干燥装置以及干燥方法制造方法及图纸

本发明专利技术的目的是使ＩＰＡ蒸汽的状态稳定，缓解甚至消除干燥不良现象。在设于处理槽（１１）上方的开口部（２２）两侧相对设置喷嘴（１３）以及排气件（１４）。处理槽（１１）的侧壁随着从下方附近接近开口部（２２）而向内侧圆滑弯曲。喷嘴（１３）将氮气供给装置提供的氮气喷向排气件（１４）的排气口，并形成覆盖开口部（２２）的喷流（２１）。由于处理槽（１１）的侧壁弯曲，喷流（２１）可有效发挥屏障的功能。所以，不再需要传统装置上必需的冷却蛇形管。因此，消除了因冷却蛇形管而引起的ＩＰＡ蒸汽（５）状态的不稳定性。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
专利技术的详细说明本专利技术涉及适合干燥半导体薄片的干燥技术，特别涉及为控制干燥不良、实现装置小型化及低成本化而进行的改进。
技术介绍
附图说明图16是作为本专利技术背景的传统干燥装置构成的正断面图。该干燥装置151是以半导体薄片的干燥为目的而构成的装置。在装置151上，设有上方开口的处理槽171。在处理槽171侧壁上方部分的内侧，沿处理槽171的侧壁安装冷却蛇形管162。冷却蛇形管162采用石英管，冷却水在其内部流动。在处理槽171底部的正下方，设置加热器170。并且，在处理槽171的内部——底部与上方开口端之间的位置，固定接受器皿166。在该接受器皿166的底部，连接排水用的配管180。另外，在处理槽171的上部，设有灭火喷嘴172，以便在处理槽171内部起火时喷出灭火用气体。在使用装置151的时候，首先，在处理槽171的内部，注入IPA液167(异丙醇)。调整处理槽171的深度使液面达不到接受器皿166的底部。而且，使冷却水在冷却蛇形管162的内部流动。打开加热器170，加热IPA液167。结果，IPA液167被气化，产生IPA蒸汽165。该IPA蒸汽165充满处理槽171的内部。IPA蒸汽165在冷却蛇形管162附近被冷却凝结。即，冷却蛇形管162可起到防止IPA蒸汽165漏到处理槽171外面的作用。因此，在处理槽171的内部，在底部附近的液体储存部169内储存IPA液167；而在蒸汽填充部168内，充满IPA蒸汽165。蒸汽填充部168是从液体储存部169的上方直到设置冷却蛇形管162附近的空间。在蒸汽填充部168内充满IPA蒸汽165后，开始对作为处理对象的半导体薄片163进行处理。即，将多块半导体薄片163和装载它们的容器164在水洗处理完后用保持吊臂161吊下并从处理槽171的上方插入蒸汽填充部168内。如图16所示那样，装有半导体薄片163的容器164由保持吊臂161保持在接受器皿166正上方的位置。这样，充满蒸汽填充部168的IPA蒸汽165慢慢凝结溶入到附着在半导体薄片163及容器164表面的水滴中。其结果是将水滴实质上变成了IPA的液滴，从半导体薄片163和容器164的表面滑落下来。这样，就实现了被水滴润湿的半导体薄片163和容器164的干燥。滑落下来的IPA液滴被接受器皿166回收，通过配管180排到外部。当干燥处理完后，容器164被保持吊臂161拉上取到处理槽171的外面。之后，将取到处理槽171外面的容器164送到下一个处理工序。而在处理槽171内，放入新的半导体薄片163和容器164。这样，可反复地进行半导体薄片163和容器164的干燥处理。专利技术解决的课题然而，如上所述那样，在传统装置151上，是通过采用有冷却水流动的冷却蛇形管162冷却IPA蒸汽165，来防止IPA蒸汽165漏到处理槽171外部的。因此，存在这样的问题，即，IPA蒸汽165对于流过冷却蛇形管162的冷却水的温度及流量的影响很敏感。也即是，当冷却水的条件改变时，随之，蒸汽填充部168的容积、和IPA蒸汽165的浓度等IPA蒸汽165的状态参数会改变。一旦IPA蒸汽165的状态改变，凝结在半导体薄片163和容器164表面的IPA蒸汽165的量发生变化。其结果是产生不能充分干燥的干燥不良现象。而这是导致装有半导体薄片163的半导体装置合格率低下的主要原因之一。另外，在处理槽171内必须有多余的空间用于设置冷却蛇形管162，这是阻碍装置小型化的主要原因。并且，存在这样的问题为了防止金属污染到半导体薄片163，冷却蛇形管162采用石英管，而石英管造价高，因此，装置的制造成本高。而且，还存在这样的问题由于采用石英管制作的冷却蛇形管162结构复杂，在发生故障时装置的修复需要较长的时间以及较高的费用。该专利技术的目的是为解决传统技术中的上述问题而提供的一种干燥技术，在抑制干燥不良的同时，实现小型化、低成本化以及可迅速修复的功能。解决课题的方法第1专利技术的装置是通过储存并加热上述水溶性的溶解液，使从上述溶解液中产生的蒸汽在处理对象表面凝结来对该处理对象表面进行干燥的干燥装置。在该干燥装置上，设有可储存溶解液的容器状处理槽、可加热储存在上述处理槽内的上述溶解液的加热器、以及在上述开口部两侧相对设置的喷嘴及排气设备。上述处理槽规定向上开口的开口部在上面。而上述排气设备规定排气口的开口朝向上述喷嘴；上述喷嘴，在接受气体供给时，形成朝向上述排气口并覆盖上述开口部的上述气体的喷流；上述排气设备可将通过上述排气口吸进的上述气体排向外部；上述处理槽，设有随着从下方接近上述开口部而向内侧圆滑弯曲的侧壁。第2专利技术的装置，是在第1专利技术的干燥装置上，进一步设有可自由开闭地覆盖上述开口部的盖。第3专利技术的装置，是在第1专利技术或第2专利技术的干燥装置上，进一步设有切换阀。该切换阀，其输出方连通上述喷嘴，并可自由切换地选择多个输入方中的一方连通输出方。第4专利技术的装置，是在第3专利技术的干燥装置上，进一步设有供给惰性气体的惰性气体供给设备、供给灭火用气体的灭火用气体供给设备、监测上述处理槽内火灾发生并将所定信号输出的传感器、以及控制器。该控制器根据上述传感器输出的信号控制上述切换阀的切换动作。而上述多个输入方中的一方连接上述惰性气体供给设备，上述多个输入方中的另一方连接上述灭火用气体供给设备；上述控制器在收到信号时，控制上述切换阀，将上述切换阀选择的输入方从连接上述惰性气体供给设备的输入方切换到连接上述灭火用气体供给设备的输入方。第5专利技术的装置，是在第1专利技术至第3专利技术的任何一项专利技术的干燥装置上，上述喷嘴在接受气体供给时，可自由切换选择生成下面两种气体喷流中的任何一种喷向上述排气口并覆盖上述开口部的上述气体的喷流、以及喷向上述处理槽内部的上述气体的喷流。第6专利技术的装置，是在第5专利技术的干燥装置上，上述喷嘴设有内侧喷嘴构件、装在该内侧喷嘴构件外侧的外侧喷嘴构件；上述内侧喷嘴构件在内部规定了从单一的流入口分为两个流出口的流路；上述外侧喷嘴构件规定了两个开口部；上述内侧喷嘴构件与上述外侧喷嘴构件的一方相对另一方可以自由转动，根据转动的位置只选择上述内侧喷嘴构件的上述两个流出口的任何一个与上述外侧喷嘴构件的上述两个开口部的任何一个接合；第7专利技术的装置，是在第5专利技术或第6专利技术的干燥装置上，进一步设有监测上述处理槽内火灾发生并将预定信号输出的传感器、以及控制器，该控制器根据上述传感器输出的信号控制上述喷嘴的切换动作；上述控制器在收到信号时，控制上述喷嘴，将向上述排气口的喷流切换到向上述处理槽内部的喷流。第8专利技术的装置，是在第3专利技术的干燥装置上，进一步设有供给常温惰性气体的常温气体供给设备、供给冷却惰性气体的冷却气体供给设备、以及控制上述切换阀切换动作的控制器；上述多个输入方中的一方连接上述常温惰性气体供给设备、上述多个输入方中的另一方连接上述冷却惰性气体供给设备；上述控制器只在上述处理对象放入上述处理槽内部时，控制上述切换阀使上述喷嘴生成的上述喷流变成冷却后的上述惰性气体的喷流。第9专利技术的装置，是在第4专利技术或第8专利技术的干燥装置上，设置了多个设有上述处理槽、上述加热器、上述喷嘴、上述排气设备、以及上述切换阀的机组单元；还设置了分为两个分支的配管；两种气体供给设备是单独分开的，并且本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干燥装置，该干燥装置通过储存并加热水溶性的溶解液（７），使从上述溶解液中产生的蒸汽（５）在处理对象（３）表面凝结来对该处理对象表面进行干燥，其特征在于：在该干燥装置上，设有在上面的规定向上开口的开口部（２２）的且可储存溶解液的容器状处理槽（１１）、可加热储存在上述处理槽内的上述溶解液的加热器（１０）、以及在上述开口部两侧相对设置的喷嘴（１３）及排气设备（１４）；而上述排气设备规定排气口的开口朝向上述喷嘴；上述喷嘴由于受气体供给的影响而朝向上述排气口，并且，可产生覆盖上述开口部的上述气体的喷流（２１）；上述排气设备可将通过上述排气口吸进的上述气体排向外部；上述处理槽，设有随着从下方接近上述开口部而向内侧圆滑弯曲的侧壁。

【技术特征摘要】
JP 1997-4-4 86598/971.一种干燥装置，该干燥装置通过储存并加热水溶性的溶解液(7)，使从上述溶解液中产生的蒸汽(5)在处理对象(3)表面凝结来对该处理对象表面进行干燥，其特征在于在该干燥装置上，设有在上面的规定向上开口的开口部(22)的且可储存溶解液的容器状处理槽(11)、可加热储存在上述处理槽内的上述溶解液的加热器(10)、以及在上述开口部两侧相对设置的喷嘴(13)及排气设备(14)；而上述排气设备规定排气口的开口朝向上述喷嘴；上述喷嘴由于受气体供给的影响而朝向上述排气口，并且，可产生覆盖上述开口部的上述气体的喷流(21)；上述排气设备可将通过上述排气口吸进的上述气体排向外部；上述处理槽，设有随着从下方接近上述开口部而向内侧圆滑弯曲的侧壁。2.如权利要求1所示的干燥装置，其特征在于进一步设有可自由开闭地覆盖上述开口部的盖(15)。3.如权利要求1所示的干燥装置，其特征在于进一步设有切换阀(34、73)，切换阀的输出方连通上述喷嘴，并可自由切换地选择多个输入方中的一方连通输出方。4.如权利要求3所示的干燥装置，其特征在于进一步设有供给惰性气体的惰性气体供给设备(18)、供给灭火用气体的灭火用气体供给设备(35)、监测上述处理槽内火灾发生并将所定信号输出的传感器(31，32)、以及控制器(33)；该控制器根据上述传感器输出的信号控制上述切换阀的切换动作；而上述多个输入方中的一方连接上述惰性气体供给设备、上述多个输入方中的另一方连接上述灭火用气体供给设备；上述控制器在收到信号时，控制上述切换阀，将上述切换阀选择的输入方从连接上述惰性气体供给设备的输入方切换到连接上述灭火用气体供给设备的输入方。5.如权利要求1至3中任何一项所示的干燥装置，其特征在于上述喷嘴，在接受气体供给时，可自由切换选择生成下面两种气体喷流中的任何一种，即，喷向上述排气口并覆盖上述开口部的上述气体的喷流(21)、以及喷向上述处理槽内部的上述气体的喷流(41)。6.如权利要求5所示的干燥装置，其特征在于上述喷嘴设有内侧喷嘴构件(45)、以及装在该内侧喷嘴构件外侧的外侧喷嘴构件(42)；上述内侧喷嘴构件在内部规定了从单一的流入口(48)分为两个流出口(46，47)的流路；上述外侧喷嘴构件规定了两个开口部(43，44)；上述内侧喷嘴构件与上述外侧喷嘴构件的一方相对另一方可以自由转动，根据转动的位置只选择上述内侧喷嘴构件的上述两个流出口的任何一方与上述外侧喷嘴构件的上述两个开口部的任何一方接合。7.如权利要求5所示的干燥装置，其特征在于上述喷嘴设有列状设置的多个喷嘴；上述多个喷嘴的每一个喷嘴都设有内侧喷嘴构件(45)、以及装在该内侧喷嘴构件外侧的外侧喷嘴构件(42)；上述内侧喷嘴构件在内部规定了从单一的流入口(48)分为两个流出口(46，47)的流路；上述外侧喷嘴构件规定了两个开口部(43，44)；上述内侧喷嘴构件与上述外侧喷嘴构件的一方相对另一方可以自由转动，根据转动的位置只选择上述内侧喷嘴构件的上述两个流出口的任何一方与上述外侧喷嘴构...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本典，黑田健，伴功二，小西瞳子，横井直树，
申请(专利权)人：菱电半导体系统工程株式会社，三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]