扩散炉的进料器改良机构制造技术

一种扩散炉的进料器改良机构，包括一主体、一固定座机构、一传动机构及一炉门盖板机构，该主体包含一基座及一主杆，该基座固设于该主杆，该主杆穿设于该基座，该固定座机构装设于该主杆且具有一固定座，该固定座枢设于该固定座机构，该传动机构设置于该基座上且具有一传动杆，该传动杆滑动的设置于该基座，该炉门盖板机构固设于该传动杆远离该主体的一端，该炉门盖板机构具有一炉门盖板，该炉门盖板转动的设置于该炉门盖板机构，借助上述组成，使进料器机构能顺畅的运作，进而提高生产的质量。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种进料器改良机构，特别是指一种用于半导体 制程的扩散炉的进料器机构。
技术介绍
公知扩散炉的进料器机构设置于该扩散炉的炉膛前方，且与一轨 道相配合，该轨道固设有一带动杆，该带动杆连接于该进料器机构， 可借助该轨道的运行带动该进料器机构移动。该扩散炉另设有一承载 臂，用以承载扩散炉欲进料的对象。上述的进料器机构包括一主体、 一支撑连杆机构、 一固定座、一 传动机构及一炉门盖板，该支撑连杆机构装设于主体一侧并连接于该 轨道的带动杆，该固定座固设于主体下方，可供该承载臂穿设，该承 载臂承载有欲送入该扩散炉的料件，该传动机构装设于该主体且具有 一可滑动的传动杆，该炉门盖板固设于该传动杆一端；借助上述组成， 使进料器机构可将料件送入炉膛的炉管内进行加热。但，公知的进料器机构具有下列的缺点1 、固定座因缺乏缓冲的活动机构，容易使进料器机构受损。2、 传动机构因缺乏定位结构，在前、后移动时，容易产生左、 右晃动，并带动炉门盖板跟着旋转，造成炉门盖板偏位而无法密合于 炉管开口。3、 支撑连杆机构只能相对该带动杆做上、下、左、右移动的调 整，无法调整角度的配合于带动杆，使用时容易产生机械应力，使进 料器机构受损。4、 炉门盖板机构为不可活动式，于制程生产中，容易因为炉管 与炉门盖板平整度的误差，造成炉门盖板与炉管密合度不良，影响制 程温度。于是，本技术设计人有感上述问题的可改善之处，乃潜心研 究并配合学理的运用，而提出一种设计合理且有效改善上述问题的本 技术的技术方案。技术内審本技术的主要目的，在于提供一种扩散炉的进料器改良机构， 其具有活动式的固定座，可产生缓冲的效果，并设置有可转动的炉门 盖板机构，让炉门盖板与炉管间具有较佳的密合度，进而使得进料器 机构运作更为顺畅、稳定，令生产质量得以提髙。本技术的另一目的，te于提供一种扩散炉的进料器改良机构， 于传动机构设置一定位结构，防止该炉门盖板产生旋转而导致偏位， 且令支撑连杆机构具有可调整角度的功能，避免进料器机构受损。为了达到上述的目的，本技术提供一种扩散炉的进料器改良机构，包括 一主体，其包含一基座及一主杆，该基座固设于该主杆， 该主杆穿设于该基座； 一固定座机构，其装设于该主杆且具有一固定 座，该固定座枢设于该固定座机构； 一传动机构，其设置于该基座上 且具有一传动杆，该传动杆滑动的设置于该基座；以及一炉门盖板机 构，其固设于该传动杆远离该主体的一端，该炉门盖板机构具有一炉 门盖板，该炉门盖板转动的设置于该炉门盖板机构。本技术具有以下有益效果本技术可提高进料器机构使 用效能，让进料器机构较易于调整，减少维修工时，并确保生产作业 时，进料器机构能稳定的运作，进而提高生产质量良率，降低机构故 障率。为使能更进一步了解本技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下 有关本技术的详细说明与附图，然而所附附图仅提供参考与说明 用，并非用来对本技术加以限制。附图说明图1为本技术的立体组合图。图2为本技术的支撑连杆机构结合于主杆的示意图。 图3为本技术的固定座机构结合于主杆的示意图。 图4为本技术的定位导杆向后移动时的示意图。 图5为本技术的炉门盖板机构的侧视图。 图6为本技术的炉门盖板机构的俯视图。 图7为本技术的炉门盖板机构的动作示意图。 主要元件附图标记说明 1 0 主体1 1 基座111 顶板1 1 2 侧板112 1 导槽113 轴承1 1 4 螺丝 1 2 主杆12 1 开槽 12 2 穿孔1 2 3 固定孔 1 3 螺丝14 第一钢板15 第二钢板1 6 弹片2 0 支撑连杆机构2 1 摆臂2 1 1 通孔2 12 夹槽 2 2 插杆2 3 螺柱2 4 螺帽3 0 固定座机构3 1 固定座3 1 1 盖板3 111 连接杆 3 12 底座 313 接合槽3 2 固定杆4 0 传动机构4 1 传动杆 4 2 挡块4 3 弹簧4 4 定位导杆5 0 炉门盖板机构5 1 转接座5 11 凸部5 2 枢接件5 2 1 凹部5 2 2 衔接部5 3 枢轴件5 4 炉门盖板5 4 1 凹槽5 4 2 固定部5 4 2 1 长槽5 5 螺丝具体实施方式请参阅图1,本技术扩散炉的进料器改良机构包括 一主体 1 0 、 一支撑连杆机构2 0 、 一固定座机构3 0 、 一传动机构4 0及 一炉门盖板机构'5 0 。该主体l 0包含一基座1 l及一主杆l 2,该基座l l具有一顶 板l1l及连接于该顶板l1l两侧向下平行延伸的二侧板l12， 该顶板1 1 1中央处设置有一螺丝114，该螺丝1 1 4贯穿该顶板1 1 l伸入该二侧板l 1 2之间。该二侧板l 1 2呈相对设置，该二 侧板l12近底端处分别固设有一轴承113，该二轴承l13呈相 对的设置。靠近该固定座机构3 0的侧板1 1 2右侧面凹设有一导槽112 1 (请参阅图4)，该导槽l 1 2 l贯穿至该侧板l 1 2之前、 后端面。该主杆1 2贯穿该基座1 1的二侧板112，该基座1 1借助该 顶板1 1 1的螺丝1 1 4而锁固于该主杆1 2中段位置。该主杆1 2 前端面开设有一呈水平的开槽12 1，该开槽1 2 1往该主杆1 2内 部延伸一段适当距离，且连接一穿孔l 2 2，该穿孔l 2 2水平的贯 穿该主杆l 2，用以与该支撑连杆机构2 0连接。该主杆l 2另具有一呈上、下贯穿的固定孔l 2 3,该固定孔l2 3位于该穿孔1 2 2与该基座1 l之间。该主杆1 2后端固设有一第一钢板1 4 ，该第一钢板1 4后端间 隔的设有一较该第一钢板l 4面积为大的第二钢板1 5，该第一钢板 14与第二钢板15之间以一弹片16相连接。请参阅图2，该支撑连杆机构2 0包含一摆臂2 l及一插杆2 2， 该摆臂2 l呈一矩形体，该摆臂2 l近两端处各穿设有一通孔2 1 1， 该二通孔2 1 1皆连接一夹槽2 12,该夹槽2 1 2贯穿至该摆臂2 1两端面。该插杆2 2 —端插置于该主杆1 2的穿孔1 2 2 (请参阅图1)， 并以一螺丝l 3与该主杆1 2内的螺孔(图略)配合迫紧该开槽l 2 1 ，使该插杆2 2 —端固设于该主杆1 2 。该插杆2 2另一端插置于该摆臂2 1的其中一通孔2 1 1 ，使得 该摆臂2l可通过该通孔21l而进行角度的调整，当所需的角度确 定后，经过设置于该摆臂2 1两侧的螺柱2 3与螺帽2 4的配合而迫 紧该夹槽2 12,使得该摆臂2 1能装设于该插杆2 2另一端，从而 使得支撑连杆机构2 0装设于该主体1 O近前端处的左侧。请参阅图3，该固定座机构3 0包含一固定座3 l及一固定杆3 2,该固定座3 l具有一盖板3 1 l及一底座3 1 2，该盖板3 1 1 顶端向上凸设有一连接杆3 111，该盖板3 1 1盖合并锁固于该底 座3 1 2上缘，该盖板3 1 l与该底座3 1 2之间形成一接合槽3 1 3 (请再参阅图1)，该接合槽3 1 3贯穿至该固定座3 l前端面及后 端面。该固定杆3 2插置于该主杆1 2的固定孔1 2 3，并螺锁固定于 该主杆l 2上，使得该固定座机构3 0可借该固定杆3 2装设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扩散炉的进料器改良机构，其特征在于，该扩散炉的进料器改良机构包括：一主体，其包含一基座及一主杆，该基座固设于该主杆，该主杆穿设于该基座；一固定座机构，其装设于该主杆且具有一固定座，该固定座枢设于该固定座机构；一传动机构，其设置于该基座上且具有一传动杆，该传动杆滑动的设置于该基座；以及一炉门盖板机构，其固设于该传动杆远离该主体的一端，该炉门盖板机构具有一炉门盖板，该炉门盖板转动的设置于该炉门盖板机构。

【技术特征摘要】
1. 一种扩散炉的进料器改良机构，其特征在于，该扩散炉的进料器改良机构包括一主体，其包含一基座及一主杆，该基座固设于该主杆，该主杆穿设于该基座；一固定座机构，其装设于该主杆且具有一固定座，该固定座枢设于该固定座机构；一传动机构，其设置于该基座上且具有一传动杆，该传动杆滑动的设置于该基座；以及一炉门盖板机构，其固设于该传动杆远离该主体的一端，该炉门盖板机构具有一炉门盖板，该炉门盖板转动的设置于该炉门盖板机构。2、 如权利要求l所述的扩散炉的进料器改良机构，其特征在于， 该基座具有相对设置的二侧板，该二侧板分别固设有一轴承，该二轴 承呈相对的设置，该传动杆通过该二轴承而滑动的设置于该基座。3、 如权利要求l所述的扩散炉的进料器改良机构，其特征在于， 该主杆穿设有一固定孔，该固定座机构具有一固定杆，该固定座凸设 一连接杆，该连接杆枢接于该固定杆，该固定杆插置于该主杆的固定 孔。4 、如权利要求1所述的扩散炉的进料器改良机构，其特征在于， 该传动机构包含一挡块及一弹簧，该挡块固设于该...

【专利技术属性】
技术研发人员：林政毅，詹英杰，李训敏，
申请(专利权)人：敦南科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]