本发明专利技术提供一种流体控制装置。流体控制装置(10)具备第一主板(20)、压电元件(30)、第二主板(40)、侧板(50)、第一膜(61)以及第二膜(62)。流体控制装置(10)的泵室(100)由被第一主板(20)、第二主板(40)以及侧板(50)围起来的空间实现。整流部用基座部件(80)配置在第一主板(20)与上述第二主板(40)之间。第一膜(61)配置于第一主板(20)且为可动部相对于固定端成为侧板(50)侧的形状。第二膜(62)配置于整流部用基座部件(80)的主面(802)，且为可动部相对于固定端成为与侧板(50)相反侧的形状。于固定端成为与侧板(50)相反侧的形状。于固定端成为与侧板(50)相反侧的形状。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流体控制装置
[0001]本专利技术涉及利用压电体的流体控制装置。
技术介绍
[0002]以往，针对利用压电体来输送流体的流体控制装置，如专利文献1所示，进行了各种设计。
[0003]专利文献1所示的流体控制装置具备泵室和阀室。阀室具备阀顶板、阀底板以及膜。在阀顶板和阀底板，在各自不重叠的位置形成有贯通孔。阀室通过设置于阀底板的贯通孔而与泵室连通。
[0004]膜配置在阀顶板与阀底板之间。在膜形成有贯通孔。膜的贯通孔的位置与阀顶板的贯通孔重叠。由此，在流体从泵室(阀底板的贯通孔)流入时，流体经过膜的贯通孔及阀顶板的贯通孔向外部送出。另一方面，在流体从阀顶板的贯通孔流入的情况下，由于膜堵塞阀底板的贯通孔，因此流体不会回流到泵室。由此，专利文献1所示的流体控制装置实现整流功能。
[0005]专利文献1：日本特开2017
‑
72140号公报
[0006]然而，在专利文献1所记载的流体控制装置中，在阀室内，流体的流路多次屈曲。因此，不容易获得高流量。
技术实现思路
[0007]因此，本专利技术的目的在于提供一种获得高流量的流体控制装置。
[0008]本专利技术的流体控制装置具备第一主板、第二主板、侧板以及泵室。第一主板具有第一主面和第二主面。第二主板具有第三主面和第四主面，第三主面与第一主面对置。侧板将第一主板与第二主板连接。泵室是由第一主板、第二主板以及侧板围起来的空间。
[0009]第一主板具备中央部、配置于中央部的外周的框部、与框部及中央部连接并将中央部支承为可振动的支承部、以及第一开口。第一开口形成在中央部与框部之间，使泵室与第二主面侧的外部连通。第二主板具备第二开口。第二开口使泵室与第四主面侧的外部连通，配置于与支承部或框部至少部分地重叠的位置。流体控制装置具备压电元件，该压电元件配置于中央部并使中央部振动。流体控制装置具备整流部用基座部件、第一整流部件以及第二整流部件。
[0010]整流部用基座部件为从侧板的内壁突出的形状，配置在第一主板与第二主板之间。第一整流部件配置在第一主板与整流部用基座部件之间，根据中央部的振动，控制第一主板与整流部用基座部件之间的空间中的流体的流动的有无。第二整流部件配置在第二主板与整流部用基座部件之间，根据中央部的振动，与第一整流部件的控制相反地控制第二主板与整流部用基座部件之间的空间中的流体的流动的有无。
[0011]在该结构中，根据第一主板的中央部的振动，切换使泵室与第一开口侧连通而与第二开口侧不连通(断开、分离)的形态、和使泵室与第二开口侧连通而与第一开口侧不连
通(断开、分离)的形态。此时，流体不通过复杂地屈曲的路径，因此流量不易降低。
[0012]根据本专利技术，能够实现获得高流量的流体控制装置。
附图说明
[0013]图1是第一实施方式所涉及的流体控制装置的分解立体图。
[0014]图2(A)是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图，图2(B)是实现整流功能的部分的放大剖视图。
[0015]图3(A)、图3(B)是表示第一主板的中央部以及第一膜的行为的侧面剖视图。
[0016]图4是表示第二实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图。
[0017]图5是表示第三实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图。
[0018]图6(A)是表示第四实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图，图6(B)是实现整流功能的部分的放大剖视图。
[0019]图7(A)、图7(B)、图7(C)、图7(D)以及图7(E)是表示支承部及其周边的构造的第一主板的俯视图。
[0020]图8是表示流体控制装置的派生例的结构的剖视图。
具体实施方式
[0021](第一实施方式)
[0022]参照附图对本专利技术的第一实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图1是第一实施方式所涉及的流体控制装置的分解立体图。图2(A)是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图。图2(B)是实现整流功能的部分的放大剖视图。图3(A)、图3(B)是表示第一主板的中央部以及第一膜的行为的侧面剖视图。此外，在以下各实施方式所示的各图中，为了使说明容易理解，将各个构成要素的形状局部或整体上夸大地记载。另外，为了容易阅读附图，对于能够唯一推断的构成要素，部分地省略附图标记。
[0023](流体控制装置10的结构)
[0024]如图1、图2(A)、图2(B)所示，流体控制装置10具备第一主板20、压电元件30、第二主板40、侧板50、第一膜61、第二膜62、固定部件71、固定部件72以及整流部用基座部件80。侧板50具备侧板51和侧板52。
[0025]第一主板20是俯视观察时的形状为圆形的平板。第一主板20具有圆形的第一主面211和第二主面212。第一主面211与第二主面212相互对置。
[0026]第一主板20具备中央部21、框部22、支承部23以及第一开口230。中央部21的俯视观察时的形状为圆形。框部22为圆环形。框部22沿着中央部21的外周包围中央部21。
[0027]支承部23和第一开口230沿着中央部21的外周端形成，配置在中央部21与框部22之间。第一开口230是贯通第一主板20的第一主面211与第二主面212之间的槽。
[0028]支承部23将中央部21的外周端与框部22的内周端连接。支承部23例如为多个，如果是图1的例子，则沿着中央部21的外周以90
°
的角度间隔配置。在流体控制装置10中，支承部23通过在第一开口230的沿着外周的中途的部位将槽(第一开口230)断开来实现。这里，通过适当地设定支承部23的宽度、形状，中央部21能够相对于框部22振动。换言之，支承部23将中央部21支承为相对于框部22可振动。此外，中央部21的形状优选为圆形，但也可以为
椭圆等大致圆形、多边形。另外，框部22的外形，即第一主板20的外形不限于圆形，能够根据流体控制装置10的外形形状的设计而适当设定。
[0029]另外，第一主板20例如由金属等构成。第一主板20只要是通过后述的压电元件30的应变而使中央部21产生弯曲振动的部件即可。弯曲振动是指，如图3(A)、图3(B)所示，在观察中央部21的侧面时，第一主面211及第二主面212呈波状位移的振动。
[0030]压电元件30具备圆板的压电体和驱动用的电极。驱动用的电极形成于圆板的压电体的两个主面。
[0031]压电元件30配置于第一主板20的中央部21的第二主面212。此时，在俯视观察时，压电元件30的中心与中央部21的中心大致一致。压电元件30通过驱动用的电极被施加驱动信号而应变。由于该应变，中央部21如上述那样振动。
[0032]第二主板40是俯视观察时的形状为圆形的平板。第二主板40优选由几乎不产生弯曲振动的材料、厚度等构成。第二主板40的外形形状是包含第一主板20的外形形状的大小。第二主板40具有圆形的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种流体控制装置，其中，具备：第一主板，具有第一主面和第二主面；第二主板，具有第三主面和第四主面，所述第三主面与所述第一主面对置；侧板，将所述第一主板与所述第二主板连接；以及泵室，由所述第一主板、所述第二主板以及所述侧板围起来，所述第一主板具备中央部、配置于所述中央部的外周的框部、与所述框部及所述中央部连接并将所述中央部支承为可振动的支承部、以及形成在所述中央部与所述框部之间并使所述泵室与所述第二主面侧的外部连通的第一开口，所述第二主板具备第二开口，所述第二开口使所述泵室与所述第四主面侧的外部连通，在沿从所述第一主板向所述第二主板的方向观察时，所述第二开口配置于与所述支承部或所述框部至少部分地重叠的位置，所述流体控制装置具备：压电元件，配置于所述中央部，使所述中央部振动；第一整流部件，在观察装置的截面时配置在所述第一主板与所述第二主板之间，在所述中央部振动时，能够将经由所述第一开口的所述泵室与所述第二主面侧的外部切换为连通状态或者非连通状态；以及第二整流部件，在观察装置的截面时配置在所述第二主板与所述第一整流部件之间，在所述中央部振动时，能够将经由所述第二开口的所述泵室与所述第四主面侧的外部切换为连通状态或者非连通状态，在所述第一整流部件使所述中央部的所述泵室与所述第二主板侧的外部为连通状态时，所述第二整流部件使所述中央部的所述泵室与所述第四主面侧的外部为非连通状态，在所述第一整流部件使所述中央部的所述泵室与所述第二主板侧的外部为非连通状态时，所述第二整流部件使所述中央部的所述泵室与所述第四主面侧的...
【专利技术属性】
技术研发人员：田中伸拓，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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