一种自动清理式HVPE过滤器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种自动清理式HVPE过滤器,包括：腔体，所述腔体顶部设有盖板，所述腔体底部设有底板，所述腔体中部安置有过滤芯，所述过滤芯的顶部周边通过滤芯支架和腔体的内壁固接，所述滤芯支架上固接有两个分别位于过滤芯两侧的气缸，两个气缸的底部通过穿过滤芯支架的活塞固接有清粉块，所述清粉块呈环形，将过滤芯包围在内并与过滤芯的外表面接触，所述气缸通过气路管线与电磁阀连接。本实用新型专利技术的有益效果是利用气缸的上下运动带动清粉块的运动，以防止粉尘堆积在过滤芯上从而造成堵塞。这样在HVPE生产过程中无需拆开过滤器，大大减少了拆装过滤器的时间及安装失误的隐患，有效提升了设备稼动率，且此操作不会对HVPE腔体内部的压力产生影响。HVPE腔体内部的压力产生影响。HVPE腔体内部的压力产生影响。

【技术实现步骤摘要】
一种自动清理式HVPE过滤器


[0001]本技术涉及涉及使用氢化物外延(HydrideVaporPhaseEpitaxy，简称HVPE)生 长CaN薄膜领域，特别涉及一种HVPE过滤器。

技术介绍

[0002]HVPE生长氮化物的主要原理是：以金属镓作为III族镓源，氨气(NH3)作为V族氮 源，氯化氢(HCl)作为反应气体并在载气(氢气或是氮气)的携带下，通过镓舟，与其中的金属镓发生化学反应，生成氯化镓(GaCl)，在通过载气(氢气或是氮气)的携带下在衬底上方与NH3反应生成GaN，并在衬底上沉积，主要的化学反应如下：
[0003]2HCl(g)+2Ga(l)＝2GaCl(g)+H2(g)
[0004]GaCl(g)+NH3(g)＝GaN(S)+HCl(g)+H2(g)
[0005]副反应：
[0006]HCl(g)+NH3(g)=NH4Cl
[0007]氢化物气相外延设备为化合物生长工艺设备，主要用于在高温环境下通过如H2、HCl等氢化物气体，使衬底表面外延生长一层如GaAs、GaN等的厚膜或晶体。副反应产生大量的NH4Cl粉末从排气口排出，并堆积在过滤器的滤网上，如不及时清理，将会导致机台内部压力增加，从而影响HVPE晶圆片生长的质量，甚至对机器本身及操作人员的安全产生危害；目前处理的办法是，设备每天更换过滤芯，这样影响了HVPE生产的产能，降低了HVPE的稼动率，而且频繁拆装过滤器会导致密封圈，螺丝等耗材更换速度，增加了设备的运行成本。
[0008]中国技术专利公开号CN205055478U公开了一种HVPE反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器，该冷凝过滤器的壳体上配有进气管路和出气管路，上盖上配有导流板和滤芯上密封法兰，滤芯下密封法兰固定在出气管路上，水套上配有冷却水入口和冷却水出口；壳体内设有滤芯，滤芯位于滤芯上密封法兰和滤芯下密封法兰之间；水套位于壳体的外侧，导流板位于滤芯的外侧。该过滤器利用水冷原理对氯化铵气体冷却，由于水套与滤芯之间距离太近，不能保证氯化铵气体充分冷却，这就造成氯化铵气体进入真空干泵内，缩短真空干泵寿命，氯化铵气体甚至会排到大气中，污染环境，另外即使经过冷却的氯化铵颗粒会附着在滤芯表面，需要频繁清洗滤芯。

技术实现思路

[0009]本技术要解决的技术问题是现有的HVPE过滤器过滤模式会造成氯化铵颗粒堆积附着在过滤器的滤网上，每天更换过滤芯影响了HVPE生产的产能，降低了HVPE的稼动率，增加了设备的运行成本，为此提供一种可以最大程度降低氯化铵颗粒附着滤网的自动清理式HVPE过滤器。
[0010]本技术的技术方案是：一种自动清理式HVPE过滤器,包括：腔体，所述腔体顶部设有盖板，所述腔体底部设有底板，所述腔体中部安置有过滤芯，所述过滤芯的顶部周边通过滤芯支架和腔体的内壁固接，所述滤芯支架上固接有两个分别位于过滤芯两侧的气
缸，两个气缸的底部通过穿过滤芯支架的活塞固接有清粉块，所述清粉块呈环形，将过滤芯包围在内并与过滤芯的外表面接触，所述气缸通过气路管线与电磁阀连接。
[0011]上述方案中所述电磁阀位于腔体外，所述盖板上设有气路接口，所述气路管线通过气路接口与电磁阀连接。
[0012]上述方案中所述气路接口有两个，所述气路管线包括连通两个气缸的第一气路管线和第二气路管线，两个气路接口分别与第一气路管线和第二气路管线连通。
[0013]上述方案的改进是所述气路接口与盖板之间适配有密封圈。
[0014]上述方案中所述清粉块材质为304/316L不锈钢。
[0015]上述方案中所述腔体是304/316L不锈钢材质。
[0016]本技术的有益效果是利用气缸的上下运动来带动清粉块的运动，清粉块的运动会将附着在滤芯上的粉尘清除掉，以防止粉尘堆积在过滤芯上从而造成过滤芯堵塞。这样在HVPE生产过程中无需拆开过滤器，更换过滤网即可使滤网恢复至可使用状态，大大减少了拆装过滤器的时间及安装失误的隐患，有效提升了设备稼动率，且此操作不会对HVPE腔体内部的压力产生影响，在设备运行过程中可同步运行。而且所用装置的结构简单消耗件少，有效地降低生产成本。
附图说明
[0017]图1是本技术清粉块位于下方示意图；
[0018]图2是本技术清粉块移动至上方示意图；
[0019]图中，1、腔体，2、盖板，3、底板，4、过滤芯，5、滤芯支架，6、气缸，7、清粉块，8、电磁阀，9、气路接口。
具体实施方式
[0020]下面结合附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所有其他实施例，都属于本技术的保护范围。
[0021]如图1
‑
2所示，本技术包括：腔体1，所述腔体顶部设有盖板2，所述腔体底部设有底板3，所述腔体中部安置有过滤芯4，过滤芯呈管状结构，所述过滤芯的顶部周边通过滤芯支架5和腔体1的内壁固接，滤芯支架5用于固定过滤芯，所述滤芯支架5上固接有两个分别位于过滤芯两侧的气缸6，两个气缸6的底部通过穿过滤芯支架5的活塞固接有清粉块7，所述清粉块7呈环形，将过滤芯包围在内并与过滤芯的外表面接触，所述气缸6通过气路管线与电磁阀8连接。
[0022]过滤芯用于过滤HVPE废气中的NH4Cl粉末；所述腔体，可以采用304，316L等不锈钢材质，腔体可以尽量做大，以堆积废气中的粉尘；所述滤芯支架，用于安装过滤芯；所述气缸用于控制清粉块的上下移动，气缸的活塞前端与清粉块连接，固定于滤芯支架上；所述清粉块，形状为圆环状，材料为304，316L等，通过它的上下动作来除附着在滤芯上的粉尘，清粉块固定于气缸的活塞上；所述电池阀，用于控制气缸的运动，采用同一电池阀来控制两个气缸以保证两个气缸的同步运行；所述气路接口9，用于气缸控制气路的流通，与过滤芯盖板
之间的连接采用密封圈连接方式以保证密封性。
[0023]如图1所示，本技术的清粉块位于过滤芯的上方，当需要清洁过滤芯时，启动电磁阀，气路管线向两个气缸内通气，两个气缸的活塞向下移动，带动清粉块下移，清粉块沿着过滤芯的外表面下移至底部，如图2所示，这里的活塞长度要足够长，至少要和过滤芯的长度相当，以便全面清洁过滤芯的外表面，到活塞伸长到极限位置后，电磁阀向外抽气，两个气缸的活塞向上移动，带动清粉块上移，清粉块沿着过滤芯的外表面回到顶部，如此反复操作，对过滤芯的外表面做全面的清理。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动清理式HVPE过滤器,其特征是：包括：腔体（1），所述腔体顶部设有盖板（2），所述腔体底部设有底板（3），所述腔体中部安置有过滤芯（4），所述过滤芯的顶部周边通过滤芯支架（5）和腔体（1）的内壁固接，所述滤芯支架（5）上固接有两个分别位于过滤芯两侧的气缸（6），两个气缸（6）的底部通过穿过滤芯支架（5）的活塞固接有清粉块（7），所述清粉块（7）呈环形，将过滤芯包围在内并与过滤芯的外表面接触，所述气缸（6）通过气路管线与电磁阀（8）连接。2.如权利要求1所述的一种自动清理式HVPE过滤器,其特征是：所述电磁阀（8）位于腔体外，所述盖板（2）上设有气路接口（9...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑小超，
申请(专利权)人：镓特半导体科技铜陵有限公司，
类型：新型
国别省市：