本实用新型专利技术旨在提供一种能够有效提高后续分选工序工作效率的晶圆位置扫描检测设备。本实用新型专利技术包括设置在机台上的扩膜机构、外环扣合机构以及扫描喷码机构，所述扩膜机构通过两轴调整机构设置在所述机台上，所述外环扣合机构和所述扫描喷码机构均设置在所述扩膜机构的上方，所述扩膜机构包括升降组件、扩膜板、限位板以及压板，所述扩膜板固定在所述升降组件的活动端，所述限位板和所述压板上均设置有与所述扩膜板相适配的通口，所述压板铰接配合在所述限位板上。本实用新型专利技术应用于晶圆扩膜分选的技术领域。选的技术领域。选的技术领域。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆位置扫描检测设备
[0001]本技术应用于晶圆扩膜分选的
,特别涉及一种晶圆位置扫描检测设备。
技术介绍
[0002]在半导体芯片封测生产领域，存在将测试分选后的次级芯片晶圆进行再次挑选使用的生产工艺，传统的生产方式是直接将次级芯片晶圆在扩膜机上扩膜后置于分选机上进行挑选。因晶圆上的芯片已经经过一次分选，对测试良率高的晶圆上会存在很多空位，故在二次挑选的过程中挑选机运行的时会频繁的出现芯片待取位没有芯片的工作状况，造成挑选机工作效率低下，提高工厂生产成本。
技术实现思路
[0003]本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供了一种能够有效提高后续分选工序工作效率的晶圆位置扫描检测设备。
[0004]本技术所采用的技术方案是：本技术包括设置在机台上的扩膜机构、外环扣合机构以及扫描喷码机构，所述扩膜机构通过两轴调整机构设置在所述机台上，所述外环扣合机构和所述扫描喷码机构均设置在所述扩膜机构的上方，所述扩膜机构包括升降组件、扩膜板、限位板以及压板，所述扩膜板固定在所述升降组件的活动端，所述限位板和所述压板上均设置有与所述扩膜板相适配的通口，所述压板铰接配合在所述限位板上。
[0005]由上述方案可见，通过设置所述扫描喷码机构对完成扩膜后的晶圆进行图像扫描，进而获取蓝膜上晶圆的位置，并将位置信息生成条码或二维码通过喷码结构进行喷印，进而使后续分选机通过识别二维码能够快速定位晶圆上有芯片的部分，实现快速分选，提高工作效率。所述扩膜机构用于进行附有芯片的蓝膜的扩膜，通过所述外环扣合机构与所述扩膜机构配合进行晶圆内环和晶圆外环的组装实现对蓝膜夹持限位，使扩膜后蓝膜保持扩展状态。通过所述限位板与所述压板配合对蓝膜进行初步夹紧，通过所述升降组件带动所述扩膜板上升实现对蓝膜进行拉伸扩张。所述两轴调整机构用于带动所述扩膜机构在上料工位、所述外环扣合机构以及所述扫描喷码机构之间进行移动。
[0006]一个优选方案是，所述升降组件包括扩膜气缸和安装底板，所述限位板固定和所述扩膜气缸均固定在所述安装底板上，所述扩膜气缸的活动端与所述扩膜板连接，所述扩膜板的底部设置有若干导向柱，所述安装底板上对应设置有与若干所述导向柱对应配合的若干导套。
[0007]由上述方案可见，通过所述扩膜气缸带动所述扩膜板沿所述导向柱作升降运动，通过所述导向柱与所述导套配合提高所述扩膜板的直线移动精度，进而确保蓝膜扩膜时各个芯片均匀分布。所述安装底座用于进行所述扩膜气缸以及所述限位板的支撑。
[0008]进一步的优选方案是，所述安装底板上设置有固定肘夹，所述压板上设置有与所述固定肘夹配合的限位块。
[0009]由上述方案可见，通过设置所述固定肘夹对所述压板进行限位，进而保证对蓝膜的有效按压，防止扩膜时蓝膜出现滑动，影响扩膜效果。
[0010]一个优选方案是，所述外环扣合机构包括下压气缸以及外环扣合板，所述外环扣合板固定在所述下压气缸的活动端上，所述外环扣合板的底面设置有与所述扩膜板配合的外环限位槽。
[0011]由上述方案可见，所述外环限位槽用于安装晶圆外环，通过所述下压气缸带动所述外环扣合板下压至所述扩膜机构上，进而实现将晶圆外环扣合在上料时与蓝膜一同放置的晶圆内环上，进而实现对扩展后的蓝膜进行夹持固定。
[0012]一个优选方案是，所述扫描喷码机构包括沿竖直方向并列设置的工业相机和喷码器。
[0013]由上述方案可见，所述工业相机用于进行蓝膜上芯片位置的扫描识别，并反馈至外部的计算机，外部的计算机将扫描信息生成为对应二维码或条码喷印在蓝膜上，进而提供快速识别的方案。所述工业相机也可以为图像传感器。
[0014]进一步的优选方案是，所述扫描喷码机构还包括安装架，所述工业相机和所述喷码器均通过所述安装架与所述机台固定连接，所述喷码器通过直线微调平台与所述安装架连接。
[0015]由上述方案可见，通过所述直线微调平台实现对所述喷码器进行高度位置的精确调整，进而实现调整喷码图案的尺寸。
[0016]一个优选方案是，所述两轴调整机构包括相连接且相互垂直的X轴直线电机以及Y轴直线电机，所述Y轴直线电机固定在所述机台上，所述扩膜机构设置在所述X轴直线电机的活动端上。
附图说明
[0017]图1是本技术的立体结构示意图；
[0018]图2是所述扩膜机构第一视角的立体结构示意图；
[0019]图3是所述扩膜机构第二视角的立体结构示意图；
[0020]图4是所述外环扣合机构的立体结构示意图；
[0021]图5是所述扫描喷码机构的立体结构示意图。
具体实施方式
[0022]如图1至图5所示，在本实施例中，本技术包括设置在机台1上的扩膜机构、外环扣合机构以及扫描喷码机构，所述扩膜机构通过两轴调整机构设置在所述机台1上，所述外环扣合机构和所述扫描喷码机构均设置在所述扩膜机构的上方，所述扩膜机构包括升降组件、扩膜板3、限位板4以及压板5，所述扩膜板3固定在所述升降组件的活动端，所述限位板4和所述压板5上均设置有与所述扩膜板3相适配的通口，所述压板5铰接配合在所述限位板4上。
[0023]在本实施例中，所述升降组件包括扩膜气缸6和安装底板7，所述限位板4固定和所述扩膜气缸6均固定在所述安装底板7上，所述扩膜气缸6的活动端与所述扩膜板3连接，所述扩膜板3的底部设置有若干导向柱8，所述安装底板7上对应设置有与若干所述导向柱8对
应配合的若干导套9。
[0024]在本实施例中，所述安装底板7上设置有固定肘夹10，所述压板5上设置有与所述固定肘夹10配合的限位块11。
[0025]在本实施例中，所述外环扣合机构包括下压气缸12以及外环扣合板13，所述外环扣合板13固定在所述下压气缸12的活动端上，所述外环扣合板13的底面设置有与所述扩膜板3配合的外环限位槽14。
[0026]在本实施例中，所述扫描喷码机构包括沿竖直方向并列设置的工业相机15和喷码器16。
[0027]在本实施例中，所述扫描喷码机构还包括安装架17，所述工业相机15和所述喷码器16均通过所述安装架17与所述机台1固定连接，所述喷码器16通过直线微调平台18与所述安装架17连接。所述安装架17上还设置有与所述工业相机15配合的环形补光灯，通过设置所述环形补光灯为所述工业相机15提供照明，保证获取图像的清晰度。
[0028]在本实施例中，所述两轴调整机构包括相连接且相互垂直的X轴直线电机19以及Y轴直线电机20，所述Y轴直线电机20固定在所述机台1上，所述扩膜机构设置在所述X轴直线电机19的活动端上。
[0029]在本实施例中，所述机台1上还设置有上罩，所述上罩上设置有上下料通口，所述上下料通口的两侧均设置光栅。通过设置所述光栅检测作业员是否正在所述上下料通口处进行作业，避免在作业员作业的过程中设备启动。
[0030]本技术的工作原理：
[0031]首先，由作业员本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆位置扫描检测设备，其特征在于：它包括设置在机台（1）上的扩膜机构、外环扣合机构以及扫描喷码机构，所述扩膜机构通过两轴调整机构设置在所述机台（1）上，所述外环扣合机构和所述扫描喷码机构均设置在所述扩膜机构的上方，所述扩膜机构包括升降组件、扩膜板（3）、限位板（4）以及压板（5），所述扩膜板（3）固定在所述升降组件的活动端，所述限位板（4）和所述压板（5）上均设置有与所述扩膜板（3）相适配的通口，所述压板（5）铰接配合在所述限位板（4）上。2.根据权利要求1所述的一种晶圆位置扫描检测设备，其特征在于：所述升降组件包括扩膜气缸（6）和安装底板（7），所述限位板（4）固定和所述扩膜气缸（6）均固定在所述安装底板（7）上，所述扩膜气缸（6）的活动端与所述扩膜板（3）连接，所述扩膜板（3）的底部设置有若干导向柱（8），所述安装底板（7）上对应设置有与若干所述导向柱（8）对应配合的若干导套（9）。3.根据权利要求2所述的一种晶圆位置扫描检测设备，其特征在于：所述安装底板（7）上设置有固定肘夹（10），所述压板（5）上设置有与所述固定肘...
【专利技术属性】
技术研发人员：颜智德，
申请(专利权)人：长园半导体设备珠海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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