一种真空镀膜设备观察窗组件制造技术

本申请涉及一种观察窗，尤其是涉及一种真空镀膜设备观察窗组件，其技术方案要点是：一种真空镀膜设备观察窗组件包括用于固定在镀膜腔室室壁上的底座、栓接在底座上的法兰以及设置在法兰上的观察窗玻璃，底座上开设有与观察窗玻璃相对的下观察孔，法兰上开设有阶梯状的安装孔；法兰上栓接有用于将观察窗玻璃压紧在安装孔的阶梯踏面上的盖板，盖板上开设有与观察窗玻璃相对的上观察孔；达到了减少真空镀膜设备观察窗拆卸的工作量并方便镀膜腔室内部的维护的目的。部的维护的目的。部的维护的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备观察窗组件


[0001]本申请涉及一种观察窗，尤其是涉及一种真空镀膜设备观察窗组件。

技术介绍

[0002]真空镀膜工艺通常会在高温、高真空环境下，于镀膜腔室内部通过PVD或CVD等方法在工件表面实现镀膜；真空镀膜设备的镀膜腔室室壁上设置有观察窗，工作人员可通过观察窗观察镀膜腔室内的镀膜情况和部件运行情况。
[0003]相关技术中记载一种真空镀膜设备观察窗为分体结构，由于镀膜腔室内部常为高温、高真空环境，同时在不使用观察窗时，需要对进行观察窗遮挡以防止观察窗被镀膜而影响后续观察；但当需要将观察窗拆卸下来以对观察窗或镀膜腔室内部进行检修时，分体结构的观察窗导致观察窗的拆卸需要依次将各个部件拆卸下来，进而增大了观察窗拆卸以及对镀膜腔室内部的维护的工作量。

技术实现思路

[0004]为了减少真空镀膜设备观察窗拆卸的工作量并方便镀膜腔室内部的维护，本申请提供一种真空镀膜设备观察窗组件。
[0005]本申请提供的一种真空镀膜设备观察窗组件采用如下的技术方案：
[0006]一种真空镀膜设备观察窗组件，包括用于固定在镀膜腔室室壁上的底座、栓接在底座上的法兰以及设置在法兰上的观察窗玻璃，底座上开设有与观察窗玻璃相对的下观察孔，法兰上开设有阶梯状的安装孔；法兰上栓接有用于将观察窗玻璃压紧在安装孔的阶梯踏面上的盖板，盖板上开设有与观察窗玻璃相对的上观察孔。
[0007]通过采用上述技术方案，当需要对观察窗进行拆除以对镀膜腔室内部进行检修维护时，直接将法兰与底座之间的螺栓拆下即可，镀膜腔室进而通过底座上的下观察孔与外界环境连通以供工作人员对其内部进行检修维护；相比于分体式的观察窗组件，本申请的观察窗组件不需要对各个部件进行依次拆除，直接拆卸法兰即可将依托于法兰安装的包括观察窗玻璃、盖板等在内的各个部件从镀膜腔室上拆除，减少了真空镀膜设备观察窗拆卸的工作量并方便镀膜腔室内部的维护。
[0008]可选的，底座远离法兰的一侧固定有与下观察孔连通的防溅挡筒；法兰上穿设固定有位于观察窗玻璃一侧的轴套，轴套穿过下观察孔以及防溅挡筒并向底座远离法兰的一侧延伸；轴套内部穿设有与轴套转动连接的遮板轴，遮板轴上固定有能够遮挡防溅挡筒远离底座一端的防溅遮板，遮板轴在防溅遮板上偏心设置。
[0009]通过采用上述技术方案，防溅遮板配合防溅挡筒能够有效减少靶材逸至观察窗玻璃上而造成观察窗玻璃被镀膜并影响视野清晰度。
[0010]可选的，轴套向法兰远离底座的一侧延伸且轴套的该端端面上开设有密封孔，密封孔内部设置有两个环绕在遮板轴上的第一密封圈，两个第一密封圈之间设置有密封支架；轴套上螺接有一个端盖，端盖上设置有用于将第一密封圈压紧在密封孔内部的密封垫
圈。
[0011]通过采用上述技术方案，实现对轴套的密封，防止镀膜腔室内部通过轴套与外界大气连通而影响真空环境的产生。
[0012]可选的，遮板轴上固定有隔热材料制成的反射屏，反射屏设置在防溅挡筒远离法兰的一侧并用于减少热量进入到防溅挡筒内部。
[0013]过高的温度将会对密封零件以及观察窗组件等造成损害，并会导致遮板轴温度过高而导致工作人员烫伤的安全事故；通过采用上述技术方案，能够有效减少热量进入到防溅挡筒内部并扩散至观察窗玻璃附近，实现对观察窗玻璃的隔热作用。
[0014]可选的，反射屏设置有多个并沿遮板轴的轴向分布。
[0015]通过采用上述技术方案，进一步提高隔热能力。
[0016]可选的，相邻反射屏之间以及防溅遮板与相邻的反射屏之间均设置有隔环，多个隔环内部共同穿设有同时贯穿防溅遮板以及多个反射屏的销轴，销轴向最外侧的两个隔环相互远离的一侧延伸并沿自身径向穿设有开口销。
[0017]通过采用上述技术方案，使得相邻反射屏之间相互隔开，防止由于反射屏相互接触而降低隔热效果。
[0018]可选的，底座远离法兰的端面上开设有两端封闭的环形的冷却水道并固定有用于密封冷却水道的端板；底座上固定有两个分别与冷却水道的两端连通的水冷接管，其中一个水冷接管外接有冷却水源。
[0019]通过采用上述技术方案，实现对底座的降温，进一步降低整个组件的温度。
[0020]可选的，观察窗玻璃与盖板之间设置有环形的减压垫。
[0021]通过采用上述技术方案，减小盖板对观察窗玻璃作用的压强，进而减少对观察窗玻璃的损坏。
[0022]可选的，安装孔的阶梯踏面与观察窗玻璃之间设置有第二密封圈，安装孔的阶梯踏面上开设有供第二密封圈嵌入的环形凹槽，第二密封圈被压紧在观察窗玻璃表面。
[0023]通过采用上述技术方案，实现对观察窗玻璃与法兰之间的密封，防止镀膜腔室内部通过下观察孔以及安装孔与外界大气连通而影响真空环境的产生。
[0024]综上所述，本申请具有以下技术效果：
[0025]1.通过设置了底座、法兰、观察窗玻璃以及盖板，直接拆卸法兰即可将依托于法兰安装的包括观察窗玻璃、盖板等在内的各个部件从镀膜腔室上拆除，减少了真空镀膜设备观察窗拆卸的工作量并方便镀膜腔室内部的维护；
[0026]2.通过设置了防溅挡筒、轴套、遮板轴以及防溅遮板，当观察完毕后，转动遮板轴以使防溅遮板转动至防溅挡筒附近，进而防溅遮板配合防溅挡筒能够有效减少靶材逸至观察窗玻璃上而造成观察窗玻璃被镀膜并影响视野清晰度；
[0027]3.通过设置了反射屏，能够有效减少热量进入到防溅挡筒内部并扩散至观察窗玻璃附近，实现对观察窗玻璃的隔热作用；
[0028]4.通过在底座上开设了冷却水道，冷却水道连通的两个水冷接管，实现对底座的降温，进一步降低整个组件的温度。
附图说明
[0029]图1是本申请实施例中的真空镀膜设备观察窗组件的剖视示意图；
[0030]图2是图1中A处的局部放大图；
[0031]图3是本申请实施例中的真空镀膜设备观察窗组件的整体结构示意图；
[0032]图4是图1中B处的局部放大图；
[0033]图5是图1中C处的局部放大图；
[0034]图6是本申请实施例中的真空镀膜设备观察窗组件位于防溅遮板远离底座一侧的视图。
[0035]图中，1、底座；101、下观察孔；102、冷却水道；2、法兰；201、安装孔；3、观察窗玻璃；4、盖板；401、上观察孔；5、防溅挡筒；6、轴套；601、密封孔；7、遮板轴；8、防溅遮板；901、第一密封圈；902、密封支架；903、端盖；904、密封垫圈；10、反射屏；11、隔环；12、销轴；13、开口销；14、水冷接管；15、减压垫；16、第二密封圈；17、手柄；18、端板。
具体实施方式
[0036]以下结合附图对本申请作进一步详细说明。
[0037]参照图1和图2，本申请提供了一种真空镀膜设备观察窗组件，包括圆柱形的底座1以及同轴栓接在底座1端面上的法兰2，底座1的周面通过焊接等固定方式固定在镀膜室的室壁上；底座1上同轴开设有下观察孔101，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备观察窗组件，其特征在于：包括用于固定在镀膜腔室室壁上的底座(1)、栓接在底座(1)上的法兰(2)以及设置在法兰(2)上的观察窗玻璃(3)，底座(1)上开设有与观察窗玻璃(3)相对的下观察孔(101)，法兰(2)上开设有阶梯状的安装孔(201)；法兰(2)上栓接有用于将观察窗玻璃(3)压紧在安装孔(201)的阶梯踏面上的盖板(4)，盖板(4)上开设有与观察窗玻璃(3)相对的上观察孔(401)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备观察窗组件，其特征在于：底座(1)远离法兰(2)的一侧固定有与下观察孔(101)连通的防溅挡筒(5)；法兰(2)上穿设固定有位于观察窗玻璃(3)一侧的轴套(6)，轴套(6)穿过下观察孔(101)以及防溅挡筒(5)并向底座(1)远离法兰(2)的一侧延伸；轴套(6)内部穿设有与轴套(6)转动连接的遮板轴(7)，遮板轴(7)上固定有能够遮挡防溅挡筒(5)远离底座(1)一端的防溅遮板(8)，遮板轴(7)在防溅遮板(8)上偏心设置。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备观察窗组件，其特征在于：轴套(6)向法兰(2)远离底座(1)的一侧延伸且轴套(6)的该端端面上开设有密封孔(601)，密封孔(601)内部设置有两个环绕在遮板轴(7)上的第一密封圈(901)，两个第一密封圈(901)之间设置有密封支架(902)；轴套(6)上螺接有一个端盖(903)，端盖(903)上设置有用于将第一密封圈(901)压紧在密封孔(601)内部的密封垫圈(904)。4.根据权利要求2所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏艳波，
申请(专利权)人：北京北方华创真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：