内壁底部均匀安装有承重柱，所述承重柱的顶部与机体的底部连接，通过承重柱对机体进行支撑，保证整体结构稳定。
[0010]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
[0011]1.通过驱动电机带动其中一个螺杆转动，使得该螺杆上的驱动轮转动，进而通过与其啮合的驱动轮带动其它螺杆转动，使得滑块上下移动，输水管内输出的清水通过导水管流入安装筒并从喷头喷出，实现对甩干桶内的晶圆移动喷水清洗；
[0012]2.清洗后的水通过回流管回流到清水箱，实现清洗水的循环利用，通过第一滤网和第二滤网相配合，实现对清洗水的逐步过滤，方便水的循环利用。
附图说明
[0013]图1是本技术的整体结构示意图；
[0014]图2是本技术的移动喷水组件结构示意图；
[0015]图3是本技术的安装架结构示意图；
[0016]附图标记为：机体1、甩干桶2、移动喷水组件3、储水底座4、安装架5、螺杆6、驱动轮7、滑块8、移动孔9、安装筒10、卡块11、卡孔12、锁紧销13、喷头14、导水管15、驱动电机16、清水箱17、输水管18、第一滤网19、第二滤网20、回流管21。
具体实施方式
[0017]在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本专利技术更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本专利技术可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本专利技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
[0018]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种晶圆甩干机用喷水装置，包括机体1、甩干桶2、移动喷水组件3、储水底座4、安装架5、螺杆6、驱动轮7、滑块8、移动孔9、安装筒10、卡块11、卡孔12、锁紧销13、喷头14、导水管15、驱动电机16、清水箱17、输水管18、第一滤网19、第二滤网20和回流管21，甩干桶2设置在机体1内部中间，移动喷水组件3设置在甩干桶2的外侧，储水底座4设置在机体1底部，清水箱17设置在机体1的外壁一侧顶部，输水管18和回流管21分别设置在清水箱17上，且输水管18与移动喷水组件3连接，回流管21与机体1的外壁一侧底部连接，输水管18和回流管21上均设有水泵，清水箱17内的清水通过输水管18输出，通过移动喷水组件3实现移动喷水，方便对甩干桶2内的晶圆进行喷水清洗，清洗后的水通过回流管21回流到清水箱17，实现清洗水的循环利用。
[0019]进一步的，移动喷水组件3包括安装在机体1内壁的安装架5，安装架5上等角度安装有若干个螺杆6，螺杆6的顶端穿过安装架5顶部与驱动轮7连接，且驱动轮7之间相互啮合，机体1顶部一端安装有驱动电机16，驱动电机16的输出端与其中一个螺杆6顶端连接，螺杆6上滑动套设有滑块8，滑块8一侧设有安装筒10，安装筒10上安装有若干个喷头14，安装筒10顶部设有导水管15，且导水管15与输水管18的一端连接，通过驱动电机16带动其中一个螺杆6转动，使得该螺杆6上的驱动轮7转动，进而通过与其啮合的驱动轮7带动其它螺杆6
转动，使得滑块8上下移动，输水管18内输出的清水通过导水管15流入安装筒10并从喷头14喷出，实现对甩干桶2内的晶圆移动喷水清洗。
[0020]进一步的，安装架5上等角度开设有若干个移动孔9，滑块8位于移动孔9内且滑块8两侧中间均开设有与安装架5相配合的滑槽，通过移动孔9和滑槽相配合，使得滑块8上下移动稳定。
[0021]进一步的，滑块8表面对称安装有卡块11，安装筒10上开设有与卡块11相配合的卡孔12，安装筒10表面位于卡块11之间固定有锁紧销13，通过将卡块11固定在卡孔12内并通过锁紧销13进行锁紧，方便滑块8与安装筒10的固定拆卸。
[0022]进一步的，机体1的底部设有第一滤网19，储水底座4的内壁位于回流管21一侧设有第二滤网20，通过第一滤网19和第二滤网20相配合，实现对清洗水的逐步过滤，方便水的循环利用。
[0023]进一步的，储水底座4的内壁底部均匀安装有承重柱，承重柱的顶部与机体1的底部连接，通过承重柱对本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆甩干机用喷水装置，包括机体（1）和甩干桶（2），其特征在于：所述机体（1）内部中间设有甩干桶（2），所述甩干桶（2）的外侧设有移动喷水组件（3），所述机体（1）底部设有储水底座（4），所述机体（1）的外壁一侧顶部设有清水箱（17），所述清水箱（17）上分别设有输水管（18）和回流管（21），所述输水管（18）与移动喷水组件（3）连接，所述回流管（21）与机体（1）的外壁一侧底部连接，且输水管（18）和回流管（21）上均设有水泵。2.根据权利要求1所述的一种晶圆甩干机用喷水装置，其特征在于：所述移动喷水组件（3）包括安装在机体（1）内壁的安装架（5），所述安装架（5）上等角度安装有若干个螺杆（6），所述螺杆（6）的顶端穿过安装架（5）顶部与驱动轮（7）连接，且驱动轮（7）之间相互啮合，所述机体（1）顶部一端安装有驱动电机（16），所述驱动电机（16）的输出端与其中一个螺杆（6）顶端连接，所述螺杆（6）上滑动套设有滑块（8），所述滑块（8）一侧设有安装筒（10），所述安...
【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳小泉，
申请(专利权)人：泉芯半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
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