压力动态调节装置制造方法及图纸

技术编号:32282114 阅读:13 留言:0更新日期:2022-02-12 19:49
本实用新型专利技术提供一种压力动态调节装置,包括压盘、用于连接压盘且使压盘能够摆动的横梁,横梁与压盘之间设置有用于调节压盘与竖直方向的夹角的调节组件,还包括测量压盘在工作时测量冷却液温度的多个温度传感器,调节组件包括有多个调节元件,调节元件与压盘可滑动连接,通过调节调节元件使压盘的表面与工件的表面相接触,保证工件整体受力均匀,温度传感器的个数与调节元件的个数和位置相对应,温度传感器与调节元件可通信连接,以控制调节元件调节压盘与竖直方向的夹角,当一侧温度传感器感受到温度升高时,调整与温度升高的相对的一侧的调节元件运动,使温度升高的一侧的压盘升高,进而实现压盘微调的目的,保证工件在研磨的过程中受力均匀。的过程中受力均匀。的过程中受力均匀。

【技术实现步骤摘要】
压力动态调节装置


[0001]本技术涉及机械研磨
,尤其是涉及一种压力动态调节装置。

技术介绍

[0002]目前在玻璃、硅片、陶瓷片等薄脆零件的研磨领域。对于运行的平稳性、压力分布的一致性都有较高要求,在压力分布不均时,将出现单个工件受压破碎,引发整盘加工报废。为了保证成品率,现有工艺均采用低压力,低效率的方式进行加工。但是随着半导体、精密陶瓷、超薄玻璃的用量逐年增大,传统的加工方式已无法满足需求,其中,在研磨的过程中由于研磨的压力的过大,同样会导致的温度比较高。
[0003]研究如何解决现有研磨过程中如何保持工件的受力均匀,保证成品率的问题,这个问题是本领域技术人员主要解决的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种压力动态调节装置,以解决现有技术中存在的研磨过程中如何保持工件的受力均匀,保证成品率的问题。本技术提供的诸多技术方案中的优选技术方案所能产生的诸多技术效果(A、B、C)详见下文阐述。
[0005]为实现上述目的,本技术提供了以下技术方案:
[0006]本技术提供的一种压力动态调节装置,包括压盘、用于连接所述压盘且使所述压盘能够摆动的横梁,所述横梁与所述压盘之间设置有用于调节所述压盘与竖直方向的夹角的调节组件,还包括用于测量压盘在工作时测量冷却液温度的多个温度传感器,所述调节组件包括有多个调节元件,所述调节元件与所述压盘可滑动连接,所述温度传感器的个数与所述调节元件的个数和位置相对应,所述温度传感器与调节元件可通信连接,以控制调节元件调节所述压盘与竖直方向的夹角。
[0007]优选地,所述调节组件与所述压盘之间还设置有连接组件,所述连接组件的一端与调节元件相连接,所述连接组件的另一端与所述压盘相连接。
[0008]优选地,所述调节组件包括设置在所述横梁下端连接板、沿所述连接板的周向均匀设置多个第二活塞缸,所述第二活塞缸的第二活塞杆与所述连接组件相连接,以带动所述连接组件运动。
[0009]优选地,所述连接组件包括与所述第二活塞缸的第二活塞杆的一端滑动连接的接盘、带动所述接盘转动的转轴、连接所述转轴与所述接盘的连接元件,所述连接元件能使所述接盘沿着所述接盘的轴向摆动。
[0010]优选地,所述连接元件包括与所述转轴相连接的球接头、与所述球接头相配合的球底座,所述球底座与所述接盘相连接,所述球接头与球底座之间通过键或者花键连接,所述花键的轴向与所述转轴的轴向相同。
[0011]优选地,还包括带动所述压盘转动的动力组件,所述动力组件包括电机、设置在所述横梁上的传动装置,所述传动装置包括第一输入轴、第一输出轴、套设在所述第一输入轴
与所述第一输出轴上的传动带,所述转轴为所述第一输出轴,所述转轴穿过所述横梁、所述调节组件与所述连接元件相连接,所述电机的第二输出轴与所述第一输入轴相连接。
[0012]优选地,所述第二活塞缸的输入端设置有比例阀,所述比例阀与所述控制器可通信连接。
[0013]优选地,所述球底座的外周面设置有台阶,所述接盘上设置安装所述底座的安装孔,所述安装孔卡设在所述台阶上。
[0014]优选地,所述凹槽设置在所述接盘的中间位置,所述温度传感器设置在所述凹槽内。
[0015]优选地,还包括所述接收温度传感器信号的控制器,所述控制器与所述调节元件可通信连接、以带动所述调节元件运动。
[0016]本申请文件提供的技术方案包括以下有益效果:
[0017]本技术提供了一种压力动态调节装置,包括压盘、用于连接压盘且使压盘能够摆动的横梁,其中,横梁远离压盘的一侧设置有第一活塞缸,第一活塞缸的第一活塞杆与横梁相连接,以带动横梁上下移动,使压盘靠近和远离工件。横梁与压盘之间设置有用于调节压盘与竖直方向的夹角的调节组件,还包括用于测量压盘在工作时测量冷却液温度的多个温度传感器,调节组件包括有多个调节元件,调节元件与压盘可滑动连接,由于工件的表面的不平整,压盘不能与工件的表面相接触,此时,通过调节调节元件使压盘的表面与工件的表面相接触,保证工件整体受力均匀,其中,温度传感器的个数与调节元件的个数和位置相对应,温度传感器与调节元件可通信连接,以控制调节元件调节压盘与竖直方向的夹角,当一侧温度传感器感受到温度升高时,温度传感器将信号传递给与温度升高的温度传感器相对的调节元件,调节元件运动使压盘摆动,即将温度较高的一侧的压盘升高,使温度较低一侧的压盘降低,使增大压盘与工件之间的接触面积,进而实现压盘微调的目的,进而保证工件在研磨的过程中受力均匀,避免在研磨过程中发生破碎,提高研磨效率。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1是根据一示例性实施例示出一种压力动态调节装置的结构示意图。
[0020]图中:1、第一活塞缸;2、横梁;3、压盘;4、连接板;5、第二活塞缸;6、温度传感器;7、转轴;8、接盘;9、球接头;10、球底座;11、凹槽;12、电机。
具体实施方式
[0021]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将对本技术的技术方案进行详细的描述。显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式,都属于本技术所保护的范围。
[0022]本具体实施方式提供了一种压力动态调节装置,解决了现有技术中在研磨过程中
如何保持工件受力均匀,保证成品率的问题。
[0023]以下,参照附图对实施例进行说明。此外,下面所示的实施例不对权利要求所记载的
技术实现思路
起任何限定作用。另外,下面实施例所表示的构成的全部内容不限于作为权利要求所记载的技术的解决方案所必需的。
[0024]参照图1,本技术提供了一种压力动态调节装置,包括压盘3、用于连接压盘3且使压盘3能够摆动的横梁2,其中,横梁2远离压盘3的一侧设置有第一活塞缸1,第一活塞缸1的第一活塞杆与横梁2相连接,以带动横梁2上下移动,使压盘3靠近和远离工件。横梁2与压盘3之间设置有用于调节压盘3与竖直方向的夹角的调节组件,还包括用于测量压盘3在工作时测量冷却液温度的多个温度传感器6,调节组件包括有多个调节元件,调节元件与压盘3可滑动连接,由于工件的表面的不平整,压盘3不能与工件的表面相接触,此时,通过调节调节元件使压盘3的表面与工件的表面相接触,保证工件整体受力均匀,其中,温度传感器6的个数与调节元件的个数和位置相对应,温度传感器6与调节元件可通信连接,以控制调节元件调节压盘3与竖直方向的夹角,当一侧温度传感器6感受到温度升高时,温度传感器6将信号传递给与温度升高本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压力动态调节装置,其特征在于,包括压盘(3)、用于连接所述压盘(3)且使所述压盘(3)能够摆动的横梁(2),所述横梁(2)与所述压盘(3)之间设置有用于调节所述压盘(3)与竖直方向的夹角的调节组件,还包括用于测量压盘(3)在工作时测量冷却液温度的多个温度传感器(6)、接收所述温度传感器(6)信号的控制器,所述调节组件包括有多个调节元件,所述调节元件与所述压盘(3)可滑动连接,所述温度传感器(6)的个数与所述调节元件的个数和位置相对应,所述温度传感器(6)与调节元件通过所述控制器可通信连接,所述控制器控制调节元件调节所述压盘(3)与竖直方向的夹角。2.根据权利要求1所述的压力动态调节装置,其特征在于,所述调节组件与所述压盘(3)之间还设置有连接组件,所述连接组件的一端与调节元件相连接,所述连接组件的另一端与所述压盘(3)相连接。3.根据权利要求2所述的压力动态调节装置,其特征在于,所述调节组件包括设置在所述横梁(2)下端连接板(4)、沿所述连接板(4)的周向均匀设置多个第二活塞缸(5),所述第二活塞缸(5)的第二活塞杆与所述连接组件相连接,以带动所述连接组件运动。4.根据权利要求3所述的压力动态调节装置,其特征在于,所述连接组件包括与所述第二活塞缸(5)的第二活塞杆的一端滑动连接的接盘(8)、带动所述接盘(8)转动的转轴(7)、连接所述转轴(7)与所述接盘(8)的连接元件,所述连接元件能使所述接盘(8)沿...

【专利技术属性】
技术研发人员:张军王焱海申波鲁元朋宋均恒
申请(专利权)人:洛阳市润智数控设备有限公司
类型:新型
国别省市:

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