用于基片架的基片支承装置制造方法及图纸

一种基片支承装置，用于在一基片载架内支承至少一个基片，它包括： 第一支杆，定位成沿与基片的中心线平行并相对该中心线偏置的第一支承接触线支承基片的一侧； 第二支杆，定位成沿与基片的上述中心线平行并相对该中心线偏置的第二支承接触线支承基片的另一侧； 至少一个杆支承件，安装于上述第一支杆和第二支杆的每个上，并用于安装于上述基片载架； 其中，上述第一和第二支承线利用对基片的有限元分析来确定，以便下垂最小地支承基片。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及联网装置的领域，更具体地说，涉及一种具有多总线结构的网络转接装置。玻璃或半导体基片，如晶片、掩模、平板显示器(FPD)等，通常在处于充分洁净的环境的一个或多个自动处理站之间传送，并接受处理。平板显示器通常为由非晶态玻璃制的平的矩形板，具有多种尺寸，包括尺寸为550mm×650mm×1.1mm的较大的平板显示器。然而，平板显示器的行业趋势是朝着更大的基片发展，尺寸为700mm×1000mm、850mm×1050mm和更大的尺寸。此外，行业趋势还朝着厚度为0.7mm的更薄的基片方向发展。本专利技术总的涉及任一类型的基片的搬运，且不局限于在此所列或所述的基片。一个或多个上述基片通常被插入一个盒状的塑料匣内，该塑料匣具有多个共面槽，用来保存和支承相互间隔开的基片。每个匣供特定类型的基片使用，并通常具有一个敞开面，用来通常是利用自动处理系统插入、移出及访问插入其中的基片。上述匣在处理期间为基片提供支承并提供接触基片的途径，这样，处理系统能够更容易地取回或存放。这种匣能使基片在工作环境中从一个处理站至另一个处理站传送更为方便。通常，操作者用运货车在处理站间搬运一个或多个上述匣，然后将匣从处理站取走和/或将新匣装载在处理站上。对基片尤其是大的玻璃基片提出的一个重要挑战是因其自身重量引起的在载架内基片的重力下垂。一般的匣在基片的靠外的侧边处支承基片，这时，基片的前边和后边未被支承。这些未被支承的边，尤其在这些边的中心或中心附近，容易因重力而产生明显的下垂。然而，前边和后边是自动处理设备，如自动拾取和放置装置接近基片以便取出和处理的地方。此外，这种设备在靠近下垂最大的未支承边的的中心处接近基片。这些问题对较大然而较薄的基片尤为恶化。较大的平板显示器较重。减小基片的厚度降低了重量并改进了基片的电气特性。例如，与厚度为1.1mm厚的平板显示器相比，现在的趋势是朝着0.7mm厚平板显示器方向发展。然而，尺寸增大且厚度减小，导致基片的固有机械强度降低，这在基片被支承于传统匣内时进一步导致下垂加大。例如，一个基片在其600mm边未被支承的情况下该边中心处下垂高达8至12毫米。这种下垂因诱导玻璃内以及不同金属和处理材料的薄层和/或薄膜内的残余应力而危及基片，上述薄层或薄膜沿基片的表面和/或在基片的内层上形成小型电路。该应力增大了损坏薄层的可能性，薄层厚度通常处于一微米的范围。上述损坏常常造成基片失效。此外，损坏的概率增大使基片的总的生产成品率减低。明显下垂大大使自动化过程复杂化。例如，为将基片从下垂位置提起，自动系统必须使基片移动较大的距离。由于需要具有较大移动范围的机械手，上述增大的距离加大了自动机械成本。此外，下垂还引起基片的对齐问题。下垂的基片的侧边不垂直于基片的底表面和顶表面，这样导致一个限定得不好的平面。于是，下垂的基片由于基片成弧形而显得变窄。这一特性使得难于为对齐而定位基片的边缘。一种可能的方案是支承基片的整个下表面。然而，这一方案是不理想的，因为基片的大小要求它们被需要接触基片下表面的自动处理设备搬运。提供一种用于没有明显下垂地支承多个基片的基片架或匣是所期望的。通过下面结合附图对优选实施例的详细说明，将会更好地理解本专利技术。附图中附图说明图1为按本专利技术的包括多个基片支架的基片载架的透视图；图2为图1所示基片载架的主视图；图3为示于图2的基片支架的进一步详图；图4为图1所示基片载架的俯视图；图5为图1所示基片载架的侧视图；图6为现有技术支承系统的侧视图7A和7B示出按本专利技术的支承系统。现参见图1，该透视图示出按本专利技术的包括多个基片支架132的基片匣即基片载架100。基片载架100优选为一个盒形、敞开式装置，用于接收、支承多个相互间间隔开的矩形基片并使之对齐，以便在处理站之间运送基片并将对齐的基片送至一处理站。然而，需要指出的是，本专利技术还可应用于在传送基片期间保持洁净环境的封闭式载架。基片载架100可以具有任何适宜的尺寸，这要视被搬运的基片类型和尺寸而定。处理站(未示出)最好具有自动拾取和放置装置，用以把基片插入基片载架100和/或将基片从中抽出。基片优选为平板显示器(flat panel display,FPD)、半导体晶片、掩模及微片模块(MCM)等。在优选实施例中，基片优选为通常用于加工平板显示器等的较薄的玻璃基片。然而，应当指出，本专利技术并不局限于玻璃基片，而是可应用于任何类型的基片，如由铝、Mylar、半导体材料等制成的基片。此外，本专利技术可应用于诸如由FR-4或1060材料或其他玻璃纤维材料等制成的薄板的印刷电路板(PCB)。基片优选为较大的基片，尺寸为650mm×550mm、700mm×1000mm、850mm×1050mm等。而且，基片可具有任何所需的厚度，如1.1mm、0.7mm等。然而，本专利技术并不局限于基片的任何特殊的类型、尺寸或厚度。对于平板显示器而言，行业趋势是朝着更大、更薄的玻璃基片方向发展。直到现在，基片载架沿基片边缘支承基片，这样在基片被装入载架中时导致基片明显下垂。在厚度减小时，基片更趋“纸状”，这时这一下垂问题随着基片长度和宽度的增大而增大。图中示出了一例示的玻璃基片124被装入基片载架100，这里，基片124的尺寸为650mm×550mm×0.7mm。基片载架100具有一个基本上为矩形的顶板102和一个基本上为矩形的底板104，它们分别被安装在两个基片支承框架106的顶部和底部。每一支承框架106包括两个相互平行安装的平的侧架108以及许多联板110。每个侧架108具有两个支柱112，它们与顶梁114和底梁116安装成一体(图2)而形成较平的矩形构架。这样，每个支承框架106包括两个矩形侧架108及两个顶梁114和两个底梁116，其中，侧架108利用联板110基本上被相互平行地安装在一起。利用若干螺钉或其他适当类型的紧固装置，将顶板102安装至四个顶梁114上，将底板104安装至四个底梁116上，使支承框架106基本上相互对齐。如图1所示，基片载架100构成一个敞开式的、盒状结构，它具有敞开的前端120和敞开的后端122，用以接纳和支承一个或多个基片，如基片124。为清楚起见，图中仅示出了一个基片124，但应理解为，可将一个或多个基片安装入基片载架100中。在此优选实施例中，多个支臂126一体地被安装在每个支承框架106的各支柱112上，由此为各支柱112形成在一个从基片载架100的底部至顶部延伸的正交平面内对齐的一组支臂126。各支臂126通常为一个从相应的支柱112向基片载架100内部水平延伸的梁状臂。各支臂126最好与在同一侧架108的相对支柱112上的另一支臂126沿平行于顶板102和底板104的一个水平平面对齐。设有多个支杆128，其中，各支杆128在相对的支柱112之间安装在两两对齐的支臂128之间。此外，各支臂126最好与同一支承框架106的相邻侧架108上的另一支臂126水平对齐，其中，上述另一支臂126本身与在相对支柱112上的又一支臂126水平对齐，这些相对的支臂126还具有安装在其间的一个支杆128。此外，两个支承框架106相互对齐，使一组八个支臂126和四个相应的支杆128在一水平平面内对齐，而另八个支臂126和四个相应的支杆128本文档来自技高网...

【技术保护点】
1．一种基片支承装置，用于在一基片载架内支承至少一个基片，它 包括： 第一支杆，定位成沿与基片的中心线平行并相对该中心线偏置的第 一支承接触线支承基片的一侧； 第二支杆，定位成沿与基片的上述中心线平行并相对该中心线偏置 的第二支承接触线支承基片的另一侧； 至少一个杆支承件，安装于上述第一支杆和第二支杆的每个上，并 用于安装于上述基片载架； 其中，上述第一和第二支承线利用对基片的有限元分析来确定，以 便下垂量最小地支承基片。

【技术特征摘要】
1996.02.06 US 08/599,5371．一种基片支承装置，用于在一基片载架内支承至少一个基片，它包括第一支杆，定位成沿与基片的中心线平行并相对该中心线偏置的第一支承接触线支承基片的一侧；第二支杆，定位成沿与基片的上述中心线平行并相对该中心线偏置的第二支承接触线支承基片的另一侧；至少一个杆支承件，安装于上述第一支杆和第二支杆的每个上，并用于安装于上述基片载架；其中，上述第一和第二支承线利用对基片的有限元分析来确定，以便下垂量最小地支承基片。2．如权利要求1所述的基片支承装置，其特征在于上述至少一个杆支承件为上述第一和第二支杆的每一个具有两个悬臂梁；上述两个悬臂梁安装在上述第一和第二支杆的各个端部。3．如权利要求1所述的基片支承装置，其特征在于，它还包括多个上述第一和第二支杆和相应的多个杆支承件，用来支承相应多的基片。4．如权利要求3所述的基片支承装置，其特征在于上述多个杆支承件为上述第一和第二支杆的每一个具有两个悬臂梁；上述两个悬臂梁安装在上述多个第一和第二支杆中的一个相应支杆的各个端部。5．如权利要求4所述的基片支承装置，其特征在于上述多个杆支承件的每一个均用铝制造。6．如权利要求1所述的基片支承装置，其特征在于上述第一和第二支杆用热塑性材料制造。7．如权利要求1所述的基片支承装置，其特征在于上述第一和第二支杆每个均支承基片的全长。8．一种基片支承装置，用于在一基片载架内支承至少一个基片，它包括第一支杆和第二支杆，定位成沿与基片的中心线平行并相对该中心线偏置的第一支承接触线支承基片的一侧；第三和第四支杆，定位成沿与基片的上述中心线平行并相对该中心线偏置的第二支承接触线支承基片的另一侧；至少一个杆支承件，安装于上述第一、第二、第三和第四支杆的每个上，并用于安装于上述基片载架；其中，上述第一和第二支承线利用对基片的有限元分析来确定，以便下垂量最小地支承基片。9．如权利要求8所述的基片支承装置，其特征在于上述至少一个杆支承件为上述支杆的每一个具有两个悬臂梁；上述两...

【专利技术属性】
技术研发人员：丹尼尔·A·巴伯斯，
申请(专利权)人：恩特格里斯凯曼有限公司，
类型：发明
国别省市：