半导体密封磁力传动快速退火装置制造方法及图纸

半导体密封磁力传动快速退火装置，属于半导体器件制造的工艺技术。采用高频加热石墨板来对半导体材料进行退火，特点是采用全密封系统，退火前可预抽真空，采用磁力传动来驱动加工样品。经本装置退火的半导体材料具有电激活率高，杂质再分布小等优点，本装置不仅适于浅结，短沟道的超大规模集成电路的加工工艺，特别适于砷化镓（ＧａＡｓ）等多元化合物半导体和其他对痕量氧、水汽极其敏感材料的退火。（*该技术在1998年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
半导体密封磁力传动快速退火装置，由石英退火腔５，高频加热线圈７，石墨板８，氢气净化器２，氮气净化器３，保护气体输送管９，红外线测温仪１０及加热控制器１构成，还包括保护气体喷管６，退火腔端帽４，导管１３，石英杆１４，铁块１５，磁钢１６，其特征在于：ａ）在上述半导体快速退火装置中，在石英退火腔５内有一个水平放置的“Ｙ”形保护气体喷管６，喷管６内侧开有若干小喷气孔，有一个带有排气管的退火腔端帽４与石英退火腔５的左端密封连接，有一个末端封闭的导管１３与石英退火腔５的右端密封连接， 导管１３内有一根石英杆１４，石英杆１４左端与一石英托架１１连接，石英杆１４右端与一石英包封铁块１５密封烧结；ｂ）在上述半导体快速退火装置中，有一块石墨板８架在“Ｙ”形保护气体喷管６的上面，石英托架１１可在“Ｙ”形保护气体喷管６的内侧移动 ，并与“Ｙ”形保护气体喷管６保持在一个平面内；ｃ）在上述半导体快速退火装置中，导管１３内的密封烧结铁块１５可在导管内灵活移动，石英杆１４的左端有一支架１２，使得石英托架１１和石英杆１４和密封烧结铁块１５可以在水平方向移动；ｄ）在上述 半导体快速退火装置中，导管１３外套有一块磁钢１６，驱动磁钢１６可带动密封烧结铁块１５在导管１３内移动。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：史常忻，忻尚衡，李晓明，
申请(专利权)人：上海市交通大学，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]