一种用于晶圆清洗的上下料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及自动晶圆清洗设备技术领域，尤其涉及一种用于晶圆清洗的上下料装置。其技术方案包括：底板、气缸与侧板一，所述侧板一上活动连接有导向限位板，导向限位板的侧壁上设有侧板二，多个侧板二之间设置有滑台板，滑台板的顶部设有盖板，盖板的顶部活动连接有多个夹板，且盖板的底部设有推杆电机，推杆电机的输出端安装有楔块一。本实用新型专利技术通过各种结构的组合使得本装置在使用时方便快捷，结构简单稳定，便于维修，使用环境无特殊要求，且本装置集成到自动线内部，作为自动设备的上下料单元，体积小，不影响设备外观结构，本装置造价低，操作简单，并具有夹持的辅助功能，能够适用于各种承载器的稳定传送需求。于各种承载器的稳定传送需求。于各种承载器的稳定传送需求。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆清洗的上下料装置


[0001]本技术涉及自动晶圆清洗设备
，尤其涉及一种用于晶圆清洗的上下料装置。

技术介绍

[0002]半导体器件清洗设备是电子产业重要的一个环节，在使用自动化清洗设备的过程中，上下料台是实现设备自动化过程的第一步。目前在生产线生产过程中，使用全自动上下料机造价比较高，而且需要专门场地放置；另一种是省去上下料机，直接手工挂放篮，有一定的安全隐患。针对上述情况，开发出一种经济适用，体积小，使用安全的上下料装置显得尤为重要。
[0003]因此，如何对晶圆清洗的上下料装置进行处理是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是针对
技术介绍
中存在的问题，提出一种晶圆清洗的上下料设备。
[0005]本技术的技术方案：一种用于晶圆清洗的上下料装置，包括底板、气缸与侧板一，所述侧板一上活动连接有导向限位板，导向限位板的侧壁上设有侧板二，多个侧板二之间设置有滑台板，滑台板的顶部设有盖板，盖板的顶部活动连接有多个夹板，且盖板的底部设有推杆电机，推杆电机的输出端安装有楔块一，楔块一的侧壁上滑动连接有楔块二。
[0006]优选的，所述底板的顶部设有气缸，气缸的两侧设置有位于底板上的侧板一，所述气缸的输出端安装有连接块，连接块的顶部通过螺丝连接于滑台板上。
[0007]优选的，所述侧板一上开设有限位槽，所述导向限位板远离侧板二的一侧滑动连接于限位槽中。
[0008]优选的，所述盖板的顶部壳壁上开设有放置槽，放置槽中开设有多个滑槽，滑槽的内部滑动连接有滑块。
[0009]优选的，所述滑块的顶部固定连接于夹板上，且滑块的底部固定连接有支板，支板的侧壁固定连接于楔块二上。
[0010]与现有技术相比，本技术具有如下有益的技术效果：
[0011]通过各种结构的组合使得本装置在使用时方便快捷，结构简单稳定，便于维修，使用环境无特殊要求，且本装置集成到自动线内部，作为自动设备的上下料单元，体积小，不影响设备外观结构，本装置造价低，操作简单，并具有夹持的辅助功能，能够适用于各种承载器的稳定传送需求。
附图说明
[0012]图1给出本技术一种实施例的立体结构示意图；
[0013]图2为图1的仰视结构示意图。
[0014]附图标记：1、底板；2、气缸；3、侧板一；4、侧板二；5、滑台板；6、导向限位板；7、盖板；8、夹板；9、推杆电机；10、楔块一；11、楔块二。
具体实施方式
[0015]下文结合附图和具体实施例对本技术的技术方案做进一步说明。
[0016]实施例一
[0017]如图1所示，本技术提出的一种用于晶圆清洗的上下料装置，包括底板1、气缸2与侧板一3，侧板一3上活动连接有导向限位板6，导向限位板6的侧壁上设有侧板二4，多个侧板二4之间设置有滑台板5，滑台板5的顶部设有盖板7，盖板7的顶部活动连接有两个夹板8，且盖板7的底部设有推杆电机9，推杆电机9的输出端安装有楔块一10，楔块一10的侧壁上滑动连接有楔块二11，侧板一3上开设有限位槽，导向限位板6远离侧板二4的一侧滑动连接于限位槽中。
[0018]本实施例中，为避免该装置的塑料板变形，导向限位板6通过螺纹固定于侧板一3，盖板7通过螺纹固定于滑台板5上，导向限位板6的宽度尽可能比侧板一3的限位槽宽5
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10mm，楔块一10的两侧设有凸条，楔块二11靠近楔块一10的一侧开设有凹槽，凸条与凹槽之间相适配。
[0019]基于实施例一的一种用于晶圆清洗的上下料装置工作原理是:通过触摸屏或电磁阀控制气缸的进出气口启动气缸2，从而使得固定于连接块上的滑台板5进行运动，进而带动侧板二4与盖板7进行移动，侧板二4的移动使得导向限位板6在侧板一3的限位槽中进行滑动，导向限位板6为滑台板5的运动提供稳定的导向作用，在使用的时候，将承载器放置于盖板7上的放置槽内，放置完毕后，启动推杆电机9，带动楔块一10进行运动，楔块一10与楔块二11之间的滑动连接，进而使得支板相互靠近，使得滑块进行运动，进而带动夹板8相互靠近，实现对放置槽中承载器的夹持固定，当承载器固定完成后，关闭推杆电机9，通过触摸屏或电磁阀控制气缸2伸缩，使得承载器到达指定的位置，完成上下料过程。
[0020]实施例二
[0021]如图1
‑
2所示，本技术提出的一种用于晶圆清洗的上下料装置，相较于实施例一，本实施例还包括：底板1的顶部设有气缸2，气缸2的两侧设置有位于底板1上的侧板一3，气缸2的输出端安装有连接块，连接块的顶部通过螺丝连接于滑台板5上，盖板7的顶部壳壁上开设有放置槽，放置槽中开设有多个滑槽，滑槽的内部滑动连接有滑块，滑块的顶部固定连接于夹板8上，且滑块的底部固定连接有支板，支板的侧壁固定连接于楔块二11上。
[0022]本实施例中，底板1的顶部对称设有安装座，对称安装座之间设有多个导向杆，多个导向杆之间设有气缸2，连接块与导向杆之间滑动连接，盖板7的底部焊接有支座，支座的底部通过螺钉连接有推杆电机9，夹板8的材料多样，在本实施例中夹板采用钢板，且对称夹板8相互靠近的侧壁上均设置有摩擦垫，用于在对承载器夹持时，增加摩擦力，增强夹板8夹持的稳定性，放置槽的左侧开设有位于盖板7上的通孔槽，滑台板5与连接块之间连接的螺丝从通孔槽中进行装配，推杆电机9的型号多样，包括JC4、IA05与U9B等多种型号，在本实施例中推杆电机9所采用型号为U9B。
[0023]上述具体实施例仅仅是本技术的几种优选的实施例，基于本技术的技术
方案和上述实施例的相关启示，本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆清洗的上下料装置，包括底板(1)、气缸(2)与侧板一(3)，其特征在于：所述侧板一(3)上活动连接有导向限位板(6)，导向限位板(6)的侧壁上设有侧板二(4)，多个侧板二(4)之间设置有滑台板(5)，滑台板(5)的顶部设有盖板(7)，盖板(7)的顶部活动连接有多个夹板(8)，且盖板(7)的底部设有推杆电机(9)，推杆电机(9)的输出端安装有楔块一(10)，楔块一(10)的侧壁上滑动连接有楔块二(11)。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆清洗的上下料装置，其特征在于：所述底板(1)的顶部设有气缸(2)，气缸(2)的两侧设置有位于底板(1)上的侧板一(3)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李蒙，白鹏虞，唐飞，
申请(专利权)人：上海思恩装备科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：