模块化材料处理机器人平台制造技术

一种装置，包括第一基板，其中第一基板被配置为具有被连接到所述第一基板的顶侧的至少一个线性驱动部件和/或至少一个功率耦合部件，其中第一基板被配置为位于真空腔室中；以及在第一基板的顶侧上的多个导轨或运输引导件。第一基板的端部包括至少一个对齐特征，该至少一个对齐特征被配置为将第一基板的端部与第二基板的端部对齐。第一基板被配置为与第二基板组合来提供真空腔室内部的结构平台，该结构平台用于使机器人驱动器来沿着多个运输引导件在真空腔室中移动。引导件在真空腔室中移动。引导件在真空腔室中移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】模块化材料处理机器人平台


[0001]示例和非限制性实施例一般涉及一种衬底运输组件。

技术介绍

[0002]用于运输衬底的机器人是已知的。用于运输衬底的运输机器人的线性驱动系统也是已知的，例如美国专利公开号US 2016/0229296 A1、US 2013/0071218 A1、US 2015/0214086 A1和US 2017/0028546 A1中所描述的，并且这些专利以整体内容通过引用并入本文。

技术实现思路

[0003]以下概述仅旨在作为示例。本概述并不旨在限制权利要求的范围。
[0004]根据一个方面，示例实施例提供了一种装置，该装置包括：第一基板，其中第一基板被配置为具有至少一个线性驱动部件和/或至少一个功率耦合部件，该至少一个线性驱动部件和/或至少一个功率耦合部件被连接到该第一基板的顶侧，其中第一基板被配置为位于真空腔室内部；以及多个导轨，所述多个导轨在第一基板的顶侧上，其中第一基板的端部包括至少一个对齐特征，该至少一个对齐特征被配置为将第一基板的端部与第二基板的端部对齐，其中第一基板被配置为与第二基板组合来提供真空腔室内部的结构平台，用于供机器人驱动器沿着多个引导件在真空腔室中移动。
[0005]根据另一方面，提供了一种示例方法，该方法包括：在真空腔室内部连接第一基板组件，其中第一基板组件包括第一基板和第一多个导轨，该第一多个导轨在第一基板的顶侧上；在真空腔室内部连接第二基板组件，其中第二基板组件包括第二基板，其中将第二基板的端部与第一基板的端部连接，其中第一基板组件包括至少一个对齐特征，该至少一个对齐特征被配置为将第一基板的端部与第二基板的端部对齐，其中第一基板被配置为与第二基板组合来提供真空腔室内部的结构平台，用于供机器人驱动器沿着第一多个导轨在真空腔室中移动。
[0006]根据另一方面，提供了一种方法，该方法包括：提供基板；提供多个导轨，该多个导轨在基板的顶侧上；为基板的端部提供至少一个对齐特征，该至少一个对齐特征被配置为将第一基板的端部与第二基板的端部对齐；将以下至少一个连接到基板的顶侧：功率耦合部件，该功率耦合部件被配置为将功率传输到机器人驱动器上的另一个功率耦合部件，其中功率传输通过感应进行，或者线性马达部件，该线性马达部件被配置为提供磁场以沿着多个轨道来移动机器人驱动器，其中基板被配置为在真空腔室内部与第二基板连接，以在真空腔室内部提供结构平台，用于供机器人驱动器沿着第一多个轨道在真空腔室中移动。
附图说明
[0007]结合附图，上述方面和其他特征在以下描述中得到解释，其中：
[0008]图1是包括如本文所述的特征的衬底处理装置的示意性俯视图；
[0009]图2是图1所示的衬底处理装置的衬底运输装置的透视图；
[0010]图3是图2所示的衬底运输装置的透视图。
[0011]图4是图2和图3中所示在衬底处理装置的运输腔室内部的衬底运输装置的透视图的端视图；
[0012]图5是图1至图4所示的衬底运输装置的机器人的侧视图；
[0013]图6是图5所示机器人的俯视图；
[0014]图7是图5和图6所示的机器人的示意性剖视图；
[0015]图8是衬底处理装置的运输腔室内部的衬底运输装置的端视图；
[0016]图9是说明与图1所示装置一起使用的各种系统的框图；
[0017]图10是图1所示的衬底处理装置的运输腔室内部的衬底运输装置的示意俯视图；
[0018]图10A是图10所示的衬底处理装置的运输腔室内部的衬底运输装置的端部剖视图；
[0019]图11是图10所示的运输腔室内部的衬底运输装置的端视图；
[0020]图12是示出图10和图11中所示的线性马达的磁驱动器和从动构件之一的透视图；
[0021]图13是图12所示的磁驱动器的立体图；
[0022]图14是与图10和图11中所示装置一起使用的功率模块的透视图；
[0023]图14A是说明图14所示的多个功率模块的相对布局的透视图。
[0024]图15是说明使用图14及14A中所示的功率模块的功率耦合的框图；
[0025]图16是图15中所示的示例性实施例耦合的等轴测图；
[0026]图17是说明图10和图11所示的光通信系统的一些部件的示意图；
[0027]图18是衬底运输装置在运输腔室底壁上的视图；
[0028]图18A是运输腔室底壁上的衬底运输装置的备选实施例的透视图；
[0029]图19是包括如本文所述的特征的衬底处理装置的示意性俯视图；
[0030]图20A是包括如本文所述的特征的材料处理机器人平台的示意性侧视图；
[0031]图20B是图20A所示平台的端视图；
[0032]图20C是图20A和20B所示平台的俯视图；
[0033]图20D是图20A至图20C所示平台的基板组件之一的端部的局部透视图；
[0034]图20E是一体形成在基板组件上的导轨或磁悬浮引导件的局部视图；
[0035]图20F是基板组件之一的局部剖视图，其示出了一些孔和密封件；
[0036]图21A是材料处理机器人平台以及包括如本文所述的特征的腔室的横截面的示意性侧视图；
[0037]图21B是图21A所示平台的端部剖视图；
[0038]图21C是图21A和21B所示平台的俯视剖视图；
[0039]图22A是材料处理机器人平台以及包括如本文所述的特征的腔室的横截面的示意性侧视图；
[0040]图22B是图22A所示平台的端部剖视图；
[0041]图22C是图22A和图22B中所示的平台的俯视剖视图；
[0042]图23A是材料处理机器人平台以及包括如本文所述的特征的腔室的横截面的示意性侧视图；
[0043]图23B是图23A所示平台的端部剖视图；
[0044]图23C是图23A和23B所示平台的俯视剖视图；
[0045]图24是使用多个传感器来说明线性磁悬浮轨道/引导件和磁悬浮间隙传感器目标之间的过渡的框图；
[0046]图25至图30是图示说明线性机器人控制系统示例的各种不同示例实施例的框图。
具体实施方式
[0047]参照图1，这里示出了包含示例实施例特征的装置10的示意性俯视图。虽然特征将参照在附图中示出的示例实施例来描述，但是应当理解的是，特征可以被体现在实施例的许多备选的形式中。此外，可以使用任何合适尺寸、形状或类型的元件或材料。
[0048]在该示例中，装置10是衬底处理装置。衬底处理装置10通常包括衬底运输装置12(也被称为线性真空机器人)、多个衬底处理腔室14、运输腔室15、装备前端模块(EFEM)16和衬底盒升降机18。运输腔室15可以保持为例如真空腔室或惰性气体腔室。运输装置12位于腔室15中，并且适于在腔室14、15之间、和/或腔室14、15和固定运输腔室或装载锁22之间运输衬底20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种装置，包括：第一基板，其中所述第一基板被配置为具有被连接到所述第一基板的顶侧的至少一个线性驱动部件和/或至少一个功率耦合部件，其中所述第一基板被配置为位于真空腔室内部；和多个运输引导件，所述多个运输引导件在所述第一基板的顶侧上；其中所述第一基板的端部包括至少一个对齐特征，所述对齐特征被配置为将所述第一基板的端部与第二基板的端部对齐，其中所述第一基板被配置为与所述第二基板组合来提供所述真空腔室内部的结构平台，用于供机器人驱动器沿着所述多个运输引导件在所述真空腔室中移动。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个对齐特征被配置为将所述多个运输引导件与所述第二基板的运输引导件对齐。3.根据权利要求1所述的装置，其中所述至少一个对齐特征包括至少一个突出部和至少一个凹部，所述至少一个突出部从所述第一基板的端部延伸，所述至少一个凹部延伸到所述第一基板的第一端中。4.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一基板的所述端部包括至少一个机械连接特征，所述至少一个机械连接特征从所述第一基板的所述端部突出，其中所述至少一个机械连接特征被配置为利用至少一个紧固件被机械地附接到所述第二基板。5.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一基板被配置为在所述真空腔室的底侧处被直接机械地附接到所述真空腔室。6.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一基板被配置为形成所述真空腔室的底壁的至少一部分。7.根据权利要求6所述的装置，其中所述第一基板封闭穿过所述真空腔室的底部的孔。8.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一基板包括第一突部，所述第一突部在所述第一基板的两个相对横向侧上，其中所述第一突部被配置为在所述真空腔室的相对横向侧上位于由所述真空腔室形成的台架的顶部上。9.根据权利要求8所述的装置，其中所述第一基板包括第二突部，所述第二突部在所述第一基板的两个相对端上，其中所述第二突部被配置为位于由所述真空腔室形成的台架的顶部上，所述台架横向延伸穿过所述真空腔室。10.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一基板包括穿过所述第一基板的孔，所述孔被配置为使电线从所述第一基板的底侧延伸穿过所述第一基板到所述第一基板的顶侧，并且所述装置还包括密封件，所述密封件被配置为密封带有所述电线的所述孔。11.根据权利要求1所述的装置，还包括真空腔室，其中所述真空腔室包括：多个主部分，所述主部分被配置为以端对端配置来彼此附接以形成细长形状的框架，所述框架具有与其相连的所述第一基板，其中所述主部分包括相对的横向侧壁和底壁部分；以及至少一个盖部分，所述至少一个盖部分被配置为被可移除地连接到所述相对的横向侧壁的顶侧上。12.根据权利要求1所述的装置，还包括所述至少一个线性驱动部件，所述至少一个直线驱动部件被连接到所述第一基板的顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：柿子技术公司，
类型：发明
国别省市：