二维微镜制造技术

本公开公开了一种二维微镜。该二维微镜包括外框架及套设于所述外框架内侧的内框架；所述外框架与所述内框架之间设置有第一驱动器；所述内框架的内侧设置有第二驱动器；所述第一驱动器和所述第二驱动器均为电热驱动器，或者，所述第一驱动器为电热驱动器、所述第二驱动器为静电驱动器；所述第一驱动器包括支撑梁及驱动臂组件；所述支撑梁连接在所述内框架的外侧，所述驱动臂组件与所述支撑梁连接，所述驱动臂组件设置有多个，多个所述驱动臂组件沿第一方向排布，所述第一方向为所述支撑梁的长度方向。度方向。度方向。

【技术实现步骤摘要】
二维微镜


[0001]本公开涉及电子产品
，更具体地，涉及一种二维微镜。

技术介绍

[0002]目前二维MEMS微镜存在镜面难以做大、扫描角度偏小的问题。特别是对于外轴扫描角度，由于驱动器需带动整个内框架转动，通常难以获得较大偏转。电热驱动方式可提供较大的位移与偏转角度，但由于其自身刚度较低，带动较大质量的内框架结构时可靠性较低。
[0003]现有技术中，无论是电热驱动器结合静电驱动器的二维微镜，还是两个电热驱动器相结合的二维微镜，外围设置的电热驱动器均无法在较小的空间内形成较多的驱动臂结构以提供较大的刚度，这样就会导致二维微镜的整体强度不足、抗冲击力较差。
[0004]有鉴于此，需要提供一种新的技术方案，以解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]本公开的一个目的是提供一种二维微镜的新技术方案。
[0006]根据本公开的第一方面，提供了一种二维微镜，所述二维微镜包括：
[0007]外框架及套设于所述外框架内侧的内框架；
[0008]所述外框架与所述内框架之间设置有第一驱动器；
[0009]所述内框架的内侧设置有第二驱动器；
[0010]所述第一驱动器和所述第二驱动器均为电热驱动器，或者，
[0011]所述第一驱动器为电热驱动器、所述第二驱动器为静电驱动器；
[0012]所述第一驱动器包括支撑梁及驱动臂组件；
[0013]所述支撑梁连接在所述内框架的外侧，所述驱动臂组件与所述支撑梁连接，所述驱动臂组件设置有多个，多个所述驱动臂组件沿第一方向排布，所述第一方向为所述支撑梁的长度方向。
[0014]可选地，所述驱动臂组件包括驱动臂和悬臂梁，所述驱动臂的第一端与所述支撑梁连接，所述驱动臂的第二端与所述悬臂梁的第一端连接，所述悬臂梁的第二端与所述外框架连接。
[0015]可选地，每个所述驱动臂组件均包括两个驱动臂和一个悬臂梁；
[0016]在每个所述驱动臂组件中：沿着所述支撑梁的长度方向，所述悬臂梁的两侧各设置一个所述驱动臂；所述悬臂梁两侧的两个所述驱动臂对称分布。
[0017]可选地，所述驱动臂呈U型弯折形状。
[0018]可选地，所述支撑梁的两侧均连接有所述驱动臂组件。
[0019]可选地，所述第一驱动器设置有四个，其中两个所述第一驱动器组成第一驱动器组，另外两个所述第一驱动器组成第二驱动器组；
[0020]所述第一驱动器组和所述第二驱动器组沿第二方向对称分布，所述第二方向与所
述第一方向垂直。
[0021]可选地，所述二维微镜还包括设置于所述内框架内侧的镜面；所述第二驱动器位于所述内框架和所述镜面之间。
[0022]可选地，所述电热驱动器包括至少两层热膨胀系数不同的薄膜材料，且所述电热驱动器内置有加热电阻。
[0023]可选地，在所述第二驱动器为静电驱动器的情况下，所述第二驱动器包括静梳齿、动梳齿、扭转梁、静梳齿电极、动梳齿电极和绝缘结构。
[0024]可选地，所述第二驱动器具有电极，所述电极可经由所述内框架、支撑梁和悬臂梁引出至外框架上。
[0025]本公开提供的二维微镜，其外框架连接的第一驱动器可以在较小的空间内设置较多的驱动臂，以提供较大的刚度和强度，在大角度扫描时确保该二维微镜具有较强的抗冲击能力。
[0026]通过以下参照附图对本公开的示例性实施例的详细描述，本公开的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
[0027]被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本公开的实施例，并且连同其说明一起用于解释本公开的原理。
[0028]图1是根据本公开的一个实施例的二维微镜的结构示意图一；
[0029]图2是根据本公开的一个实施例的二维微镜的结构示意图二；
[0030]图3是图1、图2中A处的放大示意图；
[0031]图4是图2中B处的放大示意图；
[0032]图5是图2中C处的放大示意图；
[0033]图6是根据本公开的一个实施例的二维微镜的结构示意图三；
[0034]图7是根据本公开的一个实施例的二维微镜的结构示意图四。
[0035]附图标记说明：
[0036]1、外框架；2、第一驱动器；21、支撑梁；22、驱动臂；23、悬臂梁；3、第二驱动器；31、静梳齿；32、动梳齿；33、扭转梁；34、静梳齿电极；35、绝缘结构；36、动梳齿电极；4、镜面；5、内框架；6、电极；7、引线。
具体实施方式
[0037]现在将参照附图来详细描述本公开的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本公开的范围。
[0038]以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本公开及其应用或使用的任何限制。
[0039]对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
[0040]在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不
是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
[0041]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0042]参照图1
‑
图7所示，本公开实施例提供了一种二维微镜，所述二维微镜包括外框架1及套设于所述外框架1内侧的内框架5；所述外框架1与所述内框架5之间设置有第一驱动器2；所述内框架5的内侧设置有第二驱动器3；所述第一驱动器2和所述第二驱动器3均为电热驱动器，或者，所述第一驱动器2为电热驱动器、所述第二驱动器3为静电驱动器；所述第一驱动器2包括支撑梁21及驱动臂组件；所述支撑梁21连接在所述内框架5的外侧，所述驱动臂组件与所述支撑梁21连接，所述驱动臂组件设置有多个，多个所述驱动臂组件沿第一方向排布，所述第一方向为所述支撑梁21的长度方向。
[0043]本公开实施例提供了两种二维微镜，其中一个参照图1所示，其外框架1连接的第一驱动器2为电热驱动器、其内框架5连接的第二驱动器3为静电驱动器。另外一个参照图2所示，其外框架1连接的第一驱动器2为电热驱动器、其内框架5连接的第二驱动器3也为电热驱动器。无论是上述哪一种二维微镜，外框架1连接的第一驱动器2均包括相互连接的支撑梁21及驱动臂组件，其中，驱动臂组件设置有多个且多个驱动臂组件沿支撑梁21的长度方向排布；这样的驱动臂组件排布方式有利于在较小的空间内设置较多的驱动臂，以提供较大的刚度和强度，在大角度扫描时确保该二维微镜具有较强的抗冲击能力。
[0044]在一个实施例中，进一步地，所述驱动臂组件包括驱动臂22和悬臂梁23，所述驱动臂22的第一端与所述支撑梁21连接，所述驱动臂22的第二端与所述悬臂梁23本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二维微镜，其特征在于，所述二维微镜包括：外框架(1)及套设于所述外框架(1)内侧的内框架(5)；所述外框架(1)与所述内框架(5)之间设置有第一驱动器(2)；所述内框架(5)的内侧设置有第二驱动器(3)；所述第一驱动器(2)和所述第二驱动器(3)均为电热驱动器，或者，所述第一驱动器(2)为电热驱动器、所述第二驱动器(3)为静电驱动器；所述第一驱动器(2)包括支撑梁(21)及驱动臂组件；所述支撑梁(21)连接在所述内框架(5)的外侧，所述驱动臂组件与所述支撑梁(21)连接，所述驱动臂组件设置有多个，多个所述驱动臂组件沿第一方向排布，所述第一方向为所述支撑梁(21)的长度方向。2.根据权利要求1所述的二维微镜，其特征在于，所述驱动臂组件包括驱动臂(22)和悬臂梁(23)，所述驱动臂(22)的第一端与所述支撑梁(21)连接，所述驱动臂(22)的第二端与所述悬臂梁(23)的第一端连接，所述悬臂梁(23)的第二端与所述外框架(1)连接。3.根据权利要求2所述的二维微镜，其特征在于，每个所述驱动臂组件均包括两个驱动臂(22)和一个悬臂梁(23)；在每个所述驱动臂组件中：沿着所述支撑梁(21)的长度方向，所述悬臂梁(23)的两侧各设置一个所述驱动臂(22)；所述悬臂梁(23)两侧的两个所述驱动臂(22)对称分布。...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢会开，王鹏，
申请(专利权)人：无锡微奥科技有限公司，
类型：发明
国别省市：