本实用新型专利技术提供一种能够在获得充分长度的行程的同时缩短探针的自由长度的检查装置。检查装置(10)具备第1弹性体(100)及第1柱塞(110)。第1弹性体(100)划分形成有孔(102)。第1柱塞(110)与第1弹性体(100)重叠。在孔(102)的内壁形成有导电膜(104)。第1柱塞(110)与导电膜(104)电连接。膜(104)电连接。膜(104)电连接。
【技术实现步骤摘要】
检查装置
[0001]本技术涉及检查装置。
技术介绍
[0002]目前正在开发用于对集成电路(IC)等电子装置的特性进行检查的多种检查装置。如专利文献1所记载，检查装置包括插座和插入插座中的探针。探针具有使用弹簧施力的柱塞。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2017
‑
76587号公报
技术实现思路
[0006]技术要解决的课题
[0007]在高频带检查的需求等各种需求中，存在希望缩短探针的自由长度的需求。例如如专利文献1所记载，在柱塞被弹簧施力的情况下，若探针的自由长度缩短，则存在无法获得充分长度的行程的情况。
[0008]本技术的目的之一在于在获得充分长度的行程的同时缩短探针的自由长度。本技术的其他目的根据本说明书的记载可以明确。
[0009]用于解决课题的手段
[0010]本技术的一方案为一种检查装置，其包括：
[0011]第1弹性体，其划分形成有孔；以及
[0012]柱塞，其与所述第1弹性体重叠，
[0013]在所述孔的内壁上形成有导电膜，
[0014]所述柱塞与所述导电膜电连接。
[0015]技术效果
[0016]根据本技术的上述方案，能够在获得充分长度的行程的同时缩短探针的自由长度。
附图说明
[0017]图1是实施方式1的检查装置的俯视图。
[0018]图2是图1的A
‑
A
′
剖视图。
[0019]图3是示出实施方式1的检查装置的详细的立体剖视图。
[0020]图4是用于说明实施方式1的检查装置的制造方法的一例的图。
[0021]图5是变形例的检查装置的立体剖视图。
[0022]图6是实施方式2的检查装置的立体剖视图。
[0023]附图标记说明
[0024]10
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检查装置
[0025]10A
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检查装置
[0026]10B
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检查装置
[0027]100
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第1弹性体
[0028]100B
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插座
[0029]102
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孔
[0030]102B
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孔
[0031]104
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导电膜
[0032]104B
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导电膜
[0033]106A
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第2弹性体
[0034]106B
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第2弹性体
[0035]110
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第1柱塞
[0036]110B
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第1柱塞
[0037]112
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第1顶端接触件
[0038]112B
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第1顶端接触件
[0039]114
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第1柱状部
[0040]114B
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第1柱状部
[0041]116
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第1承托部
[0042]116B
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第1承托部
[0043]120
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第2柱塞
[0044]120B
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第2柱塞
[0045]122
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第2顶端接触件
[0046]122B
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第2顶端接触件
[0047]124
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第2柱状部
[0048]124B
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第2柱状部
[0049]126
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第2承托部
[0050]126B
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第2承托部
[0051]130
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第1销板
[0052]130B
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第1销板
[0053]132
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第1贯通孔
[0054]132B
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第1贯通孔
[0055]140
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第2销板
[0056]140B
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第2销板
[0057]142
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第2贯通孔
[0058]142B
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第2贯通孔
[0059]150
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框架
[0060]152
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开口
[0061]510
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下模
[0062]512
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第1凹部
[0063]520
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上模
[0064]522
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第2凹部
[0065]Z
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铅直方向
具体实施方式
[0066]以下，使用附图说明本技术的实施方式。需要说明的是，在全部附图中，对同样的构成要素标注相同的附图标记，并适当省略说明。
[0067]在本说明书中，只要没有特别说明，“第1”、“第2”、“第3”等序数词仅是为了区分名称相同的构成而标注，并非表示顺序、重要度等结构的特定特征。
[0068](实施方式1)
[0069]图1是实施方式1的检查装置10的俯视图。图2是图1的A
‑
A
′
剖视图。图3是示出实施方式1的检查装置10的详细的立体剖视图。
[0070]在图1中，表示铅直方向Z的带黑点的空心圆表示从纸面的里侧朝向近前的方向为铅直方向Z的向上方向，且从纸面的近前朝向里侧的方向为铅直方向Z的向下方向。在图2及图3中，以表示铅直方向Z的箭头表示的方向为铅直方向Z的向上方向。另外，以表示铅直方向Z的箭头表示的方向的相反方向为铅直方向Z的向下方向。
[0071]如图1及图2所示，检查装置10包括多个第1弹性体100及框架150。如图3所示，检查装置10还包括多个第1柱塞110、多个第2柱塞120、第1销板130及第2销板140。各第1柱塞110具有第1顶端接触件112、第1柱状部114及第1承托部116。各第2柱塞120具有第2顶端接触件122、第2柱状部124及第2承托部126。第1弹性体100中的后述的孔102的周围等第1弹性体100的至少一部分、后述的导电膜104、各第1柱塞110、各第2柱塞120作为探针发挥作用。各第1柱塞110和各第2柱塞120由第1弹性体100的孔102的周围等至少一部分向铅直方向Z施力。需要说明的是，在图1及图2本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.检查装置，其特征在于，包括：第1弹性体，其划分形成有孔；以及柱塞，其与所述第1弹性体重叠，在所述孔的内壁上形成有导电膜，所述柱塞与所述导电膜电连接。2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述柱塞与所述孔重叠。3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述孔为中空。4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述孔通过第2弹性体而成为实心。5.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：星野智久，
申请(专利权)人：株式会社友华，
类型：新型
国别省市：
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