高粘度材料用成形模、成形装置及成形方法制造方法及图纸

一种使高粘度材料加热熔化后成型的成型模，表面具有容纳高粘度材料的成型用凹部，由高定向性石墨构成。本发明专利技术在将高粘度材料成型为规定形状时，可简便迅速地得到形状和大小正确的成型物。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及高粘度材料成形时所用的成形模、使用这种成形模的成形装置、以及使用这种成形模的成形方法。作为将高粘度材料成形后使用的技术示例，有一种在半导体IC中制作凸出状(バンプ)电极的技术。这种技术是使成为凸出状电极的金属材料与粘合剂一起成为高粘度的混合液状态，并通过喷嘴每次吐出规定的量，使其在底板上成形为规定的电极形状。与传统的用照相制版技术或蚀刻技术制作凸出状电极的方法相比，这种方法操作简单，可减少工序。另外，为了芯片焊接等目的，要使高粘度的粘接剂以点状附在底板上。在这种场合也使用与上述相同的喷嘴，使高粘度粘接剂成形为规定的点状。在上述的制作凸出状电极等的技术中，高粘度材料的成形形状非常重要。要求成形物的形状和大小都符合规定。然而，粘度高的材料液体流动性极差，很难精密地控制喷嘴的吐出量。因此，成形后的高粘度材料的形状和大小往往不均匀。而且在制作前述凸出状电极的场合，一块IC底板上有时要设置数十甚至上百个凸出状电极，每制作一个凸出状电极都要在变换位置后使喷嘴吐出高粘度材料液体，作业非常复杂。特别是，流动性极差的高粘度材料液体在阀门打开或施加压力后不能立刻从喷嘴吐出，反之，在应该结束喷嘴的吐出时又不能立刻结束。因此，每次成形都需要较长时间，在前述那种需反复进行多次成形的场合，操作性极差。为了解决上述问题，曾有人提出改良喷嘴形状和构造的方案，但并不能完全解决问题，反而留下了喷嘴等构造复杂的新问题。鉴于上述情况，本专利技术的目的在于在使前述的高粘度材料成形为规定形状时，通过简便易行的操作在正确的位置得到具有正确形状和大小的成形物。本专利技术的高粘度材料用成形模是使高粘度材料加热熔化后成形的成形模。表面有容纳高粘度材料的成形用凹部，由高定向性石墨组成。而且高定向性石墨可以从具有成形用凹部的表面向相反的面定向。所述成形模可以是向面方向定向的高定向性石墨片层叠而成的层叠体，并在由所述片的端面排列而成的表面具有成形用凹部。片的层叠体可以通过耐热性带状体捆扎固定为一体。本专利技术的高粘度材料用成形装置具有所述高粘度材料用成形模和高粘度材料供给装置及加热冷却装置。高粘度材料供给装置将高粘度材料供给成形模的成形凹部。加热冷却装置对成形模的与具有成形用凹部的表面相反的面选择性地进行加热和冷却。另外，高粘度材料可以是粉状体。在这种场合，高粘度材料供给装置可以配备丝网印刷装置。丝网印刷装置具有丝网印刷版和涂刷器。丝网印刷版设置于成形模的具有成形用凹部的表面上方，在与成形用凹部对应的位置具有粉状体通过部。涂刷器沿着丝网印刷版推动提供给丝网印刷版上面的粉状体。高粘度材料可以是能加热熔化的线状体。在这种场合，高粘度材料供给装置可以具备线状体供给装置。线状体供给装置把线状体的前端送入成形模的具有成形用凹部的表面上方配置的成形用凹部内。加热冷却装置可以具备与成形模的另一面选择性地自由接触的加热体及冷却体。本专利技术的高粘度材料的成形方法采用所述高粘度材料用成形模，具有以下工序。即，向成形模的成形用凹部供给粉状体或线状体高粘度材料的工序。使高温加热体接触成形模的与具有成形用凹部的表面相反的另一面，将成形用凹部内的高粘度材料加热熔化后成形的工序。使低温冷却体接触成形模的与具有成形用凹部的表面相反的另一面，将在前一工序中得到的高粘度材料成形物冷却的工序。另外，高粘度材料可以是金属材料与粘合剂的混合粉状体。高粘度材料可以是凸出状电极用材料。高粘度材料可以是电介质材料或绝缘材料。高粘度材料可以是光学部件材料。高粘度材料可以是引线接合用线状体。本专利技术的高粘度材料用成形模由高定向性石墨组成，有优良的导热性。因此，当向成形用凹部供给高粘度材料并使其加热熔化时，可通过成形模对高粘度材料进行迅速有效的加热。而在对经过加热熔化后成形的高粘度材料成形物进行冷却时，又可以通过成形模迅速有效地冷却。由于高定向性石墨还具有良好的耐热性，故还适用于必须用高温熔化的高粘度材料。另外，如果高定向性石墨从具有成形用凹部的表面向相反的一面定向，则高定向性石墨沿其定向方向的导热系数特别大，故通过从成形模的所述相反面进行加热或冷却，可以将所述表面的成形用凹部内的粉状体或成形物迅速有效地加热或冷却。高定向性石墨一般是制造成薄片状态。如果把这种高定向性石墨片层叠为层叠体，就容易构成有一定厚度的成形模。在面方向定向的高定向性石墨片层叠体的整体也成为向片的面方向良好定向的状态。如果在由片的端面排列而成的表面设有成形用凹部，就形成定向性极好的成形模，即，从具有成形用凹部的表面到相反的一面，高定向性石墨的定向一致，从而使从表面到反面的导热性提高。如果高定向性石墨片的层叠体是用耐热性带状体捆扎固定为一体的，则即使不把构成层叠体的片一一粘接也可容易地制成成形模。由于成形模要进行高温加热或反复进行急剧加热冷却，故若采用粘接方法，会使各片之间的粘接度下降，而若用耐热性带状体捆扎，则可充分承受高温加热和急剧冷却。本专利技术的高粘度材料用成形装置具备所述高粘度材料用成形模和高粘度材料供给装置及加热冷却装置，故可连续进行向成形用凹部供给高粘度材料、高粘度材料的加热熔化及成形以至冷却的一连串工序。另外，如果高粘度材料是粉状体，则容易处理，加热熔化和成形也简便易行。在这种场合，如高粘度材料供给装置具备装有丝网印刷版和涂刷器的丝网印刷装置，则能向成形模的成形用凹部内可靠有效地供给必要量的粉状体。即使在成形模上设有多个成形用凹部，也能同时对多个成形用凹部均等地供给粉状体。如果高粘度材料是能加热熔化的线状体，就不会象粉状体那样四处飞扬，便于保管和携带。在这种场合，一旦高粘度材料供给装置把线状体的前端送入成形用凹部内，即可在成形用凹部内把必要长度的那部分线状体加热熔化后成形。而不必担心高粘度材料会漏到成形用凹部的外面。且线状体的供给装置构造简单。如果加热冷却装置具备可与成形模的反面选择性地自由接触的加热体和冷却体，就不必再在由高定向性石墨构成的成形模内部设置复杂的加热装置和冷却装置。使成形模容易制造。一旦使加热体接触成形模，即可迅速开始加热，一旦使加热体离开成形模并使冷却体与之接触，即可迅速开始冷却，故可迅速地进行加热和冷却的转换，可提高作业效率。本专利技术的高粘度材料成形方法是以粉状体或线状体的状态向成形模的成形用凹部内供给高粘度材料的，故与以液体状态供给高粘度材料的方法相比，本专利技术的向成形模供给材料的方法要简单得多。而且可正确设定高粘度材料的供给量。如果使加热体接触成形模的与成形用凹部相反的另一面，则经过导热性优良的高定向性石墨组成的成形模，表面的成形用凹部内的粉状体被迅速加热熔化，并按照成形用凹部的形状而成形。如果用冷却体取代加热体而与成形模接触，则成形用凹部内的成形物迅速冷却并维持规定的成形形状。冷却后的成形物可从成形模中取出自由利用。另外，如果高粘度材料是金属和粘合剂的混合粉状体，则可简单有效地制造出为制作金属烧结品所需的成形物或成为凸出状电极的成形物。如果高粘度材料是凸出状电极用材料，则可简单有效地制作凸出状电极。如果高粘度材料是介质材料或绝缘材料，则可简单有效地制作为各种电子装置等所利用的电介质部件或绝缘部件。如果高粘度材料是光学部件材料，则可简单有效地制作为各种光学装置等所利用的光学部件。如果高粘度材料是引线本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高粘度材料用成形模，其特征在于，是使高粘度材料加热熔化后成形的成形模，表面具有容纳所述高粘度材料的成形用凹部，并由高定向性石墨组成。２．根据权利要求１所述的高粘度材料用成形模，其特征在于，所述高定向性石墨从具有所述成形用凹部的表面向相反的一面定向。

【技术特征摘要】
JP 1995-1-10 1702/951.一种高粘度材料用成形模，其特征在于，是使高粘度材料加热熔化后成形的成形模，表面具有容纳所述高粘度材料的成形用凹部，并由定向性石墨组成。2.根据权利要求1所述的高粘度材料用成形模，其特征在于，所述定向性石墨从具有所述成形用凹部的表面向相反的一面定向。3.根据权利要求2所述的高粘度材料用成形模，其特征在于，是由在面方向定向的定向性石墨片层叠而成的层叠体，且在所述片的端面排列而成的表面具有所述成形用凹部。4.根据权利要求3所述的高粘度材料成形模，其特征在于，所述片的层叠体用耐热性带状体捆扎固定为一体。5.一种高粘度材料成形装置，其特征在于，具有高粘度材料用成形模、向所述成形模的所述成形用凹部供给所述高粘度材料的高粘度材料供给装置、对所述成形模的与具有所述成形用凹部的表面相反的另一面选择性地进行加热和冷却的加热冷却装置，所述成形模是使高粘度材料加热熔化后成形的成形模，表面具有容纳所述高粘度材料的成形用凹部，并由定向性石墨组成。6.根据权利要求5所述的高粘度材料成形装置，其特征在于，所述成形模的所述定向性石墨从具有所述成形用凹部的表面向相反的一面定向。7.根据权利要求6所述的高粘度材料用成形装置，其特征在于，所述成形模是由在面方向定向的定向性石墨片层叠而成的层叠体，且在所述片的端面排列而成的表面具有所述成形用凹部。8.根据权利要求7所述的高粘度材料成形装置，其特征在于，所述成形模的所述片的层叠体用耐热性带状体捆扎固定为一体。9.根据权利要求5所述的高粘度材料成形装置，其特征在于，所述高粘度材料是粉状体，且所述高粘度材料供给装置具有丝网印刷装置，所述丝网印刷装置包括设于所述成形模的具有所述成形用凹部的表面上方并在与所述成形用凹部对应的位置设有粉状体通过部的丝网印刷版、以及把供给所述丝网印刷版上面的所述粉状体沿所述丝网印刷版推动的涂刷器。10.根据权利要求5所述的高粘度材料用成形装置，其特征在于，所述高粘度材料是...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上孝夫，池田顺治，森和弘，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]