硅片篮制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于硅片生产加工中，存载、周转硅片的硅片篮，其包括设于两端的固定板（１）、分别设于该固定板上端两侧的固定杆（２）、设于该固定板（１）下部的可作上下位置调整的支撑杆（３），所述固定板（１）中部的两侧纵向分别设有数个安装槽孔（４），该安装槽孔中设有可沿固定板（１）横向作位置调整的插片杆（５），该插片杆的外表面设有可插放硅片的凹槽（６），所述固定板（１）的顶端卡接一压杆（７）。本实用新型专利技术通过调整插片杆及支撑杆的位置，使得一套硅片盒可适用多种规格的硅片，并且硅片存放量大大增加，从而使得硅片加工生产的综合成本大大降低，完全适合大规模自动化生产的需要。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于硅片加工生产中，硅片的放置、存载及周转的工艺周转装置。
技术介绍
随着半导体科学技术的飞速的发展，硅片的广泛应用涉及到现代社会的各行各业。因此，硅片的生产加工量不断攀升，随之形成大规模流水生产。通常待加工硅片放置于周转装置中，通过生产线由机械手操作，进行每道工序的流水加工作业。现有的周转装置主要是采用框式结构的硅片盒来放置硅片。这种硅片盒根据不同硅片的径向尺寸设计出对应尺寸的盒子，以便加工使用。然而，随着大规模加工生产的需求，以及不同规格尺寸硅片的出现，传统结构的硅片盒，已不能满足需要，其存在以下明显的缺点1、一种硅片盒不能放置不同规格的硅片，即不同规格的硅片必须放置于不同规格的硅片盒中，生产加工中需要配置多种规格的硅片盒，以致加工成本大幅度升高；2、单个硅片盒安放硅片的数量较少，最多才能放置25片硅片。要想加大硅片盒的容积，扩大放置数量，则由于硅片盒的变形较大，无法满足机械化生产的工艺要求；3、随着硅片加工工艺的改进和完善，现有硅片盒已不能适应硅片自动干燥工艺的生产要求。为了满足硅片大规模生产的需要，并适应新工艺的要求，业界非常希望能够出现一种能同时适应多种规格，大存载量、价格便宜的硅片存载及周转装置。
技术实现思路
本技术的目的是要解决现有硅片加工生产过程中，硅片的存载、周转装置规格繁杂、互相不通用、不能满足大规模生产加工需要及不能适应新工艺要求的技术问题，提出一种通用性强，可适应多种规格硅片、能满足大规模加工需求以及成本低廉的硅片篮。为解决上述问题，本技术的技术方案是构造一种硅片篮，其包括设于两端的固定板、设于固定板下部的可作上下位置调整的支撑杆，所述固定板中部的两侧纵向分别设有数个安装槽孔，该安装槽孔中设有可沿固定板横向作位置调整的插片杆，该插片杆的外表面设有可插放硅片的凹槽。其中，所述固定板的顶端卡接一压杆。所述两侧的插片杆可以沿所述固定板的横向同时作位置调整，也可以一侧的插片杆固定连接，另一侧的插片杆沿所述固定板的横向作位置调整。所述插片杆外表面的凹槽为梯形凹槽。本技术的较佳实施例，所述的安装槽孔为设有三个位置的横向三环连接形状的安装槽孔。所述的固定板、压杆、支撑杆和插片杆由耐腐蚀和耐高温的聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙稀-全氟烷基乙稀醚共聚物(PFA)或耐腐蚀而不耐高温的聚丙稀塑材(PP)制作。所述插片杆、压杆、支撑光杆的芯部可以设有一金属杆。本技术由两侧的插片杆和下部的支撑杆用来支撑和限定硅片，通过调整两侧插片杆之间的距离，来适应放置不同尺寸规格的硅片；在固定板的顶端卡接一压杆可以防止加工或转运时硅片的向上串动；插片杆外表面设置的梯形凹槽，可以方便平稳顺利将硅片插入或取出；采用由耐腐蚀和耐高温的PVDF、PTFE及PFA塑材制作的硅片盒的零件，可以满足强腐蚀和高温处理的加工工艺要求；在插片杆、压杆、支撑光杆的芯部设置一金属杆，加强了本技术的刚度和强度，在各种环境下，尤其是高温环境下不易变形，并可以满足各种生产工艺的要求，本产品可放置多于100片的硅片。本技术使得硅片存放量大大增加，一套装置可适用多种规格的硅片。并且结构简单，加工方便，从而使得硅片加工生产的综合成本大大降低，完全适合大规模机械化生产的需要。以下结合附图和较佳实施例对本技术作详细的说明，其中附图说明图1是本技术较佳实施例的立体图；图2是本技术实施例的主视图；图3是图2的侧视图；图4是本技术实施例固定板的主视图；图5是本技术较佳实施例插片杆凹槽的放大图。具体实施方式图1、图2和图3示出了本技术较佳实施例的结构，所述的硅片篮，其包括设于两端的固定板1、用螺钉8连接于该固定板1下部的可作上下三个位置调整的支撑杆3。固定板1中部的两侧纵向分别设有三排横向的安装槽孔4(请参阅图4)，该安装槽孔中用螺钉8连接有可沿固定板1横向作位置调整的插片杆5，两插片杆的外表面分别设有相对的可插放硅片的梯形凹槽6(请参阅图5)，所述固定板1的顶端卡接一可以自由卡入或取出的压杆7。如图4所示，所述的安装槽孔4为设有三个位置的横向三环连接形状的安装槽孔。插片杆5沿安装槽孔4可同时作横向三个位置的调整，即将两边的插片杆靠拢到最近的第一位置时，硅片篮可用于放置103×103规格硅片9。当将插片杆5置于其他位置时，硅片篮又可以放置125×125规格硅片10或156×156规格硅片11(如图3所示)。将安装槽孔4设计成三环连接形状，便于插片杆5的定位，以确保插片杆5之间距离的精确。本技术另一实施例中，也可以将一侧插片杆4固定连接，此时的安装槽孔4就是一个圆孔(图中未示出)，另一侧的插片杆4可沿固定板1的横向作位置调整。这同样可以改变两插片杆之间的距离，达到放置不同规格硅片的目的。固定板1、支撑杆3、压杆7和插片杆5可由耐腐蚀和耐高温的聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙稀-全氟烷基乙稀醚共聚物(PFA)、也可由耐腐而不耐高温的聚丙稀塑材(PP)制作。插片杆5、支撑光杆3、压杆7注塑成型，而且在其芯部同时设置一金属杆(图中未示出)。当然，也可将安装槽孔4设计成其他的形状，也可根据需要设置安装槽孔4或支撑杆3纵向及横向位置的数量，只要可以使得插片杆能作横向的位置调整、支撑杆3作纵向的位置的调整，以达到放置不同规格硅片的目的，都是本技术所表达的内容。本技术使用时，先根据不同硅片的规格调整好两侧插片杆5之间的距离以及支撑杆3位置，以适应放置不同尺寸规格的硅片。将顶部的压杆7取掉，将硅片沿两插片杆相对的梯形凹槽6自由放入或取出，利用两侧的插片杆和下部的支撑杆来支撑和限制硅片的移动。硅片放好后，再将压杆7卡入固定板1的顶端，这样可以防止加工或转运时，硅片的向上串动。在插片杆5、支撑光杆3、压杆7的芯部设置一加强金属杆，使得本结构的硅片盒不仅可放置多于100片的硅片，而且刚度和强度好，在各种环境下，都不易变形。采用由耐腐蚀和耐高温的聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙稀-全氟烷基乙稀醚共聚物(PFA)塑材制作的硅片盒的零件，可以满足强腐蚀和高温处理的加工工艺的要求。本技术结构简单，加工方便，从而使得硅片加工生产的综合成本大大降低，完全适合大规模自动化生产的需要。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片篮，其特征在于，包括设于两端的固定板（１）设于该固定板（１）下部的可作上下位置调整的支撑光杆（３）所述固定板（１）中部的两侧纵向分别设有数个安装槽孔（４），该安装槽孔中设有可沿固定板（１）横向作位置调整的插片杆（５），该插片杆的外表面设有可插放硅片的凹槽（６）。

【技术特征摘要】
1.一种硅片篮，其特征在于，包括设于两端的固定板(1)设于该固定板(1)下部的可作上下位置调整的支撑光杆(3)所述固定板(1)中部的两侧纵向分别设有数个安装槽孔(4)，该安装槽孔中设有可沿固定板(1)横向作位置调整的插片杆(5)，该插片杆的外表面设有可插放硅片的凹槽(6)。2.根据权利要求1所述的硅片篮，其特征在于，所述固定板(1)的顶端卡接一压杆(7)。3.根据权利要求2所述的硅片篮，其特征在于，所述两侧的插片杆(5)沿所述固定板(1)的横向可同时作位置调整或一侧插片杆(5)固定连接，另一侧的插片杆(5)可沿所述固定板(1)的横向作位置调整。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，黄进权，
申请(专利权)人：深圳市捷佳创精密设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]