【技术实现步骤摘要】
一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统
[0001]本技术属于三氯氢硅尾气回收领域,具体涉及一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统。
技术介绍
[0002]在多晶硅行业生产工艺中,三氯氢硅是一种重要的化工原料,而三氯氢硅的生产过程,所产生尾气的综合治理成为三氯氢硅生产是否环保节能的标志。
[0003]在三氯氢硅或多晶硅生产过程中,大量含有各种氯硅烷和氯化氢的气体需要排放。由于氯硅烷及氯化氢的特殊性质,需投入大量资金进行尾气的处理,同时也造成生产过程中三氯氢硅收率降低。
[0004]只有既环保又节能的处理好生产过程中的三氯氢硅尾气,才真正能够做到节约生产,清洁生产。
技术实现思路
[0005]本技术所要解决的问题是:提供一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统。
[0006]本技术的技术方案是:一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统,包括:PSA系统、原料气管路、氢气管路、浓缩气管路、处理器、若干电控阀、若干流量传感器和若干压力传感器;处理器分别与电控阀、流量传感器和压力传感器连接;原料气管路、氢气管路和浓缩气管路上分别设置有电控阀、流量传感器和压力传感器。
[0007]进一步的是,本技术还包括真空泵、缓冲罐和压缩机;真空泵、缓冲罐和压缩机依次设置在浓缩气管路上。
[0008]进一步的是,本技术还包括在线分析仪,在线分析仪分别设置在氢气管路和浓缩气管路上。
[0009]进一步的是,本技术的电控阀型号为:TMF58
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50HB;流量传感器型号LZB
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统,包括PSA系统、原料气管路、氢气管路和浓缩气管路;其特征在于,包括:处理器、若干电控阀、若干流量传感器和若干压力传感器;处理器分别与电控阀、流量传感器和压力传感器连接;所述原料气管路、所述氢气管路和所述浓缩气管路上分别设置有电控阀、流量传感器和压力传感器。2.如权利要求1所述的一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统,其特征在于,还包括真空泵、缓冲罐和压缩机;真空泵、缓冲罐和压缩机依次设置在浓缩气管路上。3.如权利要求1或2所述的一种三氯氢硅尾气回收自动控制系统,其特征在于,还包括在线分析仪,在线分析仪分别设置在氢气管路和浓缩气管路上。4....
【专利技术属性】
技术研发人员:詹家聪,汪兰海,钟雨明,陈运,牟树荣,
申请(专利权)人:四川天采科技有限责任公司,
类型:新型
国别省市:
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