一种碳化硅晶体生长炉装料取晶体的动作系统技术方案

本发明专利技术涉及单晶生长炉领域。一种碳化硅装料取晶体的动作系统，包括晶体生长炉，晶体生长炉包括机架，机架上安装有升降机构，机架上安装有用于控制升降机构升降过程中的极限位置的上极限开关以及下极限开关；热场组件包括基座、滑动支撑架、托板以及热场坩埚，基座与升降机构的升降架可拆卸连接；基座上滑动连接有滑动支撑架，滑动支撑架上安装有托板，托板上安装有热场坩埚；机架的左端开设有用于滑出滑动支撑架的滑出口，滑动支撑架的左端的底部安装有辅助滚轮，辅助滚轮包括承力托板、滚轮安装板以及滚轮，承力托板与滚轮安装板之间通过弹性机构相连，滚轮安装板上安装有滚轮。本专利给予了一种自动化装料或者取单晶的动作系统。统。统。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶体生长炉装料取晶体的动作系统


[0001]本专利技术涉及单晶生长炉领域，具体是装料取晶体的动作系统。

技术介绍

[0002]针对于碳化硅晶体生长炉生长单晶工艺中涉及到装料取晶体的工艺动作。
[0003]碳化硅晶体生长过程中，装料是用叉车升起来货叉托住托盘和热场坩埚，再慢慢下降到一定位置，再从设备内部移动到设备外部进行装料的动作，需要人力推动叉车完成，取晶体的操作也是一样。
[0004]目前行业内普遍采用上述人工加叉车完成工艺动作，人员技能和熟练要求就成为必需条件，这一方面会存在成隐患，另一方面也会对人的素质产生要求，为适应现代化生产需要，应该往自动化方向更进一步。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的问题，本专利技术提供一种碳化硅装料取晶体的动作系统，以解决以上至少一个技术问题。
[0006]为了达到上述目的，本专利技术提供了一种碳化硅装料取晶体的动作系统，包括一晶体生长炉，其特征在于，所述晶体生长炉包括一机架，所述机架上安装有用于带动热场组件升降的升降机构，所述机架上安装有用于控制升降机构升降过程中的极限位置的上极限开关以及下极限开关；
[0007]所述热场组件包括一基座、滑动支撑架、托板以及热场坩埚，所述基座与所述升降机构的升降架可拆卸连接；
[0008]所述基座上滑动连接有所述滑动支撑架，所述滑动支撑架上安装有所述托板，所述托板上安装有所述热场坩埚；
[0009]所述基座上设有用于限制所述滑动支撑架运动至左极限位置的左极限位置限位机构以及用于限制所述滑动支撑架运动至右极限位置的右极限位置限位机构；
[0010]所述机架的左端开设有用于滑出所述滑动支撑架的滑出口，所述滑动支撑架的左端的底部安装有辅助滚轮，所述辅助滚轮包括一承力托板、滚轮安装板以及滚轮，所述承力托板与所述滚轮安装板之间通过弹性机构相连，所述滚轮安装板上安装有所述滚轮。
[0011]本专利给予了一种自动化装料或者取单晶的动作系统。整个系统作为一个整体，实现物料的上下升降动作和横向滑进滑出的移动动作，满足了碳化硅生产工艺动作中人力简化需要，整个过程实现机械和控制有机结合的联动，也满足安全性需要。
[0012]此滑出动作，是整个重心移动，起始点是原点，滑出距离就是重心移动距离，此时对丝杆形成弯曲力矩就是重量乘以移动距离，这个力矩是破坏性的，为了消除这个力矩，设计上增加了辅助滚轮辅助承重。
[0013]进一步优选地，装料或者取晶体时，首先，滑动支撑架位于右极限位置，升降机构位于上极限开关位置，升降机构下降，带动热场组件下降至下极限开关位置后，滑动架向左
滑出到左极限位置，进行装料或者取晶体动作；
[0014]完成装料或者取晶体动作后，滑动支撑架向右滑动到右极限位置，升降机构从下极限开关位置上升至上极限开关位置，此时，托板与单晶生长炉的腔室安装法兰对接围成一空腔。
[0015]进一步优选地，所述弹性机构包括两个矩形弹簧，所述滚轮安装板上设有两个竖直设置的支撑杆，所述支撑杆上套设有所述矩形弹簧，所述承力板上穿过所述支撑杆，所述支撑杆的顶部螺纹连接有锁紧螺母；
[0016]所述滚轮安装板上还螺纹连接有四个固定螺钉，所述承力板上开设有滑动连接所述固定螺钉的导向孔。
[0017]由于设备离地高度存在的差异性，对辅助滚轮的安装采用压缩矩形弹簧的方式，按照高度需要拧紧螺钉压缩弹簧。
[0018]为了滑动支撑架的辅助伸缩滑动功能，设置有辅助滚轮，由于设备安装离地高度的差异性，增加了这个辅助滚轮的特殊设计。承力托板是这套辅助滚轮的主要安装板，滚轮安装板上的两根支撑杆穿过承力托板上的两孔，拧紧在支撑杆上的压紧调整螺母，来调整滚轮的离地高度，使滚轮起到辅助作用，当离地高度调整到位，拧紧固定螺钉，整个辅助滚轮就固定住了，再将整体固定在滑动支撑架上。
[0019]进一步优选地，所述滑动支撑架上通过浮动机构连接有所述托板；
[0020]所述浮动机构包括四个弹簧以及浮动架，所述滑动支撑架的四个角部与所述浮动架的四个角部开设有用于滑动连接导向轴的穿孔；
[0021]所述导向轴的上端以及下端均安装有锁紧件；
[0022]所述导向轴上套设有弹簧，所述弹簧的上下两端分别与所述浮动架以及所述滑动支撑架相抵，所述浮动架上通过立柱连接有所述托板；
[0023]所述浮动架上安装有定位销。
[0024]进一步优选地，所述导向轴设有四个，四个导向轴中位于对角的导向轴可拆卸连接有所述定位销。
[0025]进一步优选地，所述浮动架上安装有热场支撑杆，所述浮动架上还安装有驱动热场支撑杆旋转的旋转驱动机构。
[0026]便于在滑动支撑架上升过程中，通过定位销，便于实现与单晶生长炉的腔室安装法兰的对心，通过弹簧，便于实现托板与腔室安装法兰的紧贴。
[0027]进一步优选地，所述滑动支撑架上安装有一推拉手柄。
[0028]便于滑动架的左右滑动的推动。
[0029]进一步优选地，所述滑动支撑架设有向左延伸的延伸架，所述延伸架上安装有所述辅助滚轮。
[0030]便于实现滑动支撑架向左推拉出的重心的保证。
[0031]进一步优选地，所述升降机构包括两个前后并排设置的丝杆，两个丝杆联动，所述升降机构的升降架上安装有与所述丝杆螺纹连接的螺母；
[0032]所述升降机构的升降架包括两个前后设置的支撑板，两个支撑板上均安装有所述螺母；
[0033]所述基座的前后两端均安装有两个左右设置的立柱，两个立柱与同侧的支撑板的
左右两端可拆卸连接。
[0034]便于实现对支撑架的升降运动。
[0035]进一步优选地，所述机架上安装有调心轴承座，所述调心轴承座与所述丝杆的底部相连。
[0036]便于升降机的丝杠尾端采用调心轴承座结构，调心轴承座安装设计上考虑XYZ方向调整以及摆动微调，加上调心轴承的调心功能，机架不需要另外机加工，就能保证整套机构的正常动作，降低了成本。
附图说明
[0037]图1是本专利技术的一种左视图；
[0038]图2为本专利技术的一种俯视图；
[0039]图3为本专利技术的一种前视图；
[0040]图4为本专利技术的局部结构示意图；
[0041]图5为本专利技术的辅助滚轮处的俯视图；
[0042]图6为本专利技术的辅助滚轮处的前视图；
[0043]图7为本专利技术的辅助滚轮处的局部结构示意图。
[0044]其中，1为机架，3为腔室，4为升降机构，5为基座，6为托板，7为热场坩埚，8为滑动支撑架，111为承力板，112为滚轮安装板，113为滚轮，114为矩形弹簧，115为锁紧螺母，116为固定螺钉，117为连接件，A1为电机，A3为硬轴联动机构,B1为上极限开关，B2为下极限开关。
具体实施方式
[0045]下面结合附图对本专利技术做进一步的说明。
[0046]参见图1至图7，一种碳化硅装料本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅装料取晶体的动作系统，包括一晶体生长炉，其特征在于，所述晶体生长炉包括一机架，所述机架上安装有用于带动热场组件升降的升降机构，所述机架上安装有用于控制升降机构升降过程中的极限位置的上极限开关以及下极限开关；所述热场组件包括一基座、滑动支撑架、托板以及热场坩埚，所述基座与所述升降机构的升降架可拆卸连接；所述基座上滑动连接有所述滑动支撑架，所述滑动支撑架上安装有所述托板，所述托板上安装有所述热场坩埚；所述基座上设有用于限制所述滑动支撑架运动至左极限位置的左极限位置限位机构以及用于限制所述滑动支撑架运动至右极限位置的右极限位置限位机构；所述机架的左端开设有用于滑出所述滑动支撑架的滑出口，所述滑动支撑架的左端的底部安装有辅助滚轮，所述辅助滚轮包括一承力托板、滚轮安装板以及滚轮，所述承力托板与所述滚轮安装板之间通过弹性机构相连，所述滚轮安装板上安装有所述滚轮。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅装料取晶体的动作系统，其特征在于：装料或者取晶体时，首先，滑动支撑架位于右极限位置，升降机构位于上极限开关位置，升降机构下降，带动热场组件下降至下极限开关位置后，滑动架向左滑出到左极限位置，进行装料或者取晶体动作；完成装料或者取晶体动作后，滑动支撑架向右滑动到右极限位置，升降机构从下极限开关位置上升至上极限开关位置，此时，托板与单晶生长炉的腔室安装法兰对接围成一空腔。3.根据权利要求1所述的一种碳化硅装料取晶体的动作系统，其特征在于：所述弹性机构包括两个矩形弹簧，所述滚轮安装板上设有两个竖直设置的支撑杆，所述支撑杆上套设有所述矩形弹簧，所述承力板上穿过所述支撑杆，所述支撑杆的顶部螺纹连接有锁紧螺母；所述滚轮安装板上还螺纹连接有四个固定螺钉，所述承力板上开设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈有生，贺贤汉，赖章田，张城，夏孝平，徐淑文，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：